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微机电系统(MEMS)技术及其应用.pdf,第24卷第6期泰安师专学报Vol.24NO.62002年11月JOURNALOFTAIANTEACHERSCOLLEGENov2002()微机电系统MEMS技术及其应用魏强(泰山学院物理系,山东泰安271021)[摘要]微机电...
MEMS振荡器技术及其应用研究.【摘要】：随着电子系统小型化、集成化的速度不断加快,对小型化、可集成的高性能振荡器的研究成为热点。.而MEMS谐振器以其高Q值、可集成、抗冲击性好等优点,为研制出小型化、可集成的高性能振荡器提供了可能。.由于MEMS谐振...
技术基础：设计、工艺(高深宽比多层微结构)、微装配工艺、微系统的测量等。应用研究：如何应用这些MEMS系统也是一门非常重要的学问。人们不仅要开发各种制造MEMS的技术，更重要的是如何将MEMS器件用于实际系统，并从中受益。
MEMS技术及其应用主要内容MEMS技术简介MEMS技术应用微机械制造技术MEMS器件WhatisMEMSTechnology?MEMS(microelectromechanicalsystems)aredevicesthatinvolveintegratedmicro-devicesorsystems,usuallycomprisedofelectricalandmechanicalcomponents,producedusingmicroelectronics-compatiblebatch-processingtechniques.
光学MEMS微镜技术及其在激光雷达中的应用.S微镜技术及其在激光雷达中的应用董光焰,刘中杰(中国电子科技集团公司第27研究所,郑州450047:首先概述了MOEMS光学技术的应用及特点,并介绍一类MOEMS光学产品的机理,该技术使得三维实时扫描成像激光雷达小型...
MEMS技术发展及其在生物芯片中的应用概述,微机电系统,微电子技术,生物芯片,传感器。介绍微机电系统(MEMS)的技术发展概况以及MEMS在生物芯片中的应用,并对MEMS在生物芯片中的未来发展趋势进行展…
MEMS传感器作为获取信息的关键器件，对各种传感装置的微型化起着巨大的推动作用，已在太空卫星、运载火箭、航空航天设备、飞机、各种车辆、生物医学及消费电子产品等领域中得到了广泛的应用。随着电子技术的发展，MEMS的应用领域越来越广泛，由
1.MEMS技术及其应用.李德胜等2.微机械与微细技术.苑伟政等3.MEMS和微系统——设计与制造.（美）徐泰然等4.微传感器与微执行器全书.（美）格雷戈里T.A.科瓦奇5.微电子制造科学原理与工程技术（第二版）.（美）坎贝尔（中、英文版都可以）
1孔德义;梅涛;;MEMS技术及其在汽车传感器中的应用[A];2004“安徽制造业发展”博士科技论坛论文集[C];2004年2陈述官;黄军辉;;MEMS传感器在汽车电子上的应用研究与展望[A];教育部中南地区高等学校电子电气基础课教学研究会第二十届学术年会会议论文集（下册）[C];2010年
MEMS微针技术及其工艺研究.蒋宏民.【摘要】：微针作为一种新型MEMS器件，在生物医学领域具有广泛的应用需求。.从工艺来划分，微针可分为异平面微针与同平面微针。.异平面微针可以成阵列结构，因而在微针经皮给药应用时药物可以在皮肤上...
微机电系统(MEMS)技术及其应用.pdf,第24卷第6期泰安师专学报Vol.24NO.62002年11月JOURNALOFTAIANTEACHERSCOLLEGENov2002()微机电系统MEMS技术及其应用魏强(泰山学院物理系,山东泰安271021)[摘要]微机电...
MEMS振荡器技术及其应用研究.【摘要】：随着电子系统小型化、集成化的速度不断加快,对小型化、可集成的高性能振荡器的研究成为热点。.而MEMS谐振器以其高Q值、可集成、抗冲击性好等优点,为研制出小型化、可集成的高性能振荡器提供了可能。.由于MEMS谐振...
技术基础：设计、工艺(高深宽比多层微结构)、微装配工艺、微系统的测量等。应用研究：如何应用这些MEMS系统也是一门非常重要的学问。人们不仅要开发各种制造MEMS的技术，更重要的是如何将MEMS器件用于实际系统，并从中受益。
MEMS技术及其应用主要内容MEMS技术简介MEMS技术应用微机械制造技术MEMS器件WhatisMEMSTechnology?MEMS(microelectromechanicalsystems)aredevicesthatinvolveintegratedmicro-devicesorsystems,usuallycomprisedofelectricalandmechanicalcomponents,producedusingmicroelectronics-compatiblebatch-processingtechniques.
光学MEMS微镜技术及其在激光雷达中的应用.S微镜技术及其在激光雷达中的应用董光焰,刘中杰(中国电子科技集团公司第27研究所,郑州450047:首先概述了MOEMS光学技术的应用及特点,并介绍一类MOEMS光学产品的机理,该技术使得三维实时扫描成像激光雷达小型...
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MEMS传感器作为获取信息的关键器件，对各种传感装置的微型化起着巨大的推动作用，已在太空卫星、运载火箭、航空航天设备、飞机、各种车辆、生物医学及消费电子产品等领域中得到了广泛的应用。随着电子技术的发展，MEMS的应用领域越来越广泛，由
1.MEMS技术及其应用.李德胜等2.微机械与微细技术.苑伟政等3.MEMS和微系统——设计与制造.（美）徐泰然等4.微传感器与微执行器全书.（美）格雷戈里T.A.科瓦奇5.微电子制造科学原理与工程技术（第二版）.（美）坎贝尔（中、英文版都可以）
1孔德义;梅涛;;MEMS技术及其在汽车传感器中的应用[A];2004“安徽制造业发展”博士科技论坛论文集[C];2004年2陈述官;黄军辉;;MEMS传感器在汽车电子上的应用研究与展望[A];教育部中南地区高等学校电子电气基础课教学研究会第二十届学术年会会议论文集（下册）[C];2010年
MEMS微针技术及其工艺研究.蒋宏民.【摘要】：微针作为一种新型MEMS器件，在生物医学领域具有广泛的应用需求。.从工艺来划分，微针可分为异平面微针与同平面微针。.异平面微针可以成阵列结构，因而在微针经皮给药应用时药物可以在皮肤上...
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