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电容式加速度传感器的优化设计.冯建斌.【摘要】：加速度传感器作为最重要的力学量传感器之一,从诞生之日起就受到人们的广泛关注。.其中,电容式加速度传感器因具有较高的灵敏度和测量精度、良好的稳定性、较小的温度漂移、极低的功耗等优点因而被...
西安电子科技大学硕士学位论文MEMS电容式加速度传感器检测电路研究姓名：刘冬申请学位级别：硕士专业：软件工程（微电子）指导教师：张鹤鸣;高勇20100101摘要摘要电容式传感器是将被测量的非电量变化转换为电容变化量的一类传感器。
合肥工业大学硕士学位论文基于MEMS技术的三轴电容式加速度传感器研究姓名：朱华铭申请学位级别：硕士专业：微电子学与固体电子学指导教师：许高斌201204基于MEMS技术的三轴电容式加速度传感器研究微机械加速度传感器以其体积小、易集成和功耗低等优点，在军用和民用设备上都有广…
压电式加速度传感器结构牢固，但是频响不能到零，而压阻式加速度传感器虽能敏感稳态加速度，但容易由过量冲击和共振造成损坏，它不具有某些应用场合所要求的坚固程度和低“g”值测量时所需的精确度，并且对温度敏感变电容式加速度传感器正好弥补了上述
一种电容式速度传感器.doc,一种电容式MEMS线加速度传感器的设计MEMS以及传感器介绍MEMS即微机电系统,是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子...
加速度传感器研究现状.doc,加速度传感器研究现状【摘要】加速度传感器是一种能够测量加速力的电子设备。介绍了加速度传感器的产生，加速度传感器的应用和原理和加速度传感器的未来发展趋势。随着传感器的发展加速度传感器加速度传感器未来发展态势喜人，加速度传感器的应用也越来越普遍...
电容式传感器是以各种类型的电容器作为传感元件，将被测转物理量或机械量换成为电容量变化的一种转换装置，实际上就是一个具有可变参数的电容器。在采用电容技术的应用中，电容式接近开关的灵敏度取决于目标物体的…
图3：MSRPC软件的数据评估图总结：三轴加速度传感器是一种能够测量物体空间中的加速度的电子设备，根据传感器实现原理的不同，可分为压阻式、压电式、电容式等类型，这些传感器上的本质原理都是通过传感元件将物体加速度转化为其他的物理量，如电阻、电压、电容等，再通过转化和滤波...
电容式加速度传感器的构造当前大多数的电容式加速度传感器都是由三部分硅晶体圆片构成的，中层是由双层的SOI硅片制成的活动电容极板。如图所示，中间的活动电容极板是由八个弯曲弹性连接梁所支撑，夹在上下层两块固定的电容极板之间...
【摘要】：论文选题来自科研实践，在介绍MEMS惯性传感器背景和发展现状和讨论了MEMS系统机械结构动力学机电耦合分析方法的基础上，研究工作主要分为两个部分：第一部分介绍了微加速度器的结构设计和工作原理，包括电容式梳齿结构静电驱动及其相关原理，同时对电容式微传感器器件中的各个...
电容式加速度传感器的优化设计.冯建斌.【摘要】：加速度传感器作为最重要的力学量传感器之一,从诞生之日起就受到人们的广泛关注。.其中,电容式加速度传感器因具有较高的灵敏度和测量精度、良好的稳定性、较小的温度漂移、极低的功耗等优点因而被...
西安电子科技大学硕士学位论文MEMS电容式加速度传感器检测电路研究姓名：刘冬申请学位级别：硕士专业：软件工程（微电子）指导教师：张鹤鸣;高勇20100101摘要摘要电容式传感器是将被测量的非电量变化转换为电容变化量的一类传感器。
合肥工业大学硕士学位论文基于MEMS技术的三轴电容式加速度传感器研究姓名：朱华铭申请学位级别：硕士专业：微电子学与固体电子学指导教师：许高斌201204基于MEMS技术的三轴电容式加速度传感器研究微机械加速度传感器以其体积小、易集成和功耗低等优点，在军用和民用设备上都有广…
压电式加速度传感器结构牢固，但是频响不能到零，而压阻式加速度传感器虽能敏感稳态加速度，但容易由过量冲击和共振造成损坏，它不具有某些应用场合所要求的坚固程度和低“g”值测量时所需的精确度，并且对温度敏感变电容式加速度传感器正好弥补了上述
一种电容式速度传感器.doc,一种电容式MEMS线加速度传感器的设计MEMS以及传感器介绍MEMS即微机电系统,是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子...
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电容式传感器是以各种类型的电容器作为传感元件，将被测转物理量或机械量换成为电容量变化的一种转换装置，实际上就是一个具有可变参数的电容器。在采用电容技术的应用中，电容式接近开关的灵敏度取决于目标物体的…
图3：MSRPC软件的数据评估图总结：三轴加速度传感器是一种能够测量物体空间中的加速度的电子设备，根据传感器实现原理的不同，可分为压阻式、压电式、电容式等类型，这些传感器上的本质原理都是通过传感元件将物体加速度转化为其他的物理量，如电阻、电压、电容等，再通过转化和滤波...
电容式加速度传感器的构造当前大多数的电容式加速度传感器都是由三部分硅晶体圆片构成的，中层是由双层的SOI硅片制成的活动电容极板。如图所示，中间的活动电容极板是由八个弯曲弹性连接梁所支撑，夹在上下层两块固定的电容极板之间...
【摘要】：论文选题来自科研实践，在介绍MEMS惯性传感器背景和发展现状和讨论了MEMS系统机械结构动力学机电耦合分析方法的基础上，研究工作主要分为两个部分：第一部分介绍了微加速度器的结构设计和工作原理，包括电容式梳齿结构静电驱动及其相关原理，同时对电容式微传感器器件中的各个...
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