摘要:非电量检测中,压力的检测量最大,所以压力传感器的也是使用最为广泛,技术更新最快的传感器.特别是硅桥式压阻压力传感器以其线性好,灵敏度高,体积小,便于集成等诸多优点,是目前使用最广泛的一种压力传感器.但是由于半导体材料的温度特性,硅压阻式压力传感器的输出信号会随着温度的...
西北工业大学硕士学位论文(学位研究生)Y85"/349题目:压阻式压力传感器温度补偿的研究与实现学科专业:检测技术与自动化装置指导教师:杨建华2006年摘要压阻式压力传感器是利用半导体材料硅的压阻效应制成的传感器,具有灵敏度高,动态响应快...
1.本发明涉及传感器技术领域,特指一种硅压阻式压力传感器校准补偿方法。背景技术:2.mems传感器凭借其体积小、重量轻、能耗低、可高精度低成本批量生产等优点,在航空航天、汽车电子、工业自动化等领域均有广泛的应用空间。其中硅压阻式压力传感器是应用最普遍的压力传感器,但是以...
硅压阻式压力传感器温度补偿建模与算法研究,硅压阻式压力传感器,漂移,惠斯顿电桥,补偿,优化。微电子技术的发展促进了硅传感器的工艺水平的提高,使硅传感器获得良好的一致性、稳定性和可靠性,而半导体的温度特性使硅压...
压阻式压力传感器温度补偿的设计摘要:基于MAX1457实现了一种多路硅压阻式压力传感器温度补偿系统。MAX1457是一种专用传感器信号调理芯片。此芯片集成化程度较高,可以补偿硅压阻式压力传感器的温度误差和非线性误差。经调理后的综合误差不超过0.1
论文的主要内容如下:利用膜的应力形变等力学、电学知识、压阻效应、大(小)挠度理论、惠斯通电桥等相关知识设计了硅基压阻式压力传感器薄膜与电阻结构尺寸及布置方式。
最新扩散硅压阻式压力传感器实验模块.doc,实验二扩散硅压阻式压力传感器实验模块2.1实验目的:实验2.1.1:了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理和方法。工作原理:是指利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。
压阻式传感器就是基于压阻效应制成的,用于测量压力、加速度等值。硅压阻式传感器,除了灵敏度高这一优点外,还具有高分辨率,高响应频率可以测量低频加速度和直线加速度的优点,在很多方面得到了广泛的应用[20]。
压阻式传感器原理压阻式传感器piezoresistancetypetransducer是指利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅材料在受到力的作用后,电阻率发生变化,通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出。
提供实验六扩散硅压阻式压力传感器的压力测量实验文档免费下载,摘要:实验六扩散硅压阻式压力传感器的压力测量实验一、实验目的:二、实验仪器(略)三、实验原理在具有压阻效应的半导体材料上用扩散或离子注入法,形成4个阻值相等的电阻条。并将它们连接成惠斯通电桥,电桥电源端和输出...
摘要:非电量检测中,压力的检测量最大,所以压力传感器的也是使用最为广泛,技术更新最快的传感器.特别是硅桥式压阻压力传感器以其线性好,灵敏度高,体积小,便于集成等诸多优点,是目前使用最广泛的一种压力传感器.但是由于半导体材料的温度特性,硅压阻式压力传感器的输出信号会随着温度的...
西北工业大学硕士学位论文(学位研究生)Y85"/349题目:压阻式压力传感器温度补偿的研究与实现学科专业:检测技术与自动化装置指导教师:杨建华2006年摘要压阻式压力传感器是利用半导体材料硅的压阻效应制成的传感器,具有灵敏度高,动态响应快...
1.本发明涉及传感器技术领域,特指一种硅压阻式压力传感器校准补偿方法。背景技术:2.mems传感器凭借其体积小、重量轻、能耗低、可高精度低成本批量生产等优点,在航空航天、汽车电子、工业自动化等领域均有广泛的应用空间。其中硅压阻式压力传感器是应用最普遍的压力传感器,但是以...
硅压阻式压力传感器温度补偿建模与算法研究,硅压阻式压力传感器,漂移,惠斯顿电桥,补偿,优化。微电子技术的发展促进了硅传感器的工艺水平的提高,使硅传感器获得良好的一致性、稳定性和可靠性,而半导体的温度特性使硅压...
压阻式压力传感器温度补偿的设计摘要:基于MAX1457实现了一种多路硅压阻式压力传感器温度补偿系统。MAX1457是一种专用传感器信号调理芯片。此芯片集成化程度较高,可以补偿硅压阻式压力传感器的温度误差和非线性误差。经调理后的综合误差不超过0.1
论文的主要内容如下:利用膜的应力形变等力学、电学知识、压阻效应、大(小)挠度理论、惠斯通电桥等相关知识设计了硅基压阻式压力传感器薄膜与电阻结构尺寸及布置方式。
最新扩散硅压阻式压力传感器实验模块.doc,实验二扩散硅压阻式压力传感器实验模块2.1实验目的:实验2.1.1:了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理和方法。工作原理:是指利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。
压阻式传感器就是基于压阻效应制成的,用于测量压力、加速度等值。硅压阻式传感器,除了灵敏度高这一优点外,还具有高分辨率,高响应频率可以测量低频加速度和直线加速度的优点,在很多方面得到了广泛的应用[20]。
压阻式传感器原理压阻式传感器piezoresistancetypetransducer是指利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅材料在受到力的作用后,电阻率发生变化,通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出。
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