本论文主要针对表面等离子体的超分辨光刻技术进行了研究。论文的主要工作和结论如下:1、首先分析了传统光刻技术的优缺点,讨论了光刻技术的发展历史和发展新型光刻技术的必要性。分析了表面等离子体光刻技术的现状,并在其基础上,提出了基于PDMS软掩模
基于表面等离子体共振技术的传感器研究.【摘要】:本文的主要工作是研究基于表面等离子共振技术(SurfacePlasmonResonance,SPR)的传感器,SPR传感器的主要原理是表面等离子波对界面处介质成分折射率的微小变化非常敏感,具有测量精度高、测量速度快、抗干扰能力...
1.2表面等离子体传感技术简介表面等离子体是现代微纳光子学中一个非常重要的研究领域。.人类对表面等离子体的认知和探索距今已有相当长的历史。.关于该现象最早的文献记载可以追溯到1902年,Wood发现当用一束偏振光照射金属衍射光栅时,衍射谱中...
表面等离子体激元论文表面等离子体激元SurfacePlasmonPolaritonsSPPs)是光和金属表面的自由电子相互作用所引起的一种电磁波模式,或者说是在局域金属表面的一种自由电子和光子相互作用形成的混合激发态。在这种相互作用中,自由电子在与其...
表面等离子体超分辨光刻装置关键技术研究.【摘要】:从集成电路的概念提出以来,光刻技术得到了长足的发展。.传统投影透镜成像光刻方法在进入到纳米尺度时,面临着难以逾越的经济成本挑战。.在保证经济性的前提下,迫切需要发明创新的技术来满足下一代...
低温等离子体技术在表面改性中的应用毕业论文范文介绍开始:.论文编号:WLX132字数:9245,页数:12.摘要.处于非热力学平衡状态下的低温等离子体中,电子具有较高的能量,可以断裂材料表面分子的化学键,提高粒子的化学反应活性,而中性粒子的温度接近室温...
故本论文就以低温等离子体处理技术为主,对这种技术在玻璃表面改性及其应用进行研究。2.2低温等离子体技术2.2.1等离子体简介等离子体是由大量相互作用的但仍处于非状态下的带电粒子组成的非凝聚系统,是与固态、液态、气态...
基于表面等离子体共振技术的紫外探测研究—博士毕业论文下载.基于表面等离子体共振技术的紫外探测研究.论文目录.摘要.第1-7页.Abstract.
表面等离子体结构聚焦和吸收特性的研究.作者:师大云端图书馆时间:2018-04-28分类:硕士论文喜欢:1876.【摘要】表面等离子体是金属表面的自由电子和入射光波之间相互作用而形成的一种电磁波。.虽然科学家对表面等离子体的研究已有100多年的历史...
等离子体物理及其材料处理专题编者按物理学报.2021,70(9):090101综述非热等离子体材料表面处理及功能化研究进展张海宝,陈强物理学报.2021,70(9):095203低气压感性耦合等离子体源模拟研究进展张钰如,高飞,王友年物理学报.2021,70(9
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