真空科学与技术学报其官方期刊Journal of Vacuum Science and Technology (JVST)盛誉卓著，是真空、表面、薄膜、微电子和纳米结构领域的期刊领袖。该刊后来被分为了A、B两辑。
《真空科学与技术学报》由中国真空学会主办,是中国科学技术协会审定的国家级自然科学技术刊物,双月刊,国内外公开发行。本刊论文被EI、CA、SA和INSPEC等国际著名检索系统收录。《真空科学与技术学报》刊载的论文的内容主要涉及如下学科:真空科学与技术、薄膜物理与工艺、表面及界面物理、应用表面科学、物理电子学、电子材料与处理、纳米科学与技术、电真空技术、核真空技术及真空冶金等。本刊欢迎上述学科领域内的科研论文、研究报告、工艺研究、动态综述、工业技术等稿件,对于开创性的发明、发现等新成果,将优先发表。(一)稿件要求1.文稿务必立论明确,论证严谨,数据可靠,文字精练。特约稿、综述论文一般8000字以内,学术论文6000字以内,技术交流4000字以内,科技简讯2000字以内,来稿请填好中图分类号。2.文稿要求用A4纸单面1.5倍行间距,小四号字打印,一式两份。来稿时,请附上作者中联系人、联系电话和电子信箱地址。如可能,请附寄磁盘。3.稿件请按本刊格式整理,除正文以外,要同时给出中、英文的篇名、作者姓名和工作单位、论文摘要300字左右、关键词4～6个,参见“关于在学术论文中规范关键词选择的决定”。摘要应反映文章的主要信息...
下面给个参考资料。。。是知网的，你可以看看，可惜我没权限下载。
国内真空领域比较厉害的期刊，在国内来说比较难，属于EI期刊
真空科学与技术学报 [1672-7126]
本刊收录在： Ei Compendex (2010年)
本刊收录在： Ei Compendex (2011年)
本刊收录在： Ei Compendex (2013年)
本刊收录在： 中国科学引文数据库(CSCD)来源期刊(2009-2010)
提示: CSCD扩展库(E)
本刊收录在： 中国科学引文数据库(CSCD)来源期刊库(2013-2014)
提示:CSCD扩展库(E)
本刊收录在： 中国科技期刊引证报告(2012年版)
本刊收录在： 中国科技期刊引证报告(2013年版)
提示: 《引证报告》2013年版影响因子:1.171
本刊收录在： 中国科技期刊引证报告(2014年版)
提示:《引证报告》2014年版影响因子:0.847
本刊收录在： 中文核心期刊要目总览(2008年版)
提示: 排序：真空技术 - 第1位
本刊收录在： 中文核心期刊要目总览(2011年版)
提示: 排序：真空技术类 - 第1位
主题分类：Engineering: Mechanical Engineering
TB7：真空技术: TB7：真空技术
