质量流量计论文

MFC sensor的构成是有加热电桥heater和两个温度传感器Upstream和 Downstream构成，Upstream和 Downstream的电阻值基本一致但必须＜3欧姆，heater会保持一个恒定的温度100度左右，当制动MFC时gas通过tube时Upstream和 Downstream会产生一个温度差，将此温度差转换为0-5V的信号，此信号为SPAN值，通过比较器调整SPAN，PID闭环控制，使流过通道的流量与设定的流量相等。达到驱动阀门的目的，sensor的电压越高流量就越大，另外还设有一个用于干扰的LINE，通过调整LINE使流量保持直线状态。

分流通道部品（res）根据Gas和流量有着不同的流量尺寸和电磁阀里面的小通气螺丝(ori)配套使用，ori大小要恰到好处也有很多尺寸。Res的流量和senor部分通过的流量成正比。分流通道Res部品流量值太大会照成通过sensor tube gas的流量减少，太小会照成通过sensor tube的流量过大，sensor的电压与通过senor tube gs的量成正比，sensor span和干扰line电压应该保持在一个合理的范围内要不会照成sensor测定不准确甚至MFC驱动不正常。

电磁阀部分要控制好电压，电压太高会造成电磁阀发热继而影响流量，太低会造成电磁阀打不开等情况。

流量计的话没有电池阀部分，其他都一样。

流体的体积是流体温度和压力的函数，是一个因变量，而流体的质量是一个不随时间、空间温度、压力的变化而变化的量。如前所述，常用的流量计中，如孔板流量计、层流质量流量计、涡轮流量计、涡街流量计、电磁流量计、转子流量计、超声波流量计和椭圆齿轮流量计等的流量测量值是流体的体积流量。在科学研究、生产过程控制、质量管理、经济核算和贸易交接等活动中所涉及的流体量一般多为质量。采用上述流量计仅仅测得流体的体积流量往往不能满足人们的要求，通常还需要设法获得流体的质量流量。以前只能在测量流体的温度、压力、密度和体积等参数后，通过修正、换算和补偿等方法间接地得到流体的质量。这种测量方法，中间环节多，质量流量测量的准确度难以得到保证和提高。随着现代科学技术的发展，相继出现了一些直接测量质量流量的计量方法和装置，从而推动了流量测量技术的进步。

测量管道内质量流量的流量测量仪表。在被测流体处于压力、温度等参数变化很大的条件下，若仅测量体积流量，则会因为流体密度的变化带来很大的测量误差。在容积式和差压式流量计中，被测流体的密度可能变化30%，这会使流量产生30～40%的误差。随着自动化水平的提高，许多生产过程都对流量测量提出了新的要求。

1什么是质量流量计：

质量流量计，英文Mass Flow Meter（简称MFM），用来快速、精确测量过程气体流量大小的精密传感器。这里讲的质量流量计主要应用于低压、小流量的单一或混合气体，低压一般在1Mpa以下，最大可达3Mpa；流量范围一般为：；单一气体如常见的空气、氦气、氩气等，要求相对干燥、纯净；混合气体则需明确气体种类和比例。

2质量流量计可获得哪些参数：

易度质量流流量计可精确获得气体的实时温度、压力、工况流量、标况流量和累计流量五大参数。

3质量流量计的单位：

一般为：SLPM（标况下升/分钟）和SCCM(标况下毫升/分钟），均为标况下的体积流量单位，易度标况定义为和25℃。

4质量流量计的构成：

易度层流质量流量计主要由层流元件、压差传感器、压力传感器、温度传感器、电路设计、软件算法六部分组成。

5层流压差式质量流量计的工作原理：

层流压差原理，基于哈根泊肃叶定律设计的

在温度、管径等参数一定的情况下，气体是层流状态时，通过获取层流元件两端的压差信号，计算出体积流量，然后通过温度、压力等参数的修正，获得标准体积流量。

易度质量流量计结构示意图：

6质量流量计的通讯：

易度质量流量计可通过RS485、profibus等数字信号，0-5V 、4-20mA模拟信号或触摸式显示屏面板来进行介质切换、标况定义更改、参数显示等操作。

质量流量计是采用感热式测量，通过分体分子带走的分子质量多少从而来测量流量，因为是用感热式测量，所以不会因为气体温度、压力的变化从而影响到测量的结果 。质量流量计是一个较为准确、快速、可靠、高效、稳定、灵活的流量测量仪表，在石油加工、化工等领域将得到更加广泛的应用，相信将在推动流量测量上显示出巨大的潜力。质量流量计是不能控制流量的，它只能检测液体或者气体的质量流量，通过模拟电压、电流或者串行通讯输出流量值。但是，质量流量控制器，是可以检测同时又可以进行控制的仪表。质量流量控制器本身除了测量部分，还带有一个电磁调节阀或者压电阀，这样质量流量控制本身构成一个闭环系统，用于控制流体的质量流量。质量流量控制器的设定值可以通过模拟电压、模拟电流，或者计算机、PLC提供。和顺达流量计