发表服务
硅烷法使硅烷进行热分解得到多晶硅。反应的温度低，原料是气体硅烷容易提纯，杂质的含量可得到较好的控制。硅烷法所的多晶硅棒，结晶的形状非常致密，结晶的粒径比三氯氢硅的工艺的小的多。区熔法所生产的硅单晶可以一次...
硅烷法硅烷法，目前主要是利用硅烷热分解而高纯硅，主要步骤有：硅烷，硅烷提纯和硅烷热分解。根据硅烷方法的不同，又分为硅化镁法、四氯化硅歧化法和NaAlH反应法（工艺流程图如图1-2所示），后两者分别被REC公司和MEMC公司采用，进行工业化生产。
硅烷法是利用硅烷热分解的方法多晶硅，反应温度低，原料气体硅烷易提纯，杂质含量可以得到严格控制。硅烷法所生产的多晶棒结晶致密，结晶粒径也远小于三氯氢硅工艺，被用于区熔法生产硅单晶可一次成晶，是生产区熔单晶硅的最佳原料。
等为主要原辅材料来多晶硅的新工艺，主要包括五个环节：的与提纯和气体；然后经精制后得李永青：硅烷法多晶硅工艺的探讨和副产!"#$%在流化床或固定床分解炉内进行分解来多晶硅。.其工艺路线图如图*所示。.该工艺中涉及的主要化学...
三氯氢硅歧化硅烷及硅烷热分解多晶硅工艺分析-processanalysisofpreparingsilanebydisproportionationoftrichlorosilaneandpreparingpolysiliconbythermaldecompositionofsilane.docx,tubemodel.Whentheinlet-gasvelocityis0.08m/s...
1.多晶硅的生产工艺：从西门子法到改良西门子法从西门子法到改良西门子法的演进是一个从开环到闭环的过程。1955年，德国西门子开发出以氢气（H2）还原高纯度三氯氢硅（SiHCl3），在加热到1100℃左右的硅芯（也称“硅棒”）上沉积多晶硅的生产工艺；1957年，这种多晶硅生产工艺开始应用于…
主要操作就是将硅的氯化物蒸汽同氢气混合，迅速喷入高温反应炉，以高纯硅为载体，反应生成的硅沉积在高纯硅上。.此时可得纯度达到9N的硅（但是是多晶硅），用区域熔融法可进一步提纯至11N或更高纯度。.超纯氢气可以通过将普通氢气…
多晶硅硅料生产工艺.ppt,硅材料科学与技术授课老师：刘仪柯单位：新余高等专科学校太阳能科学与工程系工业硅的生产高纯多晶硅的生产太阳电池分类太阳电池按其材料主要可分为四种类型：(1)硅太阳电池；(2)多元化合物薄膜太阳电池；(3)有机物太阳电池；(4)纳米晶太阳电池。
1.2硼磷氢化物杂质与硅烷提纯精馏是基于氯硅烷、硅烷与杂质氢化物、氯化物沸点上的差异，在同一温度下具有不同的挥发度。参考《硅烷法高纯硅》以及ASPEN数据库，氯硅烷、硅烷以及一些杂质氢化物的物理参数列于表1中。表1某些氢化物
同时作为原料的硅烷提纯也需要得到保证，特别是循环利用的氢气，在后端分离和重新提纯的环节中需要重点关注。参考文献：周舟，吴锋，吕磊，硅烷流化床高纯多晶硅材料技术分析2016.9月
硅烷法使硅烷进行热分解得到多晶硅。反应的温度低，原料是气体硅烷容易提纯，杂质的含量可得到较好的控制。硅烷法所的多晶硅棒，结晶的形状非常致密，结晶的粒径比三氯氢硅的工艺的小的多。区熔法所生产的硅单晶可以一次...
硅烷法硅烷法，目前主要是利用硅烷热分解而高纯硅，主要步骤有：硅烷，硅烷提纯和硅烷热分解。根据硅烷方法的不同，又分为硅化镁法、四氯化硅歧化法和NaAlH反应法（工艺流程图如图1-2所示），后两者分别被REC公司和MEMC公司采用，进行工业化生产。
硅烷法是利用硅烷热分解的方法多晶硅，反应温度低，原料气体硅烷易提纯，杂质含量可以得到严格控制。硅烷法所生产的多晶棒结晶致密，结晶粒径也远小于三氯氢硅工艺，被用于区熔法生产硅单晶可一次成晶，是生产区熔单晶硅的最佳原料。
等为主要原辅材料来多晶硅的新工艺，主要包括五个环节：的与提纯和气体；然后经精制后得李永青：硅烷法多晶硅工艺的探讨和副产!"#$%在流化床或固定床分解炉内进行分解来多晶硅。.其工艺路线图如图*所示。.该工艺中涉及的主要化学...
三氯氢硅歧化硅烷及硅烷热分解多晶硅工艺分析-processanalysisofpreparingsilanebydisproportionationoftrichlorosilaneandpreparingpolysiliconbythermaldecompositionofsilane.docx,tubemodel.Whentheinlet-gasvelocityis0.08m/s...
1.多晶硅的生产工艺：从西门子法到改良西门子法从西门子法到改良西门子法的演进是一个从开环到闭环的过程。1955年，德国西门子开发出以氢气（H2）还原高纯度三氯氢硅（SiHCl3），在加热到1100℃左右的硅芯（也称“硅棒”）上沉积多晶硅的生产工艺；1957年，这种多晶硅生产工艺开始应用于…
主要操作就是将硅的氯化物蒸汽同氢气混合，迅速喷入高温反应炉，以高纯硅为载体，反应生成的硅沉积在高纯硅上。.此时可得纯度达到9N的硅（但是是多晶硅），用区域熔融法可进一步提纯至11N或更高纯度。.超纯氢气可以通过将普通氢气…
多晶硅硅料生产工艺.ppt,硅材料科学与技术授课老师：刘仪柯单位：新余高等专科学校太阳能科学与工程系工业硅的生产高纯多晶硅的生产太阳电池分类太阳电池按其材料主要可分为四种类型：(1)硅太阳电池；(2)多元化合物薄膜太阳电池；(3)有机物太阳电池；(4)纳米晶太阳电池。
1.2硼磷氢化物杂质与硅烷提纯精馏是基于氯硅烷、硅烷与杂质氢化物、氯化物沸点上的差异，在同一温度下具有不同的挥发度。参考《硅烷法高纯硅》以及ASPEN数据库，氯硅烷、硅烷以及一些杂质氢化物的物理参数列于表1中。表1某些氢化物
同时作为原料的硅烷提纯也需要得到保证，特别是循环利用的氢气，在后端分离和重新提纯的环节中需要重点关注。参考文献：周舟，吴锋，吕磊，硅烷流化床高纯多晶硅材料技术分析2016.9月
发表服务