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超精密装备恒温气浴关键技术研究-仪器科学与技术专业论文.docx,哈尔滨工业大学硕士学位论文哈尔滨工业大学硕士学位论文--I-摘要以步进扫描光刻机为代表的大型超精密、测量装备在现代工业生产及科学研究过程中扮演着及其重要的角色。
2.超精密技术的发展及其对策[期刊论文]-制造技术与机床2001(1)3.吴云锋.陈洁.WUYunfeng.CHENJie精密超精密技术综述[期刊论文]-新技术新工艺2007(6)4.赵健.ZhaoJian综论超精密技术的发展[期刊论文]-机械研究与应用2008,21(5)5.
2011-05-24求超精密术及发展趋势论文（最好是完整的论文）42014-05-02精密及超精密的参考文献有哪些?12016-10-21精密和超精密技术对发展国防和尖端技术的重要意义12012-11-27请问大家，超精密技术有什么缺陷和不足，越详细越好。...
北京机床研究所是国内进行超精密技术研究的主要单位之一，研制出了多种不同类型的超精密机床、部件和相关的高精度测试仪器等，如精度达0.025μm的精密轴承、JCS—027超精密车床、JCS—031超精密铣床、JCS—035超精密车床、超精密车床数控系统
中国期刊网,期刊,杂志,读者服务,电子杂志,论文,文库,期刊网,电子刊[导读]测控技术与仪器是研究信息的获取和处理，以及对相关要素进行控制的理论与技术；是电子、光学、精密机械、计算机、信息与控制技术多学科互相渗透而形成的一门高新技术密集型综合学科。
浙江大学机械工程学系博士学位论文面向精密仪器设备的主动隔振关键技术研究姓名：李国平申请学位级别：博士专业：机械制造及其自动化指导教师：陈子辰;魏燕定20100101浙江大学博士学位论文面向精密仪器设备的主动隔振关键技术研究本学位论文结合浙江省自然科学基金项目“精密设备...
相关产品及技术已经在国家计量单位、国家大科学装置及工程、高精密光学机械行业等多家企事业单位进行推广应用，有助于提升中国高端检测...
【FITEE2019年第5期出版“精密测量与仪器技术”专题，由中国工程院庄松林院士和谭久彬院士担任主编。专题收录4篇综述，1篇研究论文。【综述】利用太赫兹时域光谱法和微腔器件检测样品：综述陈麟1,2,3，廖登高1，郭旭光1,2，赵佳宇1,2，朱亦鸣1,2,3，庄松林1,2
测控技术与仪器专业概论课程论文.doc,测控技术与仪器专业概论课程论文指导老师：班级：姓名：学号：测控技术与仪器专业概论课程论文随着科学技术的发展，仪器仪表从只能进行简单的测量、观察开始，已成为测量、控制和实现自动化必不可少的技术工具。
2019年11月1日至2019年11月3日，我院超精密光电仪器工程研究所崔俊宁教授带队参加2019IEEE第14届国际电子测量与仪器会议(ICEMI2019),博士研究生边星元、赵亚敏摘得两项优秀论文奖。IEEE国际电子测量与仪器会议每两年召开一届，从1992年至今已成功
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