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超精密与精密磨削.docx,重庆理工大学精密与特种技术论文姓名：周文杰学号：11104020436专业：机械设计制造及其自动化学院：机械工程学院中国·重庆2014年6月精密和超精密磨削机械工程学院学号：11104020436姓名...
《磨削技术及精密、超精密》-毕业论文（设计）.doc,精品毕业论文郑州工业安全职业学院毕业论文题目：磨削技术及精密、超精密姓名：赵会海系别：机电工程系专业：机电一体化年级：08机电二班指导教师：年月日目录TOC\o前言PAGEREF_Toc294604394\h1第一章磨削…
博士学位论文硅片超精密磨削减薄工艺基础研究FoundationalResearchSiliconWaferThinningUltra－－precisionGrinding学号：10704025大连理工大学DaliaJlUniversityTechnology大连理工大学学位论文独创性声明作者郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下进行研究工作所取得的成果。
大连理工大学博士学位论文单晶硅片超精密磨削表面层损伤的研究姓名：张银霞申请学位级别：博士专业：机械制造及其自动化指导教师：康仁科20060601大连理工大学博士学位论文单晶硅片是集成电路（IC）制造过程中最常用的衬底材料，硅片的表面层质量直接影响着器件的性能、成品率...
论文主要围绕平面和球面模具的超精密磨削工艺进行以下研究工作：(1)从现有的硬脆材料理论和相关背景出发,总结了硬脆材料现有技术的不足,并探讨和分析了成型砂轮斜轴磨削球面的方法；(2)根据硬脆材料的特殊性能,对其进行超精密磨削,变...
目的利用ELID磨削技术对ZGMn13Cr2高锰钢进行精密超精密镜面磨削试验研究,解决其性能差的问题,以提升表面质量,采用二次回归通用旋转设计试验,探究不同试验因素对ZGMn13Cr2高锰钢表面质量的影响规律,并对各因素工艺参数进行
本论文从理论和实验上研究了典型碳化物材料(碳化钨和碳化硅)超精密磨削的表面生成及损伤机理,并以超精密大深径比的半球偶件和“水滴”结构表面作为案例进行研究,以推动硬脆材料回转轴对称表面超精密磨削技术的发展。.论文的主要内容包括以下...
摘要分析实现微晶玻璃超精密磨削的技术条件和在线电解修整超精密磨削机理,并采用铸铁基金刚石砂轮结合在线电解的磨削方法对微晶玻璃进行了精密磨削,获得Ra为2.308nm的超光滑表面。Inthispaper,theultraprecisiongrindingtechnologyformicrocrystal...
本论文为了实现AlON保形头罩表面高效率、低损伤的塑性磨削,采用了多种实验方法与检测手段揭示了AlON材料的超精密磨削机理,并在此基础上确定了AlON保形头罩的超精密磨削工艺,最终实现了AlON保形头罩高表面质量的超精密磨削。论文的主要
博士毕业论文—《稀土氧化物激光晶体超精密磨削机理及工艺研究》摘要第1-6页ABSTRACT第6-15页第1章绪论第15-38页1.1课题背景及研究的目的和意义
超精密与精密磨削.docx,重庆理工大学精密与特种技术论文姓名：周文杰学号：11104020436专业：机械设计制造及其自动化学院：机械工程学院中国·重庆2014年6月精密和超精密磨削机械工程学院学号：11104020436姓名...
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大连理工大学博士学位论文单晶硅片超精密磨削表面层损伤的研究姓名：张银霞申请学位级别：博士专业：机械制造及其自动化指导教师：康仁科20060601大连理工大学博士学位论文单晶硅片是集成电路（IC）制造过程中最常用的衬底材料，硅片的表面层质量直接影响着器件的性能、成品率...
论文主要围绕平面和球面模具的超精密磨削工艺进行以下研究工作：(1)从现有的硬脆材料理论和相关背景出发,总结了硬脆材料现有技术的不足,并探讨和分析了成型砂轮斜轴磨削球面的方法；(2)根据硬脆材料的特殊性能,对其进行超精密磨削,变...
目的利用ELID磨削技术对ZGMn13Cr2高锰钢进行精密超精密镜面磨削试验研究,解决其性能差的问题,以提升表面质量,采用二次回归通用旋转设计试验,探究不同试验因素对ZGMn13Cr2高锰钢表面质量的影响规律,并对各因素工艺参数进行
本论文从理论和实验上研究了典型碳化物材料(碳化钨和碳化硅)超精密磨削的表面生成及损伤机理,并以超精密大深径比的半球偶件和“水滴”结构表面作为案例进行研究,以推动硬脆材料回转轴对称表面超精密磨削技术的发展。.论文的主要内容包括以下...
摘要分析实现微晶玻璃超精密磨削的技术条件和在线电解修整超精密磨削机理,并采用铸铁基金刚石砂轮结合在线电解的磨削方法对微晶玻璃进行了精密磨削,获得Ra为2.308nm的超光滑表面。Inthispaper,theultraprecisiongrindingtechnologyformicrocrystal...
本论文为了实现AlON保形头罩表面高效率、低损伤的塑性磨削,采用了多种实验方法与检测手段揭示了AlON材料的超精密磨削机理,并在此基础上确定了AlON保形头罩的超精密磨削工艺,最终实现了AlON保形头罩高表面质量的超精密磨削。论文的主要
博士毕业论文—《稀土氧化物激光晶体超精密磨削机理及工艺研究》摘要第1-6页ABSTRACT第6-15页第1章绪论第15-38页1.1课题背景及研究的目的和意义
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