文献综述城乡二元结构论文

如果你不知道如何写，但是又急着交。一个非常简便的方法，就是去知网上面找你要写的那方面的硕士论文，上面有完整的文献综述（那最好，你稍稍改动即可），如果是开题报告形式，你就可以找好它上面的内容（其实跟文献综述写的内容差不多，只是格式和形式不太一样）。你按照以下的提纲自己复制粘贴内容即可（我们这学期写了一篇文献综述），也有可能每个学校的要求提纲不太一样，不过都是差不多的不用太担心，主要是内容要找准： 1.论文题目：一般不超过25个字，要简练准确，副标题统一为“文献综述及研究思路”可分两行书写； 2.摘要：中文摘要字数应在300字左右，英文摘要与中文摘要内容要相对应； 3.关键词：关键词以3—5个为宜，应该尽量从《汉语主题词表》中选用，分号隔开； 4.正文：正文要符合一般学术论文的写作规范，内容层次分明，数据可靠，文字简练，观点正确，能运用现代经济学、管理学的分析方法，并能学会利用计量经济学、统计学等相关工具对所涉及的问题进行分析，文章主体字数为4000字以上。正文基本结构如下： 一、选题背景及选题意义 二、有关国内外研究成果综述 （一）国外研究成果 （二）国内研究成果 （三）对研究成果的评述（这个地方就不要把引用的写出来了，我被我们老师就批了） 三、基本研究思路（最好有图，把你参考的文章所有的提纲画一个简易图即可，不单是自己的文献综述，是你参考的整篇论文的内容） 四、研究方法及创新处 5.参考文献：参考文献应按文中引用出现的顺序列出，只列出作者直接阅读过、在正文中被引用过的文献资料，一律列在正文的末尾，特别在引用别人的科研成果时，应在引用处加以说明。每篇论文的参考文献一般不应少于五条。 希望对你有用~~

一、问题的提出与文献综述随着世界经济衰退阴影的加深和衰退对我国出口导向型经济的打击，在国内投资收紧的情况下，更多的人把抑制衰退的期望寄托在刺激内需增长上，这无可厚非。问题是在刺激内需的杠杆中，居民信息消费方面未得到应有的重视。而事实上，近些年来，包括通信、网络和文化教育等在内的居民信息消费快速成长。成长以国际互联网技术的商业化创新为背景，以信息社会化革命为动力，显示出与智能经济社会发展方向的一致性，正对我国消费结构优化与升级产生重要意义与积极影响。文献检索表明，近10年，有关信息消费的研究，概括起来主要在两个方面：一是基础理论。从不同的视角对信息消费的历史演进、体系建构、模式选择、消费效益与效应等展开研究；二是应用研究。包括国经济基本面上经济发展趋势与信息消费、消费的技术条件、消费环境与影响因素、消费差异与特点、消费监督及评价等，市场面上的信息产品（服务）供给、竞争与定价等，消费者层面上的收人水平与支付能力、信息需求、消费行为特征、消费者权益、信息意识与文化素质等。但从深度进行结构分析的研究成果并不多，而恰恰是这方面研究成果对我国消费结构优化与升级有更重要的意义。本文旨在立足全球化背景下我国转型期的国情特殊性，从消费发展的角度，论述我国城乡居民信息消费的结构差异成长特征与趋势，剖析这种结构差异成长的因素与动因。二、信息消费的界定与特性信息消费指的是消费者对信息产品或服务的使用。理论上，信息经过消费主体的消化吸收机能，对生产、生活及其他活动的认识和决策产生“减除不确定性”作用，形成信息消费过程。不同于一般物质产品的消费，它是消费主体对外部信息的内在化过程。外部信息大抵可分为3类，一是关于人类活动与事物的状态信息；二是通用的、专业的知识信息；三是情趣文化娱乐信息。信息消费的特性体现在：1、选择性消费主体对外部信息的接收从某种接触感受开始，而对外部接收信息的内在化消费又总是有选择的。选择的依据是内在信息需要。每个人都有一套不同于他人的“信息库”或“数据库结构”。他们通常根据自己的活动需要与决策特点有选择地收集外部信息，又在因应不同的生产生活决策实践和消化吸收外部信息中优化自己的信息结构，使外部信息更好地转化为内在知识“养分”，并作用于生产生活决策和发展能力提高。有选择地将外部信息内在化，是劳动素质、智能提高的基础，也是劳动进化的必要条件。2、分层性作为消费对象的外部信息是多类型的，消费主体又是分层级的。按经济收人水平、信息需求强度、信息能力等来分级，不同层级的消费主体对外部信息有不同的需求，有不同的信息吸收与运用能力，也有不同的外部信息内在化方式。3、价值功能转换性这与信息消费主体的分层与信息价值的多级转换过程有关。外部信息的内在化过程同时是一系列的价值转换过程。包括由外部信息的客观价值到消费者的需求价值的转换；由信息的知识价值到消费者劳动素质提高与生活、交往质量提高的应用价值转换；由信息应用价值到劳动收益增加和劳动价值增值的转换等。信息的价值功能转换和价值功能实现，会进一步激发消费主体关注和运用信息，使主体消费信息与信息功能价值实现、价值增值形成良性互动。4、反馈性外部信息的内在化是一个程序继起与内外互动的开放循环系统。