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基于光纤端面透镜的微磨床专用工程控制系统关键技术研究.最近几年来,随着集成电路和微机电系统的推广,使得超精密微磨削技术也得到了快速的发展,对于结构比较复杂的三维微小零件的,更适宜用微型机床进行。.国内外一些学者已经实现了...
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