溅射Cu膜方式对ZrN扩散阻挡层热稳定性的影响.宋忠孝徐可为范多旺.【摘要】:用射频磁控反应溅射法在Si(111)单晶基体上沉积ZrN扩散阻挡层,随后在其上分别用直流脉冲平衡磁控溅射(BMS)和非平衡磁控溅射(UBMS)沉积Cu膜。.用XRD分析Cu膜的结构,AES分析薄膜成分...
知名教授:希望论文一作发Nature后去当公务员的那名学生能看到我的这篇文章,论文,公务员,文章,学术,研究生,science
消费赛道的胡昕炜,是700亿顶流基金经理。.胡昕炜和他的小伙伴们写了《基于SAGE的近场信道参数估计方法》《基于多簇模型的自适应OFDM系统信道预测方法》《一种减轻信道测量仪中相位噪声影响的方法》等多篇论文,研究能力在学校就打下了基础。.交银韩...
论文跟你研究不相关。.可能你就是在完成导师交代的事情,没有用心,随便看了两个文献。.或者,你是初学者,根本没有自己的研究方向,泛泛的看,能看出名堂就有鬼了。.研究生看文献,是必备技能。.下面我整理了一下研究生读文献方面的信息,希望...
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文章结构:1.l_p-范数的定义1.1l_0-范数的定义1.2l_1-范数的定义1.3l_2-范数的定义2.l_1-范数:正则项与稀疏解2.1什么是过拟合问题?2.2正则项是什么?为什么稀疏可以避免过拟合?2.3为什…
中国重要会议论文全文数据库(清华同方知网)该库汇集了国内外8000余家重要会议主办单位产出的学术会议文献,基本囊括了我国各学科重要会议论文,收录了由国内外2100家授权单位推荐的18000多个国际、国内重要学术会议的论文,截至2012年底收录论文150万余篇。
1白宣羽;汪渊;徐可为;范多旺;;集成电路的铜互连布线及其扩散阻挡层的研究进展[A];薄膜技术学术研讨会论文集[C];2003年2曹永明;方培源;姜蕾;;Cu互连工艺中Ta基扩散阻挡层的二次离子质谱剖析[A];中国质谱学会第七届会员代表大会暨学术报告会论文集[C];2004年3...
集成电路的铜互连布线及其扩散阻挡层的研究进展.白宣羽汪渊徐可为范多旺.【摘要】:本文综述了集成电路互连线的发展历史及研究现状。.介绍了铜作为互连金属的优势及几种铜互连线的沉积工艺,分别讨论了它们的优缺点。.总结了扩散阻挡层材料的研究...
当地时间1月8日,BBC发布了一段视频。记者旧地重游,对比疫情一年后,北京街头景象的区别。https://y…
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