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电子科技大学UNIVERSITYELECTRONICSCIENCECHINA硕士学位论文MASTERTHESIS论文题目薄膜压力传感器工艺研究学科专业电子信息材料与元器件201321030615作者姓名李强指导教师分类号密级UDC学位论文薄膜压力传感器...
薄膜压力传感器工艺研究.李强.【摘要】：薄膜压力传感器由于其体积小、重量轻、功耗低以及可靠性高等特点而被广泛用于航空航天、石油化工、机械冶金、能源、环保等多个领域。.当前,国内外研究重点主要集中在以Si和SiC等半导体材料为基体的薄膜...
论文以磁控溅射薄膜压力传感器为对象，综合考虑现有硬件设备、成本和应用需求，确定了磁控溅射薄膜压力传感器的设计指标。在此基础上，开展了敏感元件的制作、信号调理电路的设计以及机械结构的设计等工作，并完成了相关测试工作。
论文导读：②传感元件将感受到的非电量直接转换成电量，是转换元件，如固态压阻式压力传感器。传统的电阻应变式压力传感器的电阻敏感栅是刻录在一层绝缘脂薄膜上，而薄膜又通过粘结剂粘合到弹性基片上，由于弹性元件与粘结剂及绝缘脂膜之间的弹性模量不同，弹性元件的应变不能直接传递...
摘要:多晶硅纳米薄膜具有优越的应变灵敏特性和稳定的温度特性。为了使这种良好的压阻特性得到实际应用,文中给出了多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器的设计方法。根据多晶硅纳米薄膜压阻特性和硅杯腐蚀技术条件确定弹性膜片结构,并采用有限元分析方法对弹性膜片尺寸以及应变电阻分布进行了...
基于薄膜压力传感器实现的汽车门密封压力测试系统陈春江浙江工贸职业技术学院浙江温州325003【文章摘要】基于纳米技术发展而来的薄膜压力传感器日益应用于高精端生产系统中，随着其成欢迎来到论文发表网(lunwenchina)，我们为您提供...
多晶硅纳米薄膜压力传感器性能优良，有必要深入探索，未来建议试制包含肖特基二极管传感器芯片，在高灵敏度多晶硅纳米薄膜压力传感器结构方面进行创新研究。参考文献[1]袁方超.车用高温压力传感器的设计与分析[D].南京航空航天大学,2016.
论文的主要内容如下：利用膜的应力形变等力学、电学知识、压阻效应、大（小）挠度理论、惠斯通电桥等相关知识设计了硅基压阻式压力传感器薄膜与电阻结构尺寸及布置方式。
MEMS压力传感器的结构与工作原理及应用技术（学术论文）,mems压力传感器,49所压力mems传感器,压力传感器论文,mems传感器,mems加速度传感器,mems传感器芯片,mems传感器上市公司,mems惯性传感器,mems传感器原理
论文以磁控溅射薄膜压力传感器为对象,综合考虑现有硬件设备、成本和应用需求,确定了磁控溅射薄膜压力传感器的设计指标。在此基础上,开展了敏感元件的制作、信号调理电路的设计以及机械结构的设计等工作,并完成了相关测试工作。论文的主要工作...
电子科技大学UNIVERSITYELECTRONICSCIENCECHINA硕士学位论文MASTERTHESIS论文题目薄膜压力传感器工艺研究学科专业电子信息材料与元器件201321030615作者姓名李强指导教师分类号密级UDC学位论文薄膜压力传感器...
薄膜压力传感器工艺研究.李强.【摘要】：薄膜压力传感器由于其体积小、重量轻、功耗低以及可靠性高等特点而被广泛用于航空航天、石油化工、机械冶金、能源、环保等多个领域。.当前,国内外研究重点主要集中在以Si和SiC等半导体材料为基体的薄膜...
论文以磁控溅射薄膜压力传感器为对象，综合考虑现有硬件设备、成本和应用需求，确定了磁控溅射薄膜压力传感器的设计指标。在此基础上，开展了敏感元件的制作、信号调理电路的设计以及机械结构的设计等工作，并完成了相关测试工作。
论文导读：②传感元件将感受到的非电量直接转换成电量，是转换元件，如固态压阻式压力传感器。传统的电阻应变式压力传感器的电阻敏感栅是刻录在一层绝缘脂薄膜上，而薄膜又通过粘结剂粘合到弹性基片上，由于弹性元件与粘结剂及绝缘脂膜之间的弹性模量不同，弹性元件的应变不能直接传递...
摘要:多晶硅纳米薄膜具有优越的应变灵敏特性和稳定的温度特性。为了使这种良好的压阻特性得到实际应用,文中给出了多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器的设计方法。根据多晶硅纳米薄膜压阻特性和硅杯腐蚀技术条件确定弹性膜片结构,并采用有限元分析方法对弹性膜片尺寸以及应变电阻分布进行了...
基于薄膜压力传感器实现的汽车门密封压力测试系统陈春江浙江工贸职业技术学院浙江温州325003【文章摘要】基于纳米技术发展而来的薄膜压力传感器日益应用于高精端生产系统中，随着其成欢迎来到论文发表网(lunwenchina)，我们为您提供...
多晶硅纳米薄膜压力传感器性能优良，有必要深入探索，未来建议试制包含肖特基二极管传感器芯片，在高灵敏度多晶硅纳米薄膜压力传感器结构方面进行创新研究。参考文献[1]袁方超.车用高温压力传感器的设计与分析[D].南京航空航天大学,2016.
论文的主要内容如下：利用膜的应力形变等力学、电学知识、压阻效应、大（小）挠度理论、惠斯通电桥等相关知识设计了硅基压阻式压力传感器薄膜与电阻结构尺寸及布置方式。
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