电容式压力传感器的两个重要的参数:灵敏度和线性度,其理式为:(2.14)北京大学碗毕业论文第=章电容式压力传感器I作原理如果考虑二次项即考虑非线性项:16可知减小间隙的情况下,非线性会增加。所以灵敏度和非线性要综合考虑。
武汉理工大学硕士学位论文低压陶瓷电容式压力传感器的研究姓名:石汝军申请学位级别:硕士专业:材料学指导教师:陈文;樊震坤2001.11.1摘要本文利用新型陶瓷技术、集成电路技术和厚膜平面安装电路技术,采用零力学滞后传感器山较厚的陶瓷基体和较薄的陶瓷膜片构成,中问形成一空气...
东南大学硕士学位论文单片集成MEMS电容式压力传感器研究姓名:黄晓东申请学位级别:硕士专业:微电子学与固体电子学指导教师:秦明20080501摘要目前,硅压力传感器止朝着低成本、低功耗、微型化、智能化的方向发展,而单片集成是实现以上趋势的有效途径。
测控技术与仪器毕业论文范文——内置式电容压力传感器设计.doc,第PAGE1页共NUMPAGES42页内置式电容压力传感器设计摘要本文联系火炮膛压测试技术的发展,综合分析了现有的电测法测量膛压技术,在中北大学现有的放入式测压器的基础...
研究了电容式压力传感器的信号处理问题,着重分析了采用交流电桥、电荷放大和开关电容等方法进行微电容测量的基本原理,并对电容-频率变换电路进行了详细设计。对设计的压力传感器样品进行了测试,测得的传感器具有良好的线性、重复性和迟滞特性...
基于PDMS复合介电层的电容式柔性压力传感器研究.杜青.【摘要】:近年来,柔性电子器件在电子皮肤,健康监测,压力传感等方面的应用受到越来越多人的重视,继而引发了更多研究人员的创新实验及深入了解。.柔性电容式压力传感器将感受到的外界物理因素转化...
硕士研究生课程《智能传感器技术》(考查)自选课题2010智能电容式传感器的国内外现状与发展趋势CurrentSituationDyadicIntelligenceCapacitanceSensor电容式传感器是把被测量转换为电容量变化的一种传感器。
1潘威;董蜀峰;;变极距型电容式传感器在压力触控技术的设计和应用[J];电子产品世界;2018年09期2沈国伟;梁伟;付忠亮;;电容传感器在织物静电测试中的应用[J];传感器世界;2009年12期3李东升,王伟,朱莉;脉冲响应式电容传感器的研究[J];宇航计测技术;2001年02期4...
本文主要对不同类型的微机电系统领域的压力传感器的相关部分进行设计和分析,并在研究相关微工艺的基础上硅基压阻式和电容式压力传感器,针对重掺杂硅电容式压力传感器中的关键工艺:均匀硅膜和欧姆电极的作出深入分析和实验探索...
陶瓷电容式压力传感器由于具有精度高,温度漂移小,抗干扰能力强,测量重复性强等特点,特别是具有较强的抗冲击、抗过载能力,耐温、耐腐蚀性好,体积小巧等优点而被广泛应用。.而陶瓷电容式压力传感器的核心技术是陶瓷芯片的高质量封接以及电极,本研究...
电容式压力传感器的两个重要的参数:灵敏度和线性度,其理式为:(2.14)北京大学碗毕业论文第=章电容式压力传感器I作原理如果考虑二次项即考虑非线性项:16可知减小间隙的情况下,非线性会增加。所以灵敏度和非线性要综合考虑。
武汉理工大学硕士学位论文低压陶瓷电容式压力传感器的研究姓名:石汝军申请学位级别:硕士专业:材料学指导教师:陈文;樊震坤2001.11.1摘要本文利用新型陶瓷技术、集成电路技术和厚膜平面安装电路技术,采用零力学滞后传感器山较厚的陶瓷基体和较薄的陶瓷膜片构成,中问形成一空气...
东南大学硕士学位论文单片集成MEMS电容式压力传感器研究姓名:黄晓东申请学位级别:硕士专业:微电子学与固体电子学指导教师:秦明20080501摘要目前,硅压力传感器止朝着低成本、低功耗、微型化、智能化的方向发展,而单片集成是实现以上趋势的有效途径。
测控技术与仪器毕业论文范文——内置式电容压力传感器设计.doc,第PAGE1页共NUMPAGES42页内置式电容压力传感器设计摘要本文联系火炮膛压测试技术的发展,综合分析了现有的电测法测量膛压技术,在中北大学现有的放入式测压器的基础...
研究了电容式压力传感器的信号处理问题,着重分析了采用交流电桥、电荷放大和开关电容等方法进行微电容测量的基本原理,并对电容-频率变换电路进行了详细设计。对设计的压力传感器样品进行了测试,测得的传感器具有良好的线性、重复性和迟滞特性...
基于PDMS复合介电层的电容式柔性压力传感器研究.杜青.【摘要】:近年来,柔性电子器件在电子皮肤,健康监测,压力传感等方面的应用受到越来越多人的重视,继而引发了更多研究人员的创新实验及深入了解。.柔性电容式压力传感器将感受到的外界物理因素转化...
硕士研究生课程《智能传感器技术》(考查)自选课题2010智能电容式传感器的国内外现状与发展趋势CurrentSituationDyadicIntelligenceCapacitanceSensor电容式传感器是把被测量转换为电容量变化的一种传感器。
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本文主要对不同类型的微机电系统领域的压力传感器的相关部分进行设计和分析,并在研究相关微工艺的基础上硅基压阻式和电容式压力传感器,针对重掺杂硅电容式压力传感器中的关键工艺:均匀硅膜和欧姆电极的作出深入分析和实验探索...
陶瓷电容式压力传感器由于具有精度高,温度漂移小,抗干扰能力强,测量重复性强等特点,特别是具有较强的抗冲击、抗过载能力,耐温、耐腐蚀性好,体积小巧等优点而被广泛应用。.而陶瓷电容式压力传感器的核心技术是陶瓷芯片的高质量封接以及电极,本研究...