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被引量：2 3 于玮,封维忠,武建军.基于MEMS加速度传感器的数字水平仪[J].仪表技术与传感器,2011(1):24-26. 被引量：9 4 徐玉,任沁源,孙文达,李平.微小型无人直升机地磁导航算法研究[J].兵工学报被引
基于MEMS技术的微桥制备与共振频率测量,微机电系统,微桥制备,湿法刻蚀,共振频率。基于扫描探针显微镜(SPM)微机械性能测试的需求,设计了一种可用电容力驱动微桥面振动的新型微桥。通过实验选材和单晶Si的...
摘要： 光纤微机电系统（MEMS）法布里-珀罗传感器依靠其结构简单、体积小、抗电磁干扰、温度系数低、灵敏度高等优势逐渐受到人们的青睐。 除了上述优势外,基于MEMS的光纤法布里-珀罗传感器还具备了线性度好、测量精度高以及动态范围大等良好特性。因此,它能够更好的面对各种恶劣环境,在石油 ...
近五年来，张晓升教授在国际著名学术刊物上共发表论文60余篇，其中影响因子大于12的一区期刊论文16篇，论文已被SCI他引1200+次（Google引用2000+次），其中ESI高被引论文2篇；申请发明专利30余项（授权22项），出 …
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MEMS航天惯导产品及技术发展简介 被引量： 3. MEMS航天惯导产品及技术发展简介. 摘要 概述近年来微机电系统 (MEMS)在航天惯导方面的发展情况,综述国内外有关MEMS产品的实现方案与性能指标,并对该领域的技术发展方向进行了分析。. 1 蔡春龙,刘翼,刘一薇. MEMS仪表 ...
MEMS高g加速度传感器封装贴片技术的研究[J].化工自动化及仪表,2011(9):1133-1135. 被引量：3 9 朱煜.光MOS固体继电器平行缝焊的工艺研究[J].机电元件,2012,32(6):24被引量：1 10 张娟,徐德,张正
MEMS薄膜泊松比在线提取方法研究 被引量：1 期刊文章《中国机械工程》2005年第z1期379-381,共3页 聂萌 黄庆安 李伟华 提出了一种新的泊松比在线测量方法,在用两端固支梁静电吸合模型提取薄膜等效弹性模量的基础上,根据薄膜的等效弹性模量、杨氏模量、泊松 ...
See Journal of Micro-Nanolithography MEMS and MOEMS journal impact factor, SJR, SNIP, CiteScore, H-index metrics. Find the right academic journal to publish your …
通过对高被引论文的分析，可以有效揭示高校科研能力及其科研 成果的学术认可程度，为学科评价、人才评价提供重要参考。. 本次遴选的高被引论文是将同一学科同一年度发表的被引频次大于等于 1 次的国内学 术期刊论文按照被引频次降序排列，遴选前 1%的 ...
被引量：2 3 于玮,封维忠,武建军.基于MEMS加速度传感器的数字水平仪[J].仪表技术与传感器,2011(1):24-26. 被引量：9 4 徐玉,任沁源,孙文达,李平.微小型无人直升机地磁导航算法研究[J].兵工学报被引
基于MEMS技术的微桥制备与共振频率测量,微机电系统,微桥制备,湿法刻蚀,共振频率。基于扫描探针显微镜(SPM)微机械性能测试的需求,设计了一种可用电容力驱动微桥面振动的新型微桥。通过实验选材和单晶Si的...
摘要： 光纤微机电系统（MEMS）法布里-珀罗传感器依靠其结构简单、体积小、抗电磁干扰、温度系数低、灵敏度高等优势逐渐受到人们的青睐。 除了上述优势外,基于MEMS的光纤法布里-珀罗传感器还具备了线性度好、测量精度高以及动态范围大等良好特性。因此,它能够更好的面对各种恶劣环境,在石油 ...
近五年来，张晓升教授在国际著名学术刊物上共发表论文60余篇，其中影响因子大于12的一区期刊论文16篇，论文已被SCI他引1200+次（Google引用2000+次），其中ESI高被引论文2篇；申请发明专利30余项（授权22项），出 …
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MEMS航天惯导产品及技术发展简介 被引量： 3. MEMS航天惯导产品及技术发展简介. 摘要 概述近年来微机电系统 (MEMS)在航天惯导方面的发展情况,综述国内外有关MEMS产品的实现方案与性能指标,并对该领域的技术发展方向进行了分析。. 1 蔡春龙,刘翼,刘一薇. MEMS仪表 ...
MEMS高g加速度传感器封装贴片技术的研究[J].化工自动化及仪表,2011(9):1133-1135. 被引量：3 9 朱煜.光MOS固体继电器平行缝焊的工艺研究[J].机电元件,2012,32(6):24被引量：1 10 张娟,徐德,张正
MEMS薄膜泊松比在线提取方法研究 被引量：1 期刊文章《中国机械工程》2005年第z1期379-381,共3页 聂萌 黄庆安 李伟华 提出了一种新的泊松比在线测量方法,在用两端固支梁静电吸合模型提取薄膜等效弹性模量的基础上,根据薄膜的等效弹性模量、杨氏模量、泊松 ...
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通过对高被引论文的分析，可以有效揭示高校科研能力及其科研 成果的学术认可程度，为学科评价、人才评价提供重要参考。. 本次遴选的高被引论文是将同一学科同一年度发表的被引频次大于等于 1 次的国内学 术期刊论文按照被引频次降序排列，遴选前 1%的 ...
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