后一个环节的效果会对前一个环节起反馈作用。比如SAP系统，提供商将世界各地行之有效的管理办法和一些成功案例等进行梳理，形成一套商品化、固定模式的管理理念；用户使用系统，接受一种新的方法和理念，同时以使用效果作为一种评价意见反馈到上一环节。三、居民信息消费的结构性成长从结构上分析，信息消费作为居民消费系统中的一个新生消费品种，迅速崛起，一方面，使现存一些消费品种降低其在系统中的比重或份额；另一方面，使现存消费结构发生整体性变化，显示出结构性成长特征。结构性成长表现在消费内容构成、支出构成、城乡差异、地区差异等的变化关系上，是在差异中的构成比重或份额提升过程。1,居民消费结构中，信息消费部分快速成长改革开放30年来，我国居民消费结构随收人增长和产业结构变革而逐步升级，从传统的基本生活消费满足转上发展型和享受型消费的轨道。信息消费正成为新时期我国居民消费结构升级的领头羊。这从居民家庭平均每人全年信息消费支出在居民家庭平均每人全年消费支出构成中的绝对数和相对比重两项指标中可以看出，也可从城镇和农村的消费结构变化中得到明证。消费支出构成，2000-2006年，我国城乡居民家庭年人均信息消费支出占年人均消费性支出的比重由22. 15％上升到25. 77％，提高了3. 62个百分点。其中,2003年比2000年高4. 35个百分点。再看增长速度，2000-2006年，我国城乡居民家庭年平均每人消费支出从2875. 5元上升到5404. 9元，提高了87. 96％，年均增长11. 1％，而同比年平均每人信息消费支出从636. 86元上升到1392. 6元，提高了一18. 67％，年均增长13. 9％，比前者高2. 8个百分点。可见，随着居民家庭收入增长和消费性支出提高，我国城乡居民家庭信息消费迅速成长，且增幅明显高于家庭收入和消费性支出的增幅，显示出结构成长特征。如把家庭消费支出中个人消费的信息消费（如咨询）部分、居民外出旅游信息消费部分、居民非通信途径的电脑和网络信息消费及其他方面加进来，这种结构性成长特征就更明显了。更有意义的是，居民信息消费持续提高的正向效应很强，领域还很宽，后劲还很足。信息消费在居民家庭消费性支出中的比重提高，反映出我国居民消费的结构升级事实与趋势，但这种结构升级水平又是存在结构性差异的。不同的居民家庭有不同的升级程度差异。2,城乡差异中的居民家庭信息消费成长居民家庭信息消费的结构差异明显表现在我国城镇与农村的居民家庭中。2000^-2006年我国城镇与农村居民家庭的年人均消费性支出构成中，年人均信息消费支出所占比重均有提高，城镇居民家庭由23. 58％上升到27. 18％，提高了3. 6个百分点；农村居民家庭由19. 71％上升到22. 36％，提高了2.65个百分点。但比重提高幅度则农村不如城镇，差约1个百分点。从信息消费支出相对总消费支出（绝对值）的增长速度看，情况也大体如此。2000-2006年，我国城镇居民家庭年平均每人消费支出从4998元升到8696. 55元，提高了74.00％，年均增长9. 7％；年平均每人信息消费支出从1178. 68元上升到2363. 77元，提高了100. 54％，年均增长12. 3％，比前者高2. 6个百分点。在农村，2000-2006年，居民家庭年平均每人消费支出从1670. 13元上升到2829.02元，提高了69. 39％，年均增长9. 2％，年平均每人信息消费支出从329. 17元上升到632. 63元，提高了92. 19％，年均增长11. 5写，比前者高2. 3个百分点。可见，进人21世纪以来，我国城乡居民信息消费都在随收人增长和消费性支出提高而提高，但不论信息消费占消费性支出的构成比，还是信息消费相对于消费性支出的增幅，提高又都明显存在着城镇高于、快于农村的差异，从城乡二元结构上显示出我国居民信息消费的结构性成长特征。这种结构性成长特征与相关研究给出的结论基本一致。信息消费在居民家庭消费支出中的比重早已不是2000年前20年的比重可比。电话通信已广泛地深人当今我国城镇居民的现实生活中，这是上世纪所无法比拟的。农村居民信息消费目前还是一个大弱项，弱势本质上是城乡二元结构矛盾在居民信息消费上的反映，这也同时意味着促进农村信息消费存在着极大的拓展空间。3、地区差异中的居民家庭信息消费成长居民信息消费结构成长中的支出差异与地区差异，并非某国所独有，而是一个世界性现象。我国居民信息消费成长的地区差异，既表现在结构比重上，也表现在速度上；既表现在我国各省市城镇，也表现在农村地区。总的来说，经济开放发达地区居民的信息消费成长明显快于经济落后地区。如表1所示。由表1可知，以进人21世纪的2000年为基期，把全国31个省市划分为4组：一组是年人均信息消费支出在1000元以上的5省市，包括上海(1973. 60)、北京（1939. 93)、广东（1234. 98)、浙江(1229. 62）、天津（1172. 