围绕原子层沉积、纳米颗粒、薄膜等微结构的工艺过程开发与优化,承担了多项微电子与新能源相关项目的研究,是选择性原子层沉积技术的先驱者之一。在Advanced Materials等国际知名期刊上发表论文20余篇(累计影响因子近七十),在相关国际学术会议作报告30余次,主编撰写“十二 五”重点出版物一部,微纳制造领域5项专利申请。中国硅酸盐学会薄膜与涂层分会理事、中国机械工程学会会员。美国电气电子工程学会(IEEE)、材料研究学会(MRS)、电化学学会(ECS)、美国物理学会(APS)、美国化学学会(ACS)会员。半导体研究协会(SRC) Simon Karecki奖等获得者,曾担任美国劳伦斯-伯克利国家实验室开放基金特邀专家评审组成员,英特尔风险投资部门纳米材料及新能源技术顾问及学术基金部门顾问。长期担任 Applied Physics Letters, Journal of Applied Physics等国际权威期刊的特邀审稿人。