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西门子多晶硅还原炉内涉及复杂的气相／表面化学反应,本文对文献报道SiHCl3-H2体系下硅的化学气相沉积过程相关实验进行了归纳和比较。采用边界层反应模型和Chemkin模拟软件,耦合不同气相与表面化学反应机理,选取不同文献报道实验的反应器模型,对不同条件下硅的化学气相沉积过程进行了模拟计算。
西门子CVD多晶硅还原炉内传递与反应过程数值模拟研究.【摘要】：西门子CVD法多晶硅是当今最为主要的高纯多晶硅工艺。.其主要设备多晶硅还原炉内涉及气体的湍流流动,对流和辐射换热,含有大量中间产物的气相分解反应,多晶硅在高温表面的沉积和...
西门子CVD多晶硅还原炉内传递与反应过程数值模拟研究,多晶硅,西门子法,气相传质与表面反应,传热,化学气相沉积。西门子CVD法多晶硅是当今最为主要的高纯多晶硅工艺。其主要设备多晶硅还原炉内涉及气体的湍流流动,对流和辐射换热,...
本文关键词：西门子CVD多晶硅还原炉内传递与反应过程数值模拟研究，由笔耕文化传播整理发布。【摘要】：西门子CVD法多晶硅是当今最为主要的高纯多晶硅工艺。其主要设备多晶硅还原炉内涉及气体的湍流流动,对流和辐射换热,含有大量中间产物的气相分解反应,多晶硅在高温表面的沉积...
【摘要】：燃烧化学反应动力学是计算燃烧学中的重要内容之一。本文介绍了处理气相化学动力学的大型软件包CHEMKIN的结构和不同版本的特点,并描述了它在燃烧问题中的应用。最后通过一个算例对H2/O2/N2均相绝热等压燃烧体系进行了处理和计算,以具体说明该软件包的应用效果。
学兔w.X1IOTL1T1第46卷第5期锅炉技术Vo.,46,No.52015年9月BOILERTECHNOLOGYSept.,2015前沿技术O2CO2气氛下煤粉燃烧中NOx转化机理的CHEMKN模拟丛晶,周月…
多晶硅还原炉内流动与传热过程数值模拟与优化.【摘要】：随着近几年光伏产业的迅速发展,改良西门子法作为生产硅的主要方法被广泛关注,如何提高产品生产率、优化设备成为近几年的研究热点。.本文主要研究了改良西门子法中多晶硅还原炉(CVDreactor)中的...
打开chemkin创建新工程.然后选择对冲模块，双击。.然后就在右边出现了一个对冲并且还有一个进气，但是呢，还需要一个进气.然后再选择出气就可以了.接下来更新工程.然后选择工作路径和反应机理.如果新拿到一个机理会有四个文件已KM2为例子.这...
论文翻译-EnPapers美助理教授团队-SCI英文润色切换到手机版-清除COOKIES-广告投放说明-给我们提意见-手机客户端-捐助小木虫-漏洞提交小木虫,学术科研互动社区,为中国学术科研免费…
首先简单说明一下，CHEMKIN由美国Sandia国家实验室开发，CHEMKINII即以下版本为开源版本，CHEMKINIII开始科研使用需要购买版权，或使用旧版本实现相同功能。CHEMKINIII之后的版本开始带有简单的图形界面。这个软件包是一个比较经典的...
西门子多晶硅还原炉内涉及复杂的气相／表面化学反应,本文对文献报道SiHCl3-H2体系下硅的化学气相沉积过程相关实验进行了归纳和比较。采用边界层反应模型和Chemkin模拟软件,耦合不同气相与表面化学反应机理,选取不同文献报道实验的反应器模型,对不同条件下硅的化学气相沉积过程进行了模拟计算。
西门子CVD多晶硅还原炉内传递与反应过程数值模拟研究.【摘要】：西门子CVD法多晶硅是当今最为主要的高纯多晶硅工艺。.其主要设备多晶硅还原炉内涉及气体的湍流流动,对流和辐射换热,含有大量中间产物的气相分解反应,多晶硅在高温表面的沉积和...
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【摘要】：燃烧化学反应动力学是计算燃烧学中的重要内容之一。本文介绍了处理气相化学动力学的大型软件包CHEMKIN的结构和不同版本的特点,并描述了它在燃烧问题中的应用。最后通过一个算例对H2/O2/N2均相绝热等压燃烧体系进行了处理和计算,以具体说明该软件包的应用效果。
学兔w.X1IOTL1T1第46卷第5期锅炉技术Vo.,46,No.52015年9月BOILERTECHNOLOGYSept.,2015前沿技术O2CO2气氛下煤粉燃烧中NOx转化机理的CHEMKN模拟丛晶,周月…
多晶硅还原炉内流动与传热过程数值模拟与优化.【摘要】：随着近几年光伏产业的迅速发展,改良西门子法作为生产硅的主要方法被广泛关注,如何提高产品生产率、优化设备成为近几年的研究热点。.本文主要研究了改良西门子法中多晶硅还原炉(CVDreactor)中的...
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