34）；二组是年人均信息消费支出在全国平均水平636.86^-999元之间的6个省市，包括江苏( 787. 26),福建(772. 85 ),辽宁(745.9),山东(705. 22),黑龙江(669. 16),吉林(646. 47）；三组是年人均信息消费支出在450635元之间的13个省市，包括湖南(634. 34),内蒙古(631. 46),重庆(613. 82),湖北( 579. 62 ),陕西(552. 66)、宁夏(544. 93),新疆( 524. 53),海南(507. 63)、山西(488.85),四川(483. 98),河北(481.40)、广西(472. 90)、青海(462. 38)；四组是449元以下的7省市，包括江西(431. 61),云南(423.92),甘肃(423. 24),安徽(419.44),河南(372. 58)、贵州(320. 56)、西藏(218. 60)。信息消费水平排全国平均水平以上的均在经济开放发达的直辖市、东南沿海地区和东北部地区。在2000-2006年的6年间，年均增长（％）最大的是重庆（16. 78)、山西（16. 74)、安徽（16. 57)、河南(16. 57）；增幅较次的是江西（15. 46）、陕西（15. 15）、河北（15.01），均出在信息消费水平排全国评价水平以上的三、四组中。它们的增速大大高于全国平均增速（13. 93），也高于2000年排在全国平均水平以上的一、二组的省市，显示出差异中的信息消费结构性成长特征。2006年年人均信息消费支出排前的5省市仍然是2000年排前的5省市，但次序发生了变化，变为北京（4299. 41）、上海（3866.49）、浙江（2687. 49）、天津(2524. 32)、广东(2333. 26)，而且它们在2000～2006年的平均增速除北京(14. 18)略高于全国平均增速外，都在全国平均增速之下。这或许有统计差异上问题，也有消费达到一定程度后增长显得相对平缓的阶段特征性原因，但确实反映现阶段我国居民信息消费在地区差异中成长的结构性特征。地区差异中的信息消费结构性成长，从一个侧面说明适度的地区差异构成信息消费结构成长的动力之一。4,网络信息消费等新兴信息消费项目快速成长就总体趋势来说，我国居民信息消费正处在从传统向现代转变时期。传统与现代的区分主要体现在传播媒介上，前者以报刊、书籍、电话、电视、照相机、录音机录像机等手段为主，后者则主要表现在电脑、国际互联网，或传统传媒与电脑网络的融接等方式上。网络信息消费成长快，规模总量大。网络信息消费可从两方面来看：一是狭义的网络信息消费（用C,表示），包括上网费和用于上网的电话费的支出；二是广义的网络信息消费（用C：表示），包括网上购物、网上支付、网上有偿下载（如各种数字报刊、数字书籍、数字资料、数字音乐、数字影视、数字游戏等）等各种在线支出的网络消费。人们对互联网的使用时数呈继续上升趋势，这表明互联网对居民日常生活的渗透性变得越来越广，居民的网络信息消费也越来越强。我国网民每月上网费用支出有一个明显的变化过程，以100元为界,100元以内消费水平的在2000年前远不足50％，而到2001- 2004年上升到70％左右,2005年下半年以来在达到平均最高的103元以后，即出现下降，应该说下降不是消费者刻意缩减开支所致，而主要是网络服务提供商竞相压价的结果。趋势表明，随着网络市场经济的发展，互联网与人们的生活更加紧密，人们对互联网的使用将越来越频繁，而居民的网络信息消费会更趋合理。据国际电信联盟对世界上人口在4万以上的206个经济体的电信发展调查分析报告：上网费是每月20小时拨号上网费用，如果宽带价格更低，则用宽带价格取代拨号上网①。不同经济体的因特网资费数据反映出各国上网费的水平，同时反映出新兴信息消费在居民信息消费结构中的成长差异。从广义网络信息消费看。网上购物和网上销售是互联网作为电子商务平台工具的重要体现，网民和商家可以通过互联网平台，各取所需，共同获益。从网络消费的角度考察，受网上购物的消费示范和带动效应的有力推拉作用，近几年来我国包括网上购物等各种在线支出在内的广义网络信息消费快速提升。人均月互联网消费水平，2005年为157. 8元；2006年为169. 57元，比上年增长7. 46％；2007年估计（中国互联网数据中心）达195. 76元，比2006年增长15. 4％。互联网用户网络消费总额，2005年为1876. 53亿元；2006年为2767. 46亿元，比上年同比增长47％；2007年估计达3641. 14亿元，比上年增长32％，而与2005年相比，则将近翻了一番②。这有近几年来我国互联网用户以每年2000万左右速度增长的原因。网上购物行为与网上支付、网上银行等网上金融活动息息相关。网上购物用户使用这两种网上金融手段的比例要比其他网民使用比例高得多。网上购物的兴起推动众多如网上支付和网上银行等相关网络应用的更快发展。