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该项集成电路先导工艺的创新研究得到国家科技重大专项 02 专项和国家重点研发计划等的资助。 图： （ a ）负电容 FinFET 基本结构；（ b-c ）三维器件沟道结构与铁电 HZO 膜层结构； （ d-e ）器件 I-V 与 SS 特性；（ f ）最新器件性能国际综合对比（ SS 与回滞电压越小越好）
（100）、（110）硅片湿法各向异性腐蚀特性研究,MEMS,光刻,湿法工艺,各向异性腐蚀,醇类。 硅基湿法各向异性腐蚀被广泛的应用于MEMS的微结构制作中,例如用来形成膜片、悬臂梁、凹槽、台面等三维结构。在许多实际的...
Logic and in-memory computing achieved in a single ferroelectric semiconductor transistor Science Bulletin ( IF 11.780) Pub Date : 2021-06-25, DOI: …
铁电材料因其具有可被外场调控的电极化状态, 以及在传感器、光电器件和信息存储器件中具有潜在应用前景, 所以一直以来都是凝聚态物理领域的研究热点. 随着微电子集成技术的飞速发展, 电子器件日益趋于微型化、集成化和多功能化. 传统块体铁电材料因受尺寸效应、界面效应等因素影响, 难以 ...
微电子所在HfO2基铁电存储器研究领域取得进展. 近日，微电子所微电子器件与集成技术重点实验室刘明院士的科研团队在 HfO 2 基铁电存储器研究领域取得了进展，提出了一种基于 Hf 0.5 Z 0.5 rO 2 （ HZO ）材料的铁电二极管（ Fe-diode ），并实现了三维集成。. 铁电 ...
报告主题：用于能量应用的铁电氧化物中的物相工程和纳米结构工程报告嘉宾：欧阳俊，教授（山东大学）时 间：2019年07月05日（周五）15.00-16.00地 点：材料学院537会议室报告人简介 欧阳俊，男，教授，博士生导师。于1999年和2005年分别获 ...
摘 要：铁电材料由铁电相转化为顺电相的临界温度被称为居里温度,是铁电材料的一个关键指标.本文使用固溶体组成元素的基本物理性质等特征对不同组分和配比的铅基钙钛矿铁电固溶体进行了统一的描述,采用岭回归、支持向量回归、极端随机森林回归等机器学习方法对铅基钙钛矿铁电固溶体的 ...
CMOS/SOI与铁电存储器（FeRAM）的工艺研究-SOI电路具有高速、低压、低功耗、抗辐照、耐高温等优点，由于SOI材料的成本较高，原来它的应用主要局限在军工、航空航天等领域来制作耐高温和抗辐照电路。随着SOI衬底制备技术的发展，SOI国片成...
期刊 全文库 学位论文库 会议论文库 年鉴全文库 学术百科 工具书 学术不端检测 ... 传统相变存储材料如无机物GST的相变温度高达500-600摄氏度,制约着器件的小型化、集成化。铁电高分子在熔点以下存在铁电相向顺电相的转变。本文首先阐明了铁电高分子 ...
Unprecedented 2D Homochiral Hybrid Lead‐Iodide Perovskite Thermochromic Ferroelectrics with Ferroelastic Switching Angewandte Chemie International Edition ( IF 15.336) …
该项集成电路先导工艺的创新研究得到国家科技重大专项 02 专项和国家重点研发计划等的资助。 图： （ a ）负电容 FinFET 基本结构；（ b-c ）三维器件沟道结构与铁电 HZO 膜层结构； （ d-e ）器件 I-V 与 SS 特性；（ f ）最新器件性能国际综合对比（ SS 与回滞电压越小越好）
（100）、（110）硅片湿法各向异性腐蚀特性研究,MEMS,光刻,湿法工艺,各向异性腐蚀,醇类。 硅基湿法各向异性腐蚀被广泛的应用于MEMS的微结构制作中,例如用来形成膜片、悬臂梁、凹槽、台面等三维结构。在许多实际的...
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铁电材料因其具有可被外场调控的电极化状态, 以及在传感器、光电器件和信息存储器件中具有潜在应用前景, 所以一直以来都是凝聚态物理领域的研究热点. 随着微电子集成技术的飞速发展, 电子器件日益趋于微型化、集成化和多功能化. 传统块体铁电材料因受尺寸效应、界面效应等因素影响, 难以 ...
微电子所在HfO2基铁电存储器研究领域取得进展. 近日，微电子所微电子器件与集成技术重点实验室刘明院士的科研团队在 HfO 2 基铁电存储器研究领域取得了进展，提出了一种基于 Hf 0.5 Z 0.5 rO 2 （ HZO ）材料的铁电二极管（ Fe-diode ），并实现了三维集成。. 铁电 ...
报告主题：用于能量应用的铁电氧化物中的物相工程和纳米结构工程报告嘉宾：欧阳俊，教授（山东大学）时 间：2019年07月05日（周五）15.00-16.00地 点：材料学院537会议室报告人简介 欧阳俊，男，教授，博士生导师。于1999年和2005年分别获 ...
摘 要：铁电材料由铁电相转化为顺电相的临界温度被称为居里温度,是铁电材料的一个关键指标.本文使用固溶体组成元素的基本物理性质等特征对不同组分和配比的铅基钙钛矿铁电固溶体进行了统一的描述,采用岭回归、支持向量回归、极端随机森林回归等机器学习方法对铅基钙钛矿铁电固溶体的 ...
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