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真空泵的选择方法（学术论文）.doc,半导体及新能源行业真空泵的选择方法一：选用??1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求110-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。通常选择泵...
半导体装备用真空泵屏蔽电动机设计与分析.【摘要】：随着我国科技水平的不断提高和半导体、化工、制药等行业的飞速发展,越来越多的行业要求清洁的真空环境作为其生产基础。.本文为我国国产真空泵机组JGH-1000A设计屏蔽电动机。.由于屏蔽电动机定子铜...
涡旋干式真空泵转子的有限元分析.李阳.【摘要】：无油涡旋真空泵作为一种清洁无油的真空获得设备,它以体积小、机构紧凑、噪声低、运行平稳等优点广泛的应用于各个行业。.在以往的生物制品行业与半导体行业中,油蒸汽污染与工艺系统返油一直给用户...
东北大学硕士学位论文螺杆型干式真空泵参数化设计软件的开发姓名：王鑫申请学位级别：硕士专业：流体机械及工程指导教师：徐成海20060201东北大学硕士学位论文摘要螺杆型干式真空泵参数化设计软件的开发摘要近年来在半导体工业和液晶显示器制造工艺中，对清洁真空环境的要求越来...
东北大学博士学位论文螺杆型干式真空泵转子特性的研究姓名：刘春姐申请学位级别：博士专业：流体机械及工程指导教师：徐成海20060201知识水坝论文东北大学博士学位论文摘要螺杆型干式真空泵转子特性的研究摘要干式真空泵也称无油真空泵，是为了满足工业生产对真空环境越来越严格...
引言干式涡旋真空泵又称为无油真空泵，旋转密封和气流通道中不使用任何油类和液体，是一种无油和高效获得超高清洁真空的先进技术和设备。其主要应用行业有：科学仪器、半导体、真空冶金、医疗设备、生物制品、光伏器件生产线、医药食品包装行业等[1-3]。
论文摘要：本文总结了涡旋无油真空泵技术的发展与现状，其内容包括从涡旋技术的发展到涡旋技术在各行业的应用；从涡旋无油真空泵的原理到涡旋无油真空泵的制造技术及技术指标；从世界各国涡旋真空泵的发展到我国涡旋真空泵的发展现状，对涡旋无油真空泵的状况有一个系统的介绍。
中国期刊网,期刊,杂志,读者服务,电子杂志,论文,文库,期刊网,电子刊[导读]摘要：随着半导体行业的发展，半导体制造环节对于起各类气体的用量需求日益增加，不但所用气体品种多样化，而且纯度更高，部分气体存在毒害性，因此对于人员安全可能产生影响，需要在半导体制造过程关注气体安全...
欢迎下载本文档参考使用，如果有疑问或者需要CAD图纸的请联系q1484406321毕业设计论文开题报告题目LWZ150双头螺杆型干式无油真空泵设计系别机电信息系专业机械设计制造及其自动化班级姓名学号导师20,点石文库dswenku
提高钨在半导体制造中填孔能力的研究.【摘要】：钨在集成电子学中通常被用作高传导性的互连金属、金属层间的通孔(Via)和垂直接触的接触孔(Contact)的填充。.虽然钨可以通过蒸发的方法来淀积,不过溅射和化学气相淀积(CVD)还是首选的技术。.CVD薄膜相比...
真空泵的选择方法（学术论文）.doc,半导体及新能源行业真空泵的选择方法一：选用??1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求110-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。通常选择泵...
半导体装备用真空泵屏蔽电动机设计与分析.【摘要】：随着我国科技水平的不断提高和半导体、化工、制药等行业的飞速发展,越来越多的行业要求清洁的真空环境作为其生产基础。.本文为我国国产真空泵机组JGH-1000A设计屏蔽电动机。.由于屏蔽电动机定子铜...
涡旋干式真空泵转子的有限元分析.李阳.【摘要】：无油涡旋真空泵作为一种清洁无油的真空获得设备,它以体积小、机构紧凑、噪声低、运行平稳等优点广泛的应用于各个行业。.在以往的生物制品行业与半导体行业中,油蒸汽污染与工艺系统返油一直给用户...
东北大学硕士学位论文螺杆型干式真空泵参数化设计软件的开发姓名：王鑫申请学位级别：硕士专业：流体机械及工程指导教师：徐成海20060201东北大学硕士学位论文摘要螺杆型干式真空泵参数化设计软件的开发摘要近年来在半导体工业和液晶显示器制造工艺中，对清洁真空环境的要求越来...
东北大学博士学位论文螺杆型干式真空泵转子特性的研究姓名：刘春姐申请学位级别：博士专业：流体机械及工程指导教师：徐成海20060201知识水坝论文东北大学博士学位论文摘要螺杆型干式真空泵转子特性的研究摘要干式真空泵也称无油真空泵，是为了满足工业生产对真空环境越来越严格...
引言干式涡旋真空泵又称为无油真空泵，旋转密封和气流通道中不使用任何油类和液体，是一种无油和高效获得超高清洁真空的先进技术和设备。其主要应用行业有：科学仪器、半导体、真空冶金、医疗设备、生物制品、光伏器件生产线、医药食品包装行业等[1-3]。
论文摘要：本文总结了涡旋无油真空泵技术的发展与现状，其内容包括从涡旋技术的发展到涡旋技术在各行业的应用；从涡旋无油真空泵的原理到涡旋无油真空泵的制造技术及技术指标；从世界各国涡旋真空泵的发展到我国涡旋真空泵的发展现状，对涡旋无油真空泵的状况有一个系统的介绍。
中国期刊网,期刊,杂志,读者服务,电子杂志,论文,文库,期刊网,电子刊[导读]摘要：随着半导体行业的发展，半导体制造环节对于起各类气体的用量需求日益增加，不但所用气体品种多样化，而且纯度更高，部分气体存在毒害性，因此对于人员安全可能产生影响，需要在半导体制造过程关注气体安全...
欢迎下载本文档参考使用，如果有疑问或者需要CAD图纸的请联系q1484406321毕业设计论文开题报告题目LWZ150双头螺杆型干式无油真空泵设计系别机电信息系专业机械设计制造及其自动化班级姓名学号导师20,点石文库dswenku
提高钨在半导体制造中填孔能力的研究.【摘要】：钨在集成电子学中通常被用作高传导性的互连金属、金属层间的通孔(Via)和垂直接触的接触孔(Contact)的填充。.虽然钨可以通过蒸发的方法来淀积,不过溅射和化学气相淀积(CVD)还是首选的技术。.CVD薄膜相比...
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