2001年我国网上支付的用户规模为374万,2004年增长至1830万，2007年估计达5325万。网上购买、网上支付迅速扩大的同时是我国居民网上信息消费的大幅提高。目前我国网络信息消费仍以城镇居民，尤其青年人为主③。我国居民信息消费正在从传统向现代转移，而转移在东中西部3大区域的表现并不同步。面上的判断是东部转移较早、较快，而中部和西部则较晚、较慢。近几年来西部地区的消费水平显得比中部略高一些，这与国家实施西部大开发战略有关。时间趋势上，东中西部3大区域信息消费水平的差距有进一步扩大的趋势，但也有中部随着市场经济发展而崛起的可能。值得重视的是，信息消费成长的结构差异特点，会由于信息消费与经济增长的正相关关系，而使经济成长的结构性差距更大幅度地拉大。四、有关促进我国城乡居民信息消费结构性差异成长的思考综上所述，我国作为一个发展中国家，居民信息消费成长具有结构性差异特征。结构性差异成长表现在居民消费支出构成、城乡差异、地区差异、新兴网络信息消费比传统信息消费成长更快等方面，而要切实促进城乡居民信息消费成长又必须基于这些结构性差异成长的现实与决定性因素出发。决定我国信息消费结构差异成长的因素可分为外在因素和内在因素两大板块。内在的力量，也就是内在于居民生命体中的信息需求，信息需求通过信息消费来实现和满足。外在因素，即从信息消费者外部产生影响作用的因素。在一定意义上，外在因素可以等价于外部环境。外部环境分国外环境与国内环境。显然，国内信息环境大大改进是支持近些年来我国居民信息消费成长的基础，但每个居民因其工作生活条件和对信息环境的感应与接受能力的不同，从环境中获得信息福利的好处是有差异的，这是导致我国居民信息消费成长中存在结构不平衡的一个重要原因。外在因素通过居民内在的信息需求而起作用，支持或推动居民信息消费成长。推动信息消费结构成长的因素同样具有结构性差异特征。内外在因素分析表明，外部因素通过内部结构性因素而起作用。事实上，信息消费增长的作用效应远远超出其本身。除促进居民消费结构升级外，还对生产性消费产生积极的作用和效果。当前世界性的能源消费过快是个突出的矛盾，其中有信息不对称的原因，而信息消费者同时又是物能产品生产者，居民信息消费的增长在提高其作为生产者的人力资本素质的同时，势必会有利于化解能源消费过程中的信息不对称问题，有助于解决能源消费增长过快问题。促进我国城乡居民消费结构升级与信息消费可持续发展的关键是：在农村，因应结构差异动力之势，以农民自主发展能力提高为基点，着眼基层的高端，诱导农村信息消费更快成长；在城市，更新传统的“富而信息消费”观念，以系统协调的方法研究弱者的信息消费成长模式，切实扶持弱势群体；在城乡之间，构建贯通城乡的信息网路图，着力城乡信息集散点的公共信息产品开发，打通集散点到家庭的“最后一公里”；在区域上，关注中部地区，促进中部信息消费的崛起。希望能对你有帮助

文献综述是对某一方面的专题搜集大量情报资料后经综合分析而写成的一种学术论文， 它是科学文献的一种。 格式与写法 文献综述的格式与一般研究性论文的格式有所不同。这是因为研究性的论文注重研究的方法和结果，特别是阳性结果，而文献综述要求向读者介绍与主题有关的详细资料、动态、进展、展望以及对以上方面的评述。因此文献综述的格式相对多样，但总的来说，一般都包含以下四部分：即前言、主题、总结和参考文献。撰写文献综述时可按这四部分拟写提纲，在根据提纲进行撰写工。 前言部分，主要是说明写作的目的，介绍有关的概念及定义以及综述的范围，扼要说明有关主题的现状或争论焦点，使读者对全文要叙述的问题有一个初步的轮廓。 主题部分，是综述的主体，其写法多样，没有固定的格式。可按年代顺序综述，也可按不同的问题进行综述，还可按不同的观点进行比较综述，不管用那一种格式综述，都要将所搜集到的文献资料归纳、整理及分析比较，阐明有关主题的历史背景、现状和发展方向，以及对这些问题的评述，主题部分应特别注意代表性强、具有科学性和创造性的文献引用和评述。 总结部分，与研究性论文的小结有些类似，将全文主题进行扼要总结，对所综述的主题有研究的作者，最好能提出自己的见解。 参考文献虽然放在文末，但却是文献综述的重要组成部分。因为它不仅表示对被引用文献作者的尊重及引用文献的依据，而且为读者深入探讨有关问题提供了文献查找线索。因此，应认真对待。参考文献的编排应条目清楚，查找方便，内容准确无误。关于参考文献的使用方法，录著项目及格式与研究论文相同，不再重复。

