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Zygo干涉仪及其应用的研究作者：学位授予单位：天津大学参考文献(33条)1.IO干涉仪的理论基础及应用19822.GPIGrowthPotentialInterferometer3.GPIXPInterferometer,Zygo(AsiaPacific)PteLtd4.ZygoInterferometerSystem基于EPP接口的...
Zygo干涉仪及其应用的研究作者：学位授予单位：天津大学参考文献(33条)1.IO干涉仪的理论基础及应用19822.GPIGrowthPotentialInterferometer3.GPIXPInterferometer,Zygo(AsiaPacific)PteLtd4.ZygoInterferometerSystem基于EPP接口的CMOS图像采集系统设计[期刊论文]-仪器仪表学…
本论文的主要目的是以此Zygo干涉仪为依托,设计以干涉条纹图像为对象的图像采集系统和图像处理软件,构建一套现代干涉测量系统,以满足当前测量需要。本论文完成以下几项工作:1)针对干涉图像,设计以CMOS图像采集芯片为核心的高性能图像采集系统,包括...
本论文的主要目的是以此Zygo干涉仪为依托,设计以干涉条纹图像为对象的图像采集系统和图像处理软件,构建一套现代干涉测量系统,以满足当前测量需要。.本论文完成以下几项工作:1)针对干涉图像,设计以CMOS图像采集芯片为核心的高性能图像采集系统,包括系统...
φ300MM移相干涉仪的关键技术研究(光学工程专业优秀论文)光学工程是一门历史悠久而又年轻的学科。它的发展表征着人类文明的进程。它的理论基础——光学，作为物理学的主干学科经历了漫长而曲折的发展道路..
这个白光干涉仪就是前面我提到的论文的两个作者在我们实验室学习研究期间做的，并以此发了很多篇论文。这都是十几年前的东西了，现在作为精密量测课程给学生演示做实验用。白光相移干涉术（WhiteLightPhaseShiftingInterferometry）
ZYGO公司的Verifire系列干涉仪所示。(a)IntelliumTMH2000型干涉仪(b)IntelliumTMZ100型干涉仪图1.2美国EDSI公司IntelliumTM型干涉仪美国4D公司研发生产的4D-F2000型是Fizeau型干涉仪，结构简干涉原理，能够对光学元件的平行表面进行快速
研究人员在Zygo公司生产的24吋激光平面干涉仪上开展了测量实验研究，实验表明该方法的测量重复性精度RMS（RootMeanSquare,RMS，均方根值）优于2nm，与Zygo公司提供的标准平晶出厂绝对面形之间的波面残差RMS优于3nm。
ZYGO各型号激光干涉仪，采用的是基于倾斜条纹载波法的DynaPhase方案。其工作原理，简单可以这样理解。在干涉条纹图中，黑白交替变化的“交流光强”；是用于解算最终相位的“关键信息”，需要从分布于每个像素的背景“直流光强”和一些其它的信息中提取出来。
Verifire™干涉仪系统可快速可靠地测量光学元件、系统和组件的表面形状误差和透射波前。Verifire™系统采用真正的激光菲索设计，建立在ZYGO在表面形貌计量方面无与伦比的经验的基础上。
Zygo干涉仪及其应用的研究作者：学位授予单位：天津大学参考文献(33条)1.IO干涉仪的理论基础及应用19822.GPIGrowthPotentialInterferometer3.GPIXPInterferometer,Zygo(AsiaPacific)PteLtd4.ZygoInterferometerSystem基于EPP接口的...
Zygo干涉仪及其应用的研究作者：学位授予单位：天津大学参考文献(33条)1.IO干涉仪的理论基础及应用19822.GPIGrowthPotentialInterferometer3.GPIXPInterferometer,Zygo(AsiaPacific)PteLtd4.ZygoInterferometerSystem基于EPP接口的CMOS图像采集系统设计[期刊论文]-仪器仪表学…
本论文的主要目的是以此Zygo干涉仪为依托,设计以干涉条纹图像为对象的图像采集系统和图像处理软件,构建一套现代干涉测量系统,以满足当前测量需要。本论文完成以下几项工作:1)针对干涉图像,设计以CMOS图像采集芯片为核心的高性能图像采集系统,包括...
本论文的主要目的是以此Zygo干涉仪为依托,设计以干涉条纹图像为对象的图像采集系统和图像处理软件,构建一套现代干涉测量系统,以满足当前测量需要。.本论文完成以下几项工作:1)针对干涉图像,设计以CMOS图像采集芯片为核心的高性能图像采集系统,包括系统...
φ300MM移相干涉仪的关键技术研究(光学工程专业优秀论文)光学工程是一门历史悠久而又年轻的学科。它的发展表征着人类文明的进程。它的理论基础——光学，作为物理学的主干学科经历了漫长而曲折的发展道路..
这个白光干涉仪就是前面我提到的论文的两个作者在我们实验室学习研究期间做的，并以此发了很多篇论文。这都是十几年前的东西了，现在作为精密量测课程给学生演示做实验用。白光相移干涉术（WhiteLightPhaseShiftingInterferometry）
ZYGO公司的Verifire系列干涉仪所示。(a)IntelliumTMH2000型干涉仪(b)IntelliumTMZ100型干涉仪图1.2美国EDSI公司IntelliumTM型干涉仪美国4D公司研发生产的4D-F2000型是Fizeau型干涉仪，结构简干涉原理，能够对光学元件的平行表面进行快速
研究人员在Zygo公司生产的24吋激光平面干涉仪上开展了测量实验研究，实验表明该方法的测量重复性精度RMS（RootMeanSquare,RMS，均方根值）优于2nm，与Zygo公司提供的标准平晶出厂绝对面形之间的波面残差RMS优于3nm。
ZYGO各型号激光干涉仪，采用的是基于倾斜条纹载波法的DynaPhase方案。其工作原理，简单可以这样理解。在干涉条纹图中，黑白交替变化的“交流光强”；是用于解算最终相位的“关键信息”，需要从分布于每个像素的背景“直流光强”和一些其它的信息中提取出来。
Verifire™干涉仪系统可快速可靠地测量光学元件、系统和组件的表面形状误差和透射波前。Verifire™系统采用真正的激光菲索设计，建立在ZYGO在表面形貌计量方面无与伦比的经验的基础上。
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