叉指电极间分布电阻的计算方法与软件设计许万里厦门海洋职业技术学院,福建厦门361012)摘要:本论文给出了薄膜敏感元件叉指电极间薄膜分布电阻的计算方法,为电阻型敏感元件的设计提供理论…
基于叉指电极的mems环境监测传感器关键技术分析-keytechnologyanalysisofmemsenvironmentmonitoringsensorbasedoninterdigitalelectrode.docx,优秀毕业论文精品参考文献资料AbstractMEMSsensorattractsattentionforitssimplestructure...
最后,将该叉指电极传感器对4种常见污染物气体的气敏特性进行了检测。实验结果表明:在100ppm氨气中,工作温度为200℃时,叉指电极传感器拥有最高灵敏度,达43.1,响应恢复时间大约为5s;在100ppm二氧化氮气体中,最佳工作温度为250℃,此时灵敏度达94.9,响应
叉指电极间分布电阻的计算方法与软件设计.本论文给出了薄膜敏感元件叉指电极间薄膜分布电阻的计算方法,为电阻型敏感元件的设计提供理论上的指导。.并根据理式,设计了一款简单易用的软件,可以很方便的计算给定叉指电极间的薄膜分布电阻。.维普...
收稿日期:2005-11-03.材料、结构及工艺MSM结构平面及掩埋叉指电极间电场的分布特性西安交通大学应用物理系,陕西西安710049;2.西安理工大学应用物理系,陕西西安710048提出了一种新型具有掩埋电极的金属半导体金属(MSM)探测器...
目前非对称叉指电极的工艺非常有限,大部分已报道的方法(包括光刻、等离子刻蚀、激光切割、喷墨打印等)都只适用于某种特定类型的材料,或者工艺过程复杂,所需仪器设备昂贵,不适于大规模芯片集成,与目前的半导体工业技术不兼容。
叉指电极的阻抗免疫传感器原理就是将特异性免疫反应与信号转换技术相结合,通过抗原抗体反应引起的信号变化实现对目标分析物的检测。.研究表明,物理吸附在电极表面的绝缘蛋白质层和免疫反应复合物层能够有效地封闭电极表面,抑制电极间的电子传递...
柔性线路叉指电极:柔性电极可以贴合人体皮肤,实时传输检测信号,具有多层卷绕、性能倍增的特性,可大幅度提高电池和超级电容器的整体性能,提高体积比容量。还可用于柔性医疗传感器、可穿戴式传感器。柔性叉指电极分为PI和PET基底,钰芯柔性叉指电极PET基底柔性叉指电极最小线宽线距…
基于非共面叉指电极的MEMS电容式压力传感器.针对MEMS电容式压力传感器的非线性和空腔引线问题,提出一种非共面叉指电极结构,叉指电极重叠面积变化反映电容变化,从而改善了传感器的线性度。.此外,腔外设计的叉指电极还避免了复杂的制造工艺。.本...
叉指电极的应用比较广泛,尤其是用作敏感元件的电极。给出了一种叉指结构电极间分布电阻的计算方法,在理论分析计算的基础上,选取了几种常用尺寸的叉指电极,在中间均匀涂上掺杂的SnO2,通过实验测量其电阻,并与理论计算的结果进行比较,实际测量结果较好地验证了此计算方法的正确性。
叉指电极间分布电阻的计算方法与软件设计许万里厦门海洋职业技术学院,福建厦门361012)摘要:本论文给出了薄膜敏感元件叉指电极间薄膜分布电阻的计算方法,为电阻型敏感元件的设计提供理论…
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叉指电极间分布电阻的计算方法与软件设计.本论文给出了薄膜敏感元件叉指电极间薄膜分布电阻的计算方法,为电阻型敏感元件的设计提供理论上的指导。.并根据理式,设计了一款简单易用的软件,可以很方便的计算给定叉指电极间的薄膜分布电阻。.维普...
收稿日期:2005-11-03.材料、结构及工艺MSM结构平面及掩埋叉指电极间电场的分布特性西安交通大学应用物理系,陕西西安710049;2.西安理工大学应用物理系,陕西西安710048提出了一种新型具有掩埋电极的金属半导体金属(MSM)探测器...
目前非对称叉指电极的工艺非常有限,大部分已报道的方法(包括光刻、等离子刻蚀、激光切割、喷墨打印等)都只适用于某种特定类型的材料,或者工艺过程复杂,所需仪器设备昂贵,不适于大规模芯片集成,与目前的半导体工业技术不兼容。
叉指电极的阻抗免疫传感器原理就是将特异性免疫反应与信号转换技术相结合,通过抗原抗体反应引起的信号变化实现对目标分析物的检测。.研究表明,物理吸附在电极表面的绝缘蛋白质层和免疫反应复合物层能够有效地封闭电极表面,抑制电极间的电子传递...
柔性线路叉指电极:柔性电极可以贴合人体皮肤,实时传输检测信号,具有多层卷绕、性能倍增的特性,可大幅度提高电池和超级电容器的整体性能,提高体积比容量。还可用于柔性医疗传感器、可穿戴式传感器。柔性叉指电极分为PI和PET基底,钰芯柔性叉指电极PET基底柔性叉指电极最小线宽线距…
基于非共面叉指电极的MEMS电容式压力传感器.针对MEMS电容式压力传感器的非线性和空腔引线问题,提出一种非共面叉指电极结构,叉指电极重叠面积变化反映电容变化,从而改善了传感器的线性度。.此外,腔外设计的叉指电极还避免了复杂的制造工艺。.本...
叉指电极的应用比较广泛,尤其是用作敏感元件的电极。给出了一种叉指结构电极间分布电阻的计算方法,在理论分析计算的基础上,选取了几种常用尺寸的叉指电极,在中间均匀涂上掺杂的SnO2,通过实验测量其电阻,并与理论计算的结果进行比较,实际测量结果较好地验证了此计算方法的正确性。