本科毕业设计（论文）文献综述院 （系）：专 业：班 级：学生姓名： 学 号:年 月 日本科生毕业设计（论文）文献综述评价表毕业设计（论文）题目综述名称 注意综述名称（综述内容中不要出现本课题怎么样等等）评阅教师姓名 职称评 价 项 目 优 良 合格 不合格综述结构 01 文献综述结构完整、符合格式规范综述内容 02 能准确如实地阐述参考文献作者的论点和实验结果03 文字通顺、精练、可读性和实用性强04 反映题目所在知识领域内的新动态、新趋势、新水平、新原理、新技术等参考文献 05 中、英文参考文献的类型和数量符合规定要求，格式符合规范06 围绕所选毕业设计（论文）题目搜集文献成绩综合评语：评阅教师（签字）：年 月 日文献综述： 小四号宋空一行标题 二号黑居中空一行1 XXX 三号黑XXX 小四号宋，行距20磅1.1 XXXX 小三号黑XXX 小四号宋，行距20磅1.1.1 XXX 四号黑XXX 小四号宋，行距20磅空一行2 XXXX 三号黑(空1行)参 考 文 献(空1行)[要求按国标GB 7714—87《文后参考文献著录规则》书写，例如：][1] 袁庆龙，候文义．Ni-P合金镀层组织形貌及显微硬度研究［J］．太原理工大学学报，2001，32(1)：51-53 ．（宋体五号，行距固定值20磅）[2] 刘国钧，王连成．图书馆史研究［M］．北京：高等教育出版社，1979：15-18，31．下面的是我的文献综述文献综述:FTO透明导电薄膜的溅射法制备1 前言为了更好的开展毕业论文及毕业实验工作，在查找和阅读与《DSSC用FTO透明导电玻璃的溅射法制备》相关的文献和资料，完成撰写了本文献综述。随着科技的日趋成熟，导电玻璃的制备方法也越来越成熟，种类也衍生得越来越多。本文章将对国内外的制备方法，种类，发展现状及趋势，工艺性能，退火处理对性能的影响等方面做一简要介绍。2透明导电玻璃的种类及制备方法简介2.1透明导电玻璃的种类2.1 .1 TCO导电玻璃TCO（Transparent Conductive Oxide）玻璃，即透明导电氧化物镀膜玻璃，是指在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜而形成的组件.主要包括铟、锡、锌、铬的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。2.1.2 ITO透明导电玻璃ITO透明导电玻璃全称为氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃,多通过ITO导电膜玻璃生产线,在高度净化的厂房环境中,利用平面磁控技术,在超薄玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。 ITO玻璃产品广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域。2.1.3FTO透明导电玻璃FTO透明导电玻璃为掺杂氟的SnO2导电玻璃(SnO2:F)，简称为FTO。FTO玻璃可以做为ITO导电玻璃的替换用品，广泛用于液晶显示屏，光催化，薄膜太阳能电池基底等方面，市场需求极大. FTO玻璃因其特殊性，在染料敏化太阳能电池，电致变色和光催化方面对其透光率和导电率都有很高的要求，其综合性能常用直属FTC来评价：FTC＝T10／RS。T是薄膜的透光率，RS是薄膜的方阻值；在光学应用方面，则要求其对可见光有好的透射性和对红外有良好的反射性。对其基本要求是：①表面方阻低，②透光率高，③面积大、重量轻，④易加工、耐冲击。2.2FTO透明导电玻璃制备方法FTO透明导电玻璃的制备方法有，物理方法：溅射法、真空蒸发镀膜法、离子辅助沉积镀膜法等；化学方法：喷雾热解法、溶胶-凝胶法和化学气相沉积法等。目前适合批量生产且研发较多的有真空蒸发镀膜法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解等方法！［1］化学气相沉积法和真空镀膜法制备的薄膜和玻璃基板的结合强度不够，溶胶-凝胶法制备的导电薄膜电阻较高。适合于批量生产且已经形成产业的工艺，只有磁控溅射法和溶胶－凝胶法。特别是，溅射法由于具有良好的可控性和易于获得大面积均匀的薄膜。2.2.1磁控溅射法镀膜：溅射镀膜(sputtering deposition)是指用离子轰击靶材表面，使靶材的原子被轰击出来，溅射产生的原子沉积在基体表面形成薄膜。溅射镀膜有二级、三级或四级溅射、磁控溅射、射频溅射、偏压溅射、反应溅射、离子束溅射等装置。目前最常用的制备CoPt 磁性薄膜的方法是磁控溅射法。磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使氩气发生电离。氩离子被阴极加速并轰击阴极靶表面，将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。通过更换不同材质的靶和控制不同的溅射时间，便可以获得不同材质和不同厚度的薄膜。磁控溅射法具有镀膜层与基材的结合力强、镀膜层致密、均匀等优点。2.2.2真空蒸发镀膜：真空蒸发镀膜(vacuum vapor deposition)是在工作压强低于10-2 Pa，用蒸发器加热物质使之汽化蒸发到基片，并在基片上沉积形成固态薄膜的一种工艺方法。