微机电系统(MEMS)毕业论文.摘要微机电系统(MicroElectro-MechanicalSystem,MEMS)技术是一门新兴的技术,具有非常广阔的应用前景。近年来,MEMS技术越来越受到世界各国的重视。.微电子加速度计是MEMS技术的一个重要应用领域,是微机械技术中的一类有代表性...
基于MEMS矢量水听器阵列的测向技术研究.【摘要】空间信号源的波达方位角估计已经成为水声领域中的一个重要研究方向。.矢量水听器与传统的声压水听器相比,有着得天独厚的优势,它可以同时获得声场中的声压信息和振速信息,为水下声信号的检测和估计...
论文的主要研究内容及章节安排如下:第一章阐述了流量检测及其研究的意义,介绍了流量检测技术的主要分类方法和发展趋势,论述了热损失式、热分布式和热脉冲式等三种热式流量检测技术的研究现状及MEMS技术在热式流量计中的应用,分析了远程流量监测...
本文采用MEMS技术、CMOS工艺和激光技术,设计并制作了硅杯和悬臂梁两种结构的以纳米硅/单晶硅异质结为源极和漏极的MOSFETs脉象传感器,该脉象传感器具有体积小,重量轻、灵敏度高、温度特性好等优点,能够实现对微小脉象信号的准确检测。
MEMS敏感结构输出信号主要采用电容式、压阻式、隧道电流式等电检测方式提高MEMS传感器性能的具体措施:(1)改进敏感材料常规产品技术难以满足表面微机械密集排列阵列器件的要求,而表面微机械压阻传感器采用多晶硅压阻时会遇到灵敏度低和稳定
MEMS压力传感器的设计及关键工艺技术研究技术,设计,研究,MEMS,工艺研究,压力传感器,关键技术,设计及,工艺技术,MEMS的厦门大学学位论文原创性声明本人呈交的学位论文是本人在导师指导下,完成的研究成果。
目前,人体姿态检测的手段主要有两种:基于计算机视觉的人体姿态检测系统和基于MEMS技术的人体姿态检测系统。基于计算机视觉的人体姿态检测系统,通过特定空间中分布的高频摄像头获取视频序列,然后对视频序列进行预处理、特征参数提取、步态识别等操作,根据实验获取的步态数据库给出...
提供MEMS技术的硅基热流式微流量传感器研究文档免费下载,摘要:大连理工大学硕士学位论文基于MEMS技术的硅基热流式微流量传感器研究姓名:席文柱申请学位级别:硕士专业:测试计量技术及仪器指导教师:闫卫平20040301
MEMS传感器技术发展现状及应用初探.伍国伟伍斯龙.【摘要】:随着科技的进步,传感器技术领域研发创新层次不断提升,MEMS传感器在各个领域实现广泛应用,例如,在环保领域中,可以实现数据的上传与储存;同时,可应用于医疗行业,例如,可植入人体器官,降低病...
期刊论文[1]基于模糊自适应Kalman滤波的MEMS惯导系统在线修正研究[J].贠卫国,毕凯,田易,孟真.空间控制技术与应用.2019(05)[2]舰载捷联惯导系统的航行中快速在线标定[J].袁鹏,杨雨,陈光,晏亮,武雨霞.导航与控制.2019(04)[3]基于改进自适应滤波算法的
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目前,人体姿态检测的手段主要有两种:基于计算机视觉的人体姿态检测系统和基于MEMS技术的人体姿态检测系统。基于计算机视觉的人体姿态检测系统,通过特定空间中分布的高频摄像头获取视频序列,然后对视频序列进行预处理、特征参数提取、步态识别等操作,根据实验获取的步态数据库给出...
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