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中图分类号：(TN305TG580)硕士学位论文蓝宝石晶片化学机械抛光工艺与实验研究科：机械工程研究方向：高效精密智能制造2018ThesisSubmittedMasterTechnologyexperimentalstudychemicalmechanicalpolishingsapphirewaferCandidate：Hu...
蓝宝石抛光工艺研究.pdf.年代半导体最重大的事件!它使半导体发光二极管和激光器上了一个新的台阶"因此近年来成为国内外半导体材料及光电子器件的研究热点!体材料很难!所以必须在其他衬底材料上外延生长薄膜#123$作为,%(的衬底材料有多种!包括蓝...
大连理工大学硕士学位论文蓝宝石晶片化学机械抛光液的研制姓名：李树荣申请学位级别：硕士专业：机械设计及理论指导教师：金洙吉20081218大连理工大学硕士学位论文蓝宝石是一种集优良的光学性能、物理性能和化学性能于一体的多功能氧化物晶体。
蓝宝石衬底抛光过程磨粒轨迹与平整性研究.李明.【摘要】：蓝宝石单晶具有优良的光学、力学、化学和电性能,其硬度高、强度高、耐高温、光透性好的特点,使其在光电子、通讯、国防等领域有着越来越广泛的应用。.正因为蓝宝石具有稳定的化学性能和...
宝石毕业论文题目(803个)指导教师毕业教务处制表毕业二〇一五毕业年三月毕业二十宝石毕业论文题目一、论文说明本团队长期从事论文写作与论文发表服务，擅长案例分析、编程、图表绘制、理论分析等，专科本科论文300起，具体信息联系二、论文...
蓝宝石精密磨削及化学机械抛光研究.【摘要】：蓝宝石(主要成分为α-Al_2O_3)具有高硬度、高强度、高光学透过率,耐高温、耐风沙、雨水、盐雾侵蚀等优异性能,广泛应用于国防、军工、微电子和光电子等领域,例如军机、潜艇、舰艇、导弹等高性能武器装备的...
论文查重优惠论文查重开题分析单篇购买文献互助用户中心蓝宝石精密磨削及化学机械抛光研究...效果的影响,当压力为34.5kPa,转速为75rpm时,抛光效果最佳。本文中研制了一种绿色环保的蓝宝石抛光液,其成分均无毒无污染,抛光后的工件表面粗糙度...
同时研究了抛光盘转速、抛光压力、抛光液浓度工艺参数对蓝宝石晶片去除率和表面质量的影响,通过实验对比理想的工艺参数。3.采用BP神经网络和MATLAB的,建立蓝宝石材料去除率的预测模型,可以实现不同的参数下的蓝宝石去除率的预测。
短波长激光抛光蓝宝石晶体的机理研究.谢昕.【摘要】：蓝宝石单晶体是重要的光学元件、半导体衬底材料，广泛应用于工业、国防和科研等领域。.但是蓝宝石硬度高、化学稳定性好，难以用机械化学抛光等接触式方法抛光。.因此激光抛光是有望代替接触式...
为了提高单晶蓝宝石球罩研磨、抛光的效率,论文采用CVD金刚石厚膜工具及金刚石磁性磨料对单晶蓝宝石球罩开展了研磨、抛光的试验研究,在运动轨迹计算得到的参数指导下进行了CVD金刚石厚膜工具粗研单晶蓝宝石球罩实验,然后采用微米金刚石磁性磨料对
中图分类号：(TN305TG580)硕士学位论文蓝宝石晶片化学机械抛光工艺与实验研究科：机械工程研究方向：高效精密智能制造2018ThesisSubmittedMasterTechnologyexperimentalstudychemicalmechanicalpolishingsapphirewaferCandidate：Hu...
蓝宝石抛光工艺研究.pdf.年代半导体最重大的事件!它使半导体发光二极管和激光器上了一个新的台阶"因此近年来成为国内外半导体材料及光电子器件的研究热点!体材料很难!所以必须在其他衬底材料上外延生长薄膜#123$作为,%(的衬底材料有多种!包括蓝...
大连理工大学硕士学位论文蓝宝石晶片化学机械抛光液的研制姓名：李树荣申请学位级别：硕士专业：机械设计及理论指导教师：金洙吉20081218大连理工大学硕士学位论文蓝宝石是一种集优良的光学性能、物理性能和化学性能于一体的多功能氧化物晶体。
蓝宝石衬底抛光过程磨粒轨迹与平整性研究.李明.【摘要】：蓝宝石单晶具有优良的光学、力学、化学和电性能,其硬度高、强度高、耐高温、光透性好的特点,使其在光电子、通讯、国防等领域有着越来越广泛的应用。.正因为蓝宝石具有稳定的化学性能和...
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蓝宝石精密磨削及化学机械抛光研究.【摘要】：蓝宝石(主要成分为α-Al_2O_3)具有高硬度、高强度、高光学透过率,耐高温、耐风沙、雨水、盐雾侵蚀等优异性能,广泛应用于国防、军工、微电子和光电子等领域,例如军机、潜艇、舰艇、导弹等高性能武器装备的...
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同时研究了抛光盘转速、抛光压力、抛光液浓度工艺参数对蓝宝石晶片去除率和表面质量的影响,通过实验对比理想的工艺参数。3.采用BP神经网络和MATLAB的,建立蓝宝石材料去除率的预测模型,可以实现不同的参数下的蓝宝石去除率的预测。
短波长激光抛光蓝宝石晶体的机理研究.谢昕.【摘要】：蓝宝石单晶体是重要的光学元件、半导体衬底材料，广泛应用于工业、国防和科研等领域。.但是蓝宝石硬度高、化学稳定性好，难以用机械化学抛光等接触式方法抛光。.因此激光抛光是有望代替接触式...
为了提高单晶蓝宝石球罩研磨、抛光的效率,论文采用CVD金刚石厚膜工具及金刚石磁性磨料对单晶蓝宝石球罩开展了研磨、抛光的试验研究,在运动轨迹计算得到的参数指导下进行了CVD金刚石厚膜工具粗研单晶蓝宝石球罩实验,然后采用微米金刚石磁性磨料对
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