真空蒸发的加热方式主要有电阻加热蒸发、电子束加热蒸发、高频加热蒸发和激光加热蒸发等。对于镀制透明导电氧化物薄膜而言，其真空蒸发镀膜工艺一般有三种途径：(1)直接蒸发氧化物；(2)采用反应蒸发镀，即在蒸发金属的同时通入氧气进行化学反应生成金属氧化物；(3)对蒸发金属镀膜进行氧化处理。2.2.3溶胶-凝胶法：溶胶-凝胶法(so1-gel)是近年来发展起来的能代替高温固相合成反应制备陶瓷、玻璃和许多固体薄膜材料的一种新方法。它将金属醇盐或无机盐经溶液、溶胶、凝胶而周化，再将凝胶低温处理变为氧化物的方法，是应用胶体化学原理制各无机材料的一种湿化学方法。溶胶-凝胶工艺是一种制备多元氧化物薄膜的常用方法。按工艺可分为浸涂法和旋涂法。浸涂法是将衬底浸人含有金属离子的前驱体溶液中，以均匀速度将其提拉出来，在含有水分的空气中发生水解和聚合反应，最后通过热处理形成所需薄膜；而旋涂法则是通过将前体溶液滴在衬底后旋转衬底获得湿膜。2.2.4化学气相沉积法：化学气相沉积(chemical vapor deposition，CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态薄膜沉积在加热的固态衬底表面，是一种重要的薄膜制各方法。CVD法所选的反应体系必须满足：(1)在沉积温度下，反应物必须有足够的蒸汽压；(2)化学反应产物除了所需的沉积物为固态外，其余必须为气态；(3)沉积物的蒸汽压应足够低，以保证能较好地吸附在具有一定温度的基体上，但此法因必须制各具有高蒸发速率的铟锡前驱物而使生产成本较高。影响化学气相沉积薄膜的工艺参数很多，包括基体温度、气压、工作气体流量和反应物及其浓度等。化学气相沉积技术的主要特点包括：设备及工艺简单、操作维护方便、灵活性强；适合在各种形状复杂的部件上沉积薄膜：由于设备简单，薄膜制备的成本也比较低。但是，薄膜的表面形貌很大程度上受到化学反应特性以及能量撒活方式的影响。2.2.5喷雾热分解法：喷雾热分解法是化学法成膜的一种，其过程与APCVD法比较相似。它是将前驱体溶液在高压载气的作用下雾化，然后输送到基片表面，在高温作用下，前驱体溶液发生一系列复杂的化学反应，在基片表面上得到需要的薄膜材料。而反应副产物一般是通过气相形式排出反应腔。常用的高压载气主要有：压缩空气、氮气、氩气等等。但是由于压缩空气中常含有大量的水蒸气，所以用氮气作为载气的情形比较多。如果需要在基片表面上发生分解反应，基片温度一般在300℃以上，在玻璃上制备FTO薄膜的基片温度一般为500℃。影响最终薄膜性能的喷涂参数有：载气压力、前驱体溶液流量、基片温度、喷口与基片的距离、喷枪移动速度等等［2］。在成膜过程中基材的温度、液体的流速、压缩气体的压力以及喷嘴到基材的距离等参数均可实现精确控制［3］。3 FTO透明导电玻璃的研究现状、应用及发展趋势3.1FTO透明导电玻璃的研究现状自1907年Badeker首次报道了热氧化溅射的Cd薄膜生成半透明导电的CdO薄膜，引发了对透明导电氧化物(TCO)薄膜的研究。1950年前后出现了硬度高，化学稳定性好的SnO2基薄膜及综合光电性能优良的In2O3基薄膜，ZnO基薄膜的研究始于2O世纪80年代 。目前研究和应用较多的TCO薄膜主要有SnO2、In2O3。和ZnO基三大体系，其中以In203：Sn(ITO)，SnO2 ：F(FTO)和ZnO：Al(ZAO)最具代表性，这些薄膜具有高载流子浓度(1018～1021cm-3)和低电阻率(10-3～1O-4Ω•cm)，且可见光透射率8O％～90％，使这些薄膜已被广泛应用于平面显示、建筑和太阳光伏能源系统中。［4］ 已经商业化应用的TCO薄膜主要是In2O3Sn(ITO)和SnO2：F(FTO)2类，ITO由于其透明性好，电阻率低，易刻蚀和易低温制备等优点，一直是显示器领域中的首选TCO薄膜。FTO薄膜由于其化学稳定性好，生产设备简单，生产成本低等优点在节能视窗等建筑用大面积TCO薄膜中，具有很大的优势［5］。Sn02：F（FTO）掺杂体系是一种n型半导体材料，表现出优良的电学和光学性能，并且耐腐蚀，耐高温，成本低，化学稳定性好，是现在研究较多，应用范围较广的一类TCO薄膜。苗莉等［6］采用喷雾热解法，以NH4F、SnCl2•2H20为原料，在普通玻璃衬底上制备出了方块电阻最低达到6.2Ω/口，可见光透光率为86.95％的FTO薄膜，且薄膜晶粒均匀，表面形貌平整致密。Yadav等［7］采用喷雾热解法，制备了不同厚度的FTO薄膜，最低电阻率达到3.91 X 10-4 Ω•cm。Moholkar等［8］采用喷雾热解法，制备了不同掺F浓度的FTO薄膜，研究了氟的掺杂浓度对Sn02薄膜的光学，结构和电学性能的影响。中国科学院等离子体物理研究所的戴松元小组［9、10］将FTO用于染料敏化太阳电池的透明电极，并获得较高的光电转换效率。射频溅射：射频溅射的基本原理是射频辉光放电。