3页.文档大小:.248.66K.文档热度:.文档分类:.管理/人力资源--经营企划.文档标签:.精品论文硅压力传感器的过载保护设计.
为了提高压力传感器的过载能力,本论文中设计了一种测量膜盒的结构。此方法是利用三膜片过载保护结构,在过载条件下,通过使波纹膜片与仿形衬体直接接触来实现过载保护,从而避免油压的继续上升。此方法具有设计简单、成本低、方便可靠、易于系列...
在此基础上给出了压力传感器的一种结构设计方法,从而可使这种压力传感器过载保护能力提高180%~220%。采用MEMS技术的小量程、高灵敏压力传感器通常有平膜、岛膜、梁膜等结构,在设计过载保护时,一般采用凸台等方法实现,形成方法有背部刻蚀技术、硅直接键合(SDB)技术、玻璃刻蚀技术等。
过载保护中心膜片是传感器过载保护的核心,为了提高差压传感器高温下的过载能力,本文提出了一种新的中心膜片设计方法,采用中心波纹膜片取代传统平膜片,提高了高温下差压传感器的过载能力。学习了波纹膜片变形理论,得到理论压力-中心挠度特征关系式。
高灵敏压力传感器过载保护结构设计.[导读]采用微机电系统(MEMS)牺牲层技术制作的压力传感器具有芯片尺寸小,灵敏度高的优势,但同时也带来了提高过载能力的难题。.为此,本文利用有限元法,对牺牲层结构压阻式压力传感器弹性膜片的应力分布进行了...
06-0102-03大过载真空传感器结构优化设计王铁玲,刘宝伟,吕颖,陈宝成,马莎,浦*龙(中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨150001)摘要:针对大过载(700~800倍)使得真空传感器的电容薄膜电极发生塑性变形,导致传感器失效...
加入了过载保护措施,保护采用栓式结构,方便传感器保护间隙的调整,本研究设计传感器量程为10kN,保护间隙为0.2mm,施加载荷大于10kN时,保护间隙闭合,传感器弹性体受力形式由剪切式转换为柱式,传感器抗拉断力显著提高。
本科毕业论文—基于无线传输的起重机称重及过载保护系统.doc,天津城建大学本科毕业论文基于无线传输的起重机称重及过载保护系统Thecraneloadandoverloadprotectionsystembasedonwirelesstransmission学生姓名:吴安新学生学号...
2.4.2六维力传感器随机振动分析第38-44页2.4.3六维力传感器正弦振动分析第44-47页2.5小结第47-48页第3章空间机械臂六维力传感器过载保护研究第48-70页3.1引言第48-49页3.2六维力传感器测量原理及过载分析第49-54页
三、结构框图基于气敏传感器的厨房火灾报警系统7809,7805端正稳压电路,能提供多种固定的输出电压,应用范围广。内含过流、过热和过载保护电路。四、器件选择及其原理器件选择主要是气敏传感器的选择。
3页.文档大小:.248.66K.文档热度:.文档分类:.管理/人力资源--经营企划.文档标签:.精品论文硅压力传感器的过载保护设计.
为了提高压力传感器的过载能力,本论文中设计了一种测量膜盒的结构。此方法是利用三膜片过载保护结构,在过载条件下,通过使波纹膜片与仿形衬体直接接触来实现过载保护,从而避免油压的继续上升。此方法具有设计简单、成本低、方便可靠、易于系列...
在此基础上给出了压力传感器的一种结构设计方法,从而可使这种压力传感器过载保护能力提高180%~220%。采用MEMS技术的小量程、高灵敏压力传感器通常有平膜、岛膜、梁膜等结构,在设计过载保护时,一般采用凸台等方法实现,形成方法有背部刻蚀技术、硅直接键合(SDB)技术、玻璃刻蚀技术等。
过载保护中心膜片是传感器过载保护的核心,为了提高差压传感器高温下的过载能力,本文提出了一种新的中心膜片设计方法,采用中心波纹膜片取代传统平膜片,提高了高温下差压传感器的过载能力。学习了波纹膜片变形理论,得到理论压力-中心挠度特征关系式。
高灵敏压力传感器过载保护结构设计.[导读]采用微机电系统(MEMS)牺牲层技术制作的压力传感器具有芯片尺寸小,灵敏度高的优势,但同时也带来了提高过载能力的难题。.为此,本文利用有限元法,对牺牲层结构压阻式压力传感器弹性膜片的应力分布进行了...
06-0102-03大过载真空传感器结构优化设计王铁玲,刘宝伟,吕颖,陈宝成,马莎,浦*龙(中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨150001)摘要:针对大过载(700~800倍)使得真空传感器的电容薄膜电极发生塑性变形,导致传感器失效...
加入了过载保护措施,保护采用栓式结构,方便传感器保护间隙的调整,本研究设计传感器量程为10kN,保护间隙为0.2mm,施加载荷大于10kN时,保护间隙闭合,传感器弹性体受力形式由剪切式转换为柱式,传感器抗拉断力显著提高。
本科毕业论文—基于无线传输的起重机称重及过载保护系统.doc,天津城建大学本科毕业论文基于无线传输的起重机称重及过载保护系统Thecraneloadandoverloadprotectionsystembasedonwirelesstransmission学生姓名:吴安新学生学号...
2.4.2六维力传感器随机振动分析第38-44页2.4.3六维力传感器正弦振动分析第44-47页2.5小结第47-48页第3章空间机械臂六维力传感器过载保护研究第48-70页3.1引言第48-49页3.2六维力传感器测量原理及过载分析第49-54页
三、结构框图基于气敏传感器的厨房火灾报警系统7809,7805端正稳压电路,能提供多种固定的输出电压,应用范围广。内含过流、过热和过载保护电路。四、器件选择及其原理器件选择主要是气敏传感器的选择。