我碰到过一次氮化钛靶材打磨后，表面是一片黑，感觉是那些小黑点被磨平了，然后溅射一个小时打掉表面那层，这时候靶材表面比较干净，但再溅射做样品，表面又逐渐出现小黑点，电阻率比刚买回来的时候高一倍左右；氮化钛跑道发黑，表面晶粒粗糙：出现的原因1.靶温度太高，冷却不够。2.溅射气份不纯，如真空度不好，靶体微漏，充气参杂。如都不是，需充氮气尝试。3.也可能是铟焊化了漏出来了，污染了靶材表面。希望能帮到你。
PVD涂层技术是一种绿色清洁的表面处理技术—在高真空中采用物理方法在目标工件表面上制备一层几百纳米到几十微米的涂层，可以提供特定表面强化需求。PVD硬质涂层还可以作为装饰性涂层，调整工艺能制备不同颜色，准备镀黑色，然后同一炉出来的，有的是黑的，其他的有的发红，有的发绿，有的发蓝，原因离化率不够，漏气，乙炔加多了都会导致出现颜色差。
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水瓶座小小猪