国内外射频溅射普遍选用的射频电源频率为13．56MHz,以防止射频信号与无线电信号的相互干扰。通常直流溅射的基本过程是，从阴极发出的电子，经过电场的加速后获得足够的能量，可以使气氛气体发生电离。正离子在电场作用下撞击阴极表面，溅射出阴极表面的原子、分子到衬底表面发生吸附、凝聚，最终成膜。直流溅射不能用于绝缘体材料的薄膜制备，因为绝缘材料在受到正离子轰击时，靶材表面的正离子无法中和，使靶表面的电位逐渐升高，导致阴极靶与阳极问的电场减小，当靶表面电位上升到一定程度时，可以使气体无法电离，溅射无法进行。而射频溅射适合于任何一种类型的阻抗耦合，电极和靶材并不需要是导体，射频溅射非常适合于制备半导体、绝缘体等高熔点材料的薄膜。在靶材表面施加射频电压，当溅射处于上半周时，由于电子的质量比离子的质量小很多，故其迁移率很高，用很短时间就可以飞向靶面，中和其表面积累的正电荷，从而实现对绝缘材料的溅射，并且在靶表面又迅速积累起了大量的电子，使其表面因空间电荷而呈现负电位，导致在射频溅射正半周期，也可吸引离子轰击靶材。从而实现了在电压正、负半周期，均可溅射。磁场的作用是将电子与高密度等离子体束缚在靶材表面，可以提高溅射速度。［11］用JPGF一450型射频磁控溅射系统在玻璃衬底上制备SnO2：F薄膜，系统的本底真空度为10-3Pa．溅射所用陶瓷靶是由纯度为99.99％SnO2和NH4F，粉末经混合、球磨后压制成坯，再经1300℃烧结而成，靶中NH4F的重量比是1.78％，用纯度为99．99％ 的氩气和氧气作为工作气体，由可控阀门分别控制气体的流量。溅射过程中，控制真空室内氩气压强为1Pa，氧分压为0.5—1.5 Pa，靶与衬底间的距离为5cm．溅射功率为150W，溅射时间为25 min，衬底温度为100℃。用RIGAKU D／MAX—yA型x射线衍射(XRD)仪(CuKa辐射波长，0.154178 nm)测试样品的结构，用APHM一0190型原子力显微镜(AFM)观测样品的表面形貌，使用 rv一1900型紫外可见光分光光度计测量样品的吸收谱，使用激发源为325 nm的He—Cd激光器的光谱仪测量样品的室温光致发光谱，使用普通的万电表测试它的导电性（前提是尽量保持测量条件的一致性）。3.2FTO透明导电玻璃的应用FTO透明导电玻璃具有优良的光电性能，被广泛用于太阳能电池的窗口材料、低损耗光波导电材料及各种显示器和非晶硅太阳能电池中作为透明玻璃电极等，与生活息息相关。3.2.1在薄膜太阳电池上的应用太阳能电池是利用光伏效应，在半导体p-n结直接将太阳光的辐射能转化成电能的一种光电器件。TCO薄膜是太阳电池关键材料之一，可作为染料敏化太阳电池(dye-sensitized solar cells，DSCS)［12］等的透明电极，对它的要求是：具有低电阻率(方块电阻Rsh约为15Ω/□)；高阳光辐射透过率，即吸收率与反射率要尽可能低；化学和力学稳定性好的特点。在薄膜太阳电池中，透明导电膜充当电极，具有太阳能直接透射到作用区域几乎不衰减、形成p-n结温度较低、低接触电阻、可同时作为防反射薄膜等优点。3.2.2在显示器上的应用显示器件能将外界事物的光、声、电等信息，经过变换处理，以图像、图形、数码、字符等适当形式加以显示。显示技术的发展方向是平板化。在众多平板显示器中，薄膜电致发光显示由于其主动发光、全固体化、耐冲击、视角大、适用温度宽、工序简单等优点，引起广泛关注，并发展迅速。FTO薄膜具有可见光透过率高、电阻率低、较好的耐蚀性和化学稳定性，因此被广泛用作平板显示器的透明电极。3.2.3在气敏元件上的应用气体传感器是把气体的物理、化学性质变换成易处理的光、电、磁等信号的转换元件。半导体气体传感器是采用金属氧化物或金属半导体氧化物材料做成的元件，与气体相互作用时产生表面吸附或反应，引起以载流子运动为特征的电导率或伏安特性或表面电位变化。二氧化锡薄膜气敏器件具有灵敏度高、响应速度和恢复速度快、功耗低等特点，更重要的是容易集成。随着微电子技术的发展，传感器不断向智能化、微型化方向发展。［13］3.2.4在建筑幕墙玻璃及透明视窗上的应用喷雾热解法制各的FTO薄膜能用于阳光节能玻璃，对可见光高透射，但对红外光高反射，其反射率大于70％。让阳光中可见光部分透过，而红外部分和远红外反射。阳光中的可见光部分对室内采光是必需的，但可将红外部分的热能辐射反射回去，能有效调节太阳光的入射和反射。利用FTO薄膜在可见光区的高透射性和对红外光的高反射性，可作为玻璃的防雾和防冰霜薄膜。3.3 FTO透明导电玻璃的发展趋势随着LCD的商品化、彩色化、大型化和TFT的驱动或太阳能电池的能量转变效率的提高，人们对透明导电氧化物（TCO）薄膜的要求越来越严格，至少需要满足如下条件：(1)导电性能好，电阻率较低；(2)可见光内透光率较高：(3)镀膜温度更接近室温，能大面积均匀地镀膜；(4)膜层加工性能好，可以进行高精度低损伤腐蚀；(5)热稳定性及耐酸、碱性优良，硬度高；(6)表面形状良好，没有针孔；(7)价格较低，可实现大规模工业化生产。