多晶硅真空定向凝固硅锭的热场模拟与提纯-厦门大学学术典藏库.pdf,学校编码:10384分类号密级学号:20720131150070UDC硕士学位论文库多晶硅真空定向凝固硅锭的要热场模拟与提纯研究摘ResearchofVacuumDirectional...
多晶硅西门子法热电行为交流电电流-电压操作曲线收藏本站首页期刊全文库学位论文库会议论文库年鉴全文库...中国硕士学位论文全文数据库前10条1秦榕;多晶硅还原炉内流动与传热过程数值模拟与优…
西门子CVD多晶硅还原炉内传递与反应过程数值模拟研究.【摘要】:西门子CVD法多晶硅是当今最为主要的高纯多晶硅工艺。.其主要设备多晶硅还原炉内涉及气体的湍流流动,对流和辐射换热,含有大量中间产物的气相分解反应,多晶硅在高温表面的沉积和...
多晶硅定向生长的数值模拟研究.pdf.收稿日期:2011-08-08修订日期:2011-09-12基金项目:2009年校级招标课题资助项目(xj0901)和2010江西省教育厅科技项目(GJJ10647作者简介:罗玉峰(1960-),江西高安人,工学博士,教授、博士生导师..从事新能源...
晶体生长中传热传质的数值模拟及实验研究.pdf,晶体生长中传热传质的数值模拟与实验研究苏文佳江苏大学能动学院新能源科学与工程系2015.1.13目录1法国SIMAP-EPM国家重点实验室简介2新能源晶体材料概论3太阳能级定向凝固法(DSS...
[物理]2直拉硅单晶φ18″热场研究及数值模拟河北工业大学硕士学位论文生长φ8″直拉硅单晶φ18″热场研究及数值模拟姓名:赵龙申请学位级别:硕士专业:材料物理与化学指导教师:任丙彦20050301生长08”直..
块状晶体过程的热场设计.王森.【摘要】:上世纪50年代以来,块状晶体材料已被广泛应用于工业、环境科学、信息、医疗及军事等诸多领域。.近年来随着高新技术的飞速发展,大尺寸、高质量块状晶体材料的需求日益增长。.大部分重要块状晶体(如...
图3.2是用2D模拟多晶硅定向凝固时全局热场,由图可以看到在多晶硅生长的五个不同阶段的分布情况,模拟考虑了炉体所有组件的边界条件和辐射传热,精确度高。图3.2多晶硅定向凝固五个生长阶段和对应的全局温度场模拟
关键词:单晶硅;数值模拟;热场;生长工艺;水平磁场;点缺陷上海大学硕士学位论文VIIABSTRACTrapiddevelopmentultra-large-scale,ultra-high-speedintegratedcircuitshasputmoremorestringentrequirementssiliconsinglecrystalmaterials.
10马越.多晶硅还原炉内温度场模拟.硕士学位论文,中国矿业大学,2019.11NieZ,HouY,XieG,etal.InternationalJournalofHeatandMassTransfer,2015,90,1026.12ZhangZ,YuanS,YuX,etal.SolarEnergyMaterialsandSolarCells,2020,211,110520.
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10马越.多晶硅还原炉内温度场模拟.硕士学位论文,中国矿业大学,2019.11NieZ,HouY,XieG,etal.InternationalJournalofHeatandMassTransfer,2015,90,1026.12ZhangZ,YuanS,YuX,etal.SolarEnergyMaterialsandSolarCells,2020,211,110520.