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工业技术 >>> 自动化技术、计算机技术 >>> 自动化技术及设备 >>> 自动化元件 、部件 >>> 一般自动化元件、部件 >>> 机电元件、部件 此搜索结果 检索项 检索词 匹配 排序 首页 上页 下页 /175 共有记录3491条 序号 中 …
MEMS器件的主要分类. 1、传感. 传感MEMS技术是指用微电子微机械加工出来的、用敏感元件如电容、压电、压阻、热电耦、谐振、隧道电流等来感受转换电信号的器件和系统。. 它包括速度、压力、湿度、加速度、气体、磁、光、声、生物、化学等各种传感器，按 ...
MEMS器件生产工艺中的刻蚀技术研究--中国期刊网. 李勇. 北京中瑞电子系统工程设计院有限公司 100040. 摘要：随着微机械加工技术的不断提高，MEMS器件生产工艺也随之得到不断开发与完善。. 而刻蚀技术是MEMS器件生产过程中的关键技术与核心环节，本文就湿法 ...
MEMS器件类型和MEMS应用 典型的 MEMS传感器 采用机械结构，该机械结构可响应机械或电气刺激（压力，运动，加速度，磁场等）而以受控方式运动。 其中典型的技术是使用移动来改变可变电容的极板之间的距离。
1、传感. 传感 MEMS 技术是指用微电子微机械加工出来的、用敏感元件如电容、压电、压阻、热电耦、谐振、隧道电流等来感受转换电信号的器件和系统。. 它包括速度、压力、湿度、加速度、气体、磁、光、声、生物、化学等各种传感器，按种类分主要有:面阵 ...
MEMS器件设计、封装工艺及应用研究（专业）物理电子学。声明：知识水坝论文均为可编辑的文本格式PDF，请放心下载使用。需要DOC格式请发豆丁站内信。
技术论坛 MEMS陀螺仪的研究现状与进展 李永;赵正平; MEMS陀螺仪是MEMS传感器中应用最广泛的器件。当今信息智能时代的发展为MEMS陀螺仪带来新的发展机遇,使MEMS陀螺仪进入更高精度和更高可靠性的新的发展阶段。 从微结构、电子学控制、工艺 ...
摘要： 微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)是微米/纳米技 术的重要组成部分.MEMS已经在产业化道路上不断发展,NEMS还处于基础 ...
MEMS器件低应力封装技术. 吴忠烨;杨尚书;吴国强. 封装是微机电系统 (micro-electro-mechanical system, MEMS)研发过程中的最重要的环节之一。. 封装决定了MEMS器件的可靠性以及成本,是MEMS器件实用化和商业化的 …
MEMS器件的主要分类. 1、传感. 传感MEMS技术是指用微电子微机械加工出来的、用敏感元件如电容、压电、压阻、热电耦、谐振、隧道电流等来感受转换电信号的器件和系统。. 它包括速度、压力、湿度、加速度、气体、磁、光、声、生物、化学等各种传感器，按 ...
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MEMS器件的主要分类. 1、传感. 传感MEMS技术是指用微电子微机械加工出来的、用敏感元件如电容、压电、压阻、热电耦、谐振、隧道电流等来感受转换电信号的器件和系统。. 它包括速度、压力、湿度、加速度、气体、磁、光、声、生物、化学等各种传感器，按 ...
MEMS器件生产工艺中的刻蚀技术研究--中国期刊网. 李勇. 北京中瑞电子系统工程设计院有限公司 100040. 摘要：随着微机械加工技术的不断提高，MEMS器件生产工艺也随之得到不断开发与完善。. 而刻蚀技术是MEMS器件生产过程中的关键技术与核心环节，本文就湿法 ...
MEMS器件类型和MEMS应用 典型的 MEMS传感器 采用机械结构，该机械结构可响应机械或电气刺激（压力，运动，加速度，磁场等）而以受控方式运动。 其中典型的技术是使用移动来改变可变电容的极板之间的距离。
1、传感. 传感 MEMS 技术是指用微电子微机械加工出来的、用敏感元件如电容、压电、压阻、热电耦、谐振、隧道电流等来感受转换电信号的器件和系统。. 它包括速度、压力、湿度、加速度、气体、磁、光、声、生物、化学等各种传感器，按种类分主要有:面阵 ...
MEMS器件设计、封装工艺及应用研究（专业）物理电子学。声明：知识水坝论文均为可编辑的文本格式PDF，请放心下载使用。需要DOC格式请发豆丁站内信。
技术论坛 MEMS陀螺仪的研究现状与进展 李永;赵正平; MEMS陀螺仪是MEMS传感器中应用最广泛的器件。当今信息智能时代的发展为MEMS陀螺仪带来新的发展机遇,使MEMS陀螺仪进入更高精度和更高可靠性的新的发展阶段。 从微结构、电子学控制、工艺 ...
摘要： 微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)是微米/纳米技 术的重要组成部分.MEMS已经在产业化道路上不断发展,NEMS还处于基础 ...
MEMS器件低应力封装技术. 吴忠烨;杨尚书;吴国强. 封装是微机电系统 (micro-electro-mechanical system, MEMS)研发过程中的最重要的环节之一。. 封装决定了MEMS器件的可靠性以及成本,是MEMS器件实用化和商业化的 …
MEMS器件的主要分类. 1、传感. 传感MEMS技术是指用微电子微机械加工出来的、用敏感元件如电容、压电、压阻、热电耦、谐振、隧道电流等来感受转换电信号的器件和系统。. 它包括速度、压力、湿度、加速度、气体、磁、光、声、生物、化学等各种传感器，按 ...
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