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ISO1级洁净室微环境气流组织模拟分析.摘要我国已经成为全球最大的集成电路市场，并且未来还将继续发展。.由于电子厂房洁净室生产工艺的特殊性，空调设备能耗巨大，其节能具有重要意义。.本文通过对现有空态ISO1级洁净室微环境进行模型简化，并通过...
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我国已经成为全球最大的集成电路市场,并且未来还将继续发展。由于电子厂房洁净室生产工艺的特殊性,空调设备能耗巨大,其节能具有重要意义。通过对现有空态ISO1级洁净室微环境进行模型简化,并通过数值模拟方法,分析得出了不同FFU运行风速及恒定风速下变FFU运行数量的气流组织特性。
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