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MEMS微镜是一种体积很小的可调节反射镜,是微型光学系统的重要器件之一,其能够有效解决传统光谱仪成本高、体积大、不便携、不够大众化等缺点。.本论文利用了MEMS微镜的体积小以及成本低等特点,研究和设计了一种基于MEMS微镜的微型光谱系统。.首先,通过对...
MEMS微镜测控平台及非线性补偿MEMS微镜具有体积小、重量轻、耗能低、灵敏度高等优点，所以被广泛应用在食品检测，光学医疗检测等无损检测领域。但是由于微镜是一个高度的欠阻尼系统，应用到这些领域中需要达到一定的优质性能，因此本文了搭建一个
MEMS微镜电热传输特性的研究与应用.黄子吉.【摘要】：电热型MEMS微镜是通过在驱动器上施加电压,从而基于材料的热膨胀而产生位移,驱使MEMS微镜运动或偏转。.它是光纤通信中重要的构成部分,可以对任何波长的光波进行处理,减少光纤线路的升级要求,这为光...
里面微镜谐振的能量通过外围边框的跳动来传递。机械结构振动的品质因数跟其谐振频率和振动时的阻力有关，对于我们这个系统，10硕士学位论文基于MEMS微振镜技术的激光像源驱动电路的研究与实现相关文献指出其振动品质因数为200左右。
本文对基于MEMS技术的微变形镜的基本理论，方法和分析方法作了研究。.在基本理论方面，通过对自适应光学，静电力驱动，弹性梁理论和挤压薄膜阻尼的研究，确定了微变形镜的配置方案；在方面对体工艺，MUMPs工艺和SUMMiT工艺进行了研究与比较...
光学MEMS微镜技术及其在激光雷达中的应用.S微镜技术及其在激光雷达中的应用董光焰,刘中杰(中国电子科技集团公司第27研究所,郑州450047:首先概述了MOEMS光学技术的应用及特点,并介绍一类MOEMS光学产品的机理,该技术使得三维实时扫描成像激光雷达小型...
电热式MEMS微镜驱动控制技术-研究.pdf,AbstractTheResearchofDrivingControlTechnologyBasedonElectrothermalMEMSMicromirrorTheResearchofDrivingControlTechnologyBasedonElectrothermalMEMSMicromirrorAbstractMicro
报告题目：MEMS扫描微镜的研制和应用报告人：沈文江研究员报告时间：2021年11月4日上午10：00报告地点：致远楼301报告邀请人：倪卫海报告摘要：随着可见光激光二极管的发展，基于DLP投影技术的激光电视在消费市场上取得了成功。基于...
图15微镜反射光线示意图四、MEMS加速度计加速度传感器是最早广泛应用的MEMS之一。MEMS，作为一个机械结构为主的技术，可以通过设计使一个部件(图15中橙色部件)相对底座substrate产生位移（这也是绝大部分MEMS的工作原理），这个部…
今天在网上看到一篇文章，把国内MEMS发展现状总结了一下。个人感觉他总结的比较全面，挺实在，中肯，部分内容我做了一定调整。1、国内MEMS界的第一牛人当数复旦大学的鲍敏杭鲍老师。鲍老师做传感器做了十多年了，有深厚的理论基础和实际经验，目前是S&A和JMM两本杂志的refree吧，不知道是不是...
MEMS微镜是一种体积很小的可调节反射镜,是微型光学系统的重要器件之一,其能够有效解决传统光谱仪成本高、体积大、不便携、不够大众化等缺点。.本论文利用了MEMS微镜的体积小以及成本低等特点,研究和设计了一种基于MEMS微镜的微型光谱系统。.首先,通过对...
MEMS微镜测控平台及非线性补偿MEMS微镜具有体积小、重量轻、耗能低、灵敏度高等优点，所以被广泛应用在食品检测，光学医疗检测等无损检测领域。但是由于微镜是一个高度的欠阻尼系统，应用到这些领域中需要达到一定的优质性能，因此本文了搭建一个
MEMS微镜电热传输特性的研究与应用.黄子吉.【摘要】：电热型MEMS微镜是通过在驱动器上施加电压,从而基于材料的热膨胀而产生位移,驱使MEMS微镜运动或偏转。.它是光纤通信中重要的构成部分,可以对任何波长的光波进行处理,减少光纤线路的升级要求,这为光...
里面微镜谐振的能量通过外围边框的跳动来传递。机械结构振动的品质因数跟其谐振频率和振动时的阻力有关，对于我们这个系统，10硕士学位论文基于MEMS微振镜技术的激光像源驱动电路的研究与实现相关文献指出其振动品质因数为200左右。
本文对基于MEMS技术的微变形镜的基本理论，方法和分析方法作了研究。.在基本理论方面，通过对自适应光学，静电力驱动，弹性梁理论和挤压薄膜阻尼的研究，确定了微变形镜的配置方案；在方面对体工艺，MUMPs工艺和SUMMiT工艺进行了研究与比较...
光学MEMS微镜技术及其在激光雷达中的应用.S微镜技术及其在激光雷达中的应用董光焰,刘中杰(中国电子科技集团公司第27研究所,郑州450047:首先概述了MOEMS光学技术的应用及特点,并介绍一类MOEMS光学产品的机理,该技术使得三维实时扫描成像激光雷达小型...
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图15微镜反射光线示意图四、MEMS加速度计加速度传感器是最早广泛应用的MEMS之一。MEMS，作为一个机械结构为主的技术，可以通过设计使一个部件(图15中橙色部件)相对底座substrate产生位移（这也是绝大部分MEMS的工作原理），这个部…
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