目前，TCO薄膜已普遍达到下列水平：膜厚为500 nm的情况下电阻率在10-4 Ω•cm数量级，在可见光区透光率达80％，载流子迁移率一般达到40cm2／(v•s)。虽然TCO薄膜的性能指标可以满足当前应用需要，但随着器件性能的不断提升，对TCO薄膜提出了更高的性能要求。一些学者提出了TCO薄膜发展的一个量化的前景指标：禁带宽度>3 eV，直流电阻率～5×10-5 Ω•cm，可见光段在自由电子作用下的吸收系数<2x103 cm-1，载流子迁移率>100 cm2／(v•s)。几十年来，人们一直在努力提高透明导电薄膜的透明性和导电性。SnO2：F（TFO）透明导电薄膜由于其兼备低电阻，高的可见光透过率，近红外高的反射率，优良的膜强度和化学稳定性等优点，越来越受到人们的青睐，必将在平板显示器件、建筑物玻璃和气敏传感器等众多领域中得到更广泛的应用。利用溅射法制备FTO透明导电玻璃它的生产工艺简单，操作方便，利于控制。成本较低，原料易得，但在制备过程中NH4F加热分解放出有污染的氮氧化物和氨烟，这对以后商业化生产造成了很大的制约。所以对原料的改进和污染的控制方面还有待开发。4 制备条件对膜结构及光电性能的影响长安大学材料科学与工程学院段理等做了磁控溅射制备银掺杂ZnO薄膜结构及光电性质研究实验，发表了文献［14］，并在文献14中得出了4.1——4.3的结论。4.1制备条件对膜厚的影响文献中采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了银掺杂ZnO薄膜，当薄膜淀积时间从30rain延长到90min时，薄膜的厚度几乎按照线性关系从约270nm增加到820nm，即薄膜的淀积速率大致稳定在9nm／min左右，为匀速生长。溅射功率与膜厚呈线性增长，及沉淀速率与溅射功率大致呈线性关系。4.2制备条件对膜结构的影响晶体质量随溅射功率的增大而降低，随溅射气压的增大而降低。4.3制备条件对膜光电性质的影响在固定溅射总气压的条件下，增大氧分压可以增强薄膜的紫外发光强度，增大薄膜的载流子浓度。4.4 退火对薄膜的影响退火能显著提高薄膜晶体质量，并增强薄膜的PL发光强度和导电能力，其原因是退火能使银离子完成对锌离子的替代从而形成受主。［15］5 退火后处理对膜结构与成分的影响光敏薄膜的光电、形貌性能与退火处理密切相关，退火处理优化了薄膜表面形貌、减小了光学能隙、增大了薄膜的导电率和载流子迁移率。光敏薄膜性能的优化，有利于增大聚合物太阳电池的填充因子、开路电压和短路电流，对于提高其能量转换效率、改善器件光伏性能具有非常重要的意义。［16］分别对较低氧分压反应磁控溅射制备的 薄膜进行氧化性气氛和惰性气氛退火。通过XRD和SEM 分析，发现氧化性气氛退火薄膜为表面多孔的金红石结构 ，而惰性气氛退火薄膜表面较为致密，结构分析不仅观察到金红石结构的 ，还发现了四方结构的 。XPS表面分析进一步表明，氧化性气氛退火后，薄膜成分单一，未氧化的 完全氧化成稳定的 ，而且具有稳定结构的 薄膜表面吸附水很少。相对而言，惰性气氛退火后，薄膜表面 、 和 共存，表面化学吸附氧和吸附水较明显，薄膜的稳定性降低。［17］6 FTO导电玻璃制备相关参数根据范志新等所提出的理论表达式： 带入相关数据可得到，SnO2:F（FTO）的最佳掺杂含量为2.54%［18］通过对比总结，参考大量数据，选择溅射功率：100W，溅射压力：5Pa，溅射时间：1.5h，溅射靶距：38mm［13、19］做产品。进行相关参数的选择与优化。7 参考文献1、张志海， 热解法制备氟掺杂二氧化锡导电薄膜及其性能研究 合肥工业大学2、汪振东， 玻璃基TiO<,2>-SiO<,2>/SnO<,2>：F薄膜的喷雾热分解法制备和表征 武汉理工大学3、郝喜红， 喷雾热解法制备掺杂二氧化锡导电薄膜 西安建筑科技大学4、张明福等， 透明导电氧化物薄膜研究的新进展 压电与声光5、方俊 杨万莉， n型透明导电氧化物薄膜的研究新进展 陶瓷6、苗莉等， SnO2:F导电薄膜的制备方法和性能表征 材料导报7、Yadav A A，Masumdar E U，Moholkar A V，et a1．Effect of quantity of spraying solution on the properties of spray deposited fluorine doped tin oxide thin films[J]．Physiea B：Condensed Matter，2009，404(12—13)：1874 - 1877．8、Moholkar A V，Pawar S M，Rajpure K 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