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常亮;孙彬;徐品烈;种宝春; 通过对自动键合机送线装置的构成和原理进行研究,并结合键合工艺对送线系统进行分析,提出送线装置的结构优化方案,进而为提高自动键合机的效率和稳定性提供理论支持。2021年04期 v.50;No.289 19-22+67页 [查看摘要] [在线阅读][下载
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层间介质 (ILD)CMP工艺分析. 【摘要】： 论述了层间介质 (ILD)的类型及其在集成电路设计中的作用。. 以典型层间介质SiO_2为例,分析其CMP (化学机械平坦化)工艺过程的化学和机械作用机理,并在此基础上阐述影响CMP工艺的各项关键因素。. 结合分析得出以SiO_2作为层间 ...
PVT在同步运动控制中的应用. 王慧 黄帅. 【摘要】： 介绍了T型及S型曲线的轨迹规划,与之相对应的位置规划曲线分别是2阶和3阶多项式,尽管这些标准的规划满足点对点运动,但是对于更为复杂的位置轨迹规划却是不适应的,尤其是多轴联动,介绍了一种更为弹性的 ...
电子工业专用设备杂志电子版、《电子工业专用设备》杂志（期刊）大全。CNKI提供最全的电子工业专用设备杂志（期刊）电子版、电子工业专用设备杂志在线阅读、杂志订阅、电子杂志下载、杂志文章阅读、 …
中国最早从事可靠性研究的权威机构. 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室），又名中国电子产品可靠性与环境试验研究所，始建于1955年，是中国最早从事可靠性研究的权威机构。. 实验室可提供从材料到整机设备、从硬件到软件直至复杂大系统的 ...
1 难波进;喻德政;;微细加工现状及发展趋势[J];电子工业专用设备;1981年02期 2 海洋;;1∶1全反射投影光刻技术[J];电子工业专用设备;1979年04期 3 Noelc·Magdonard;喻德政;;未来的光刻技术及设备[J];电子工业专用设备;1983年01期 4 姚汉民,周明宝,田宏;迈向21世纪的光刻技术[J];光电工程;1999年01期
常亮;孙彬;徐品烈;种宝春; 通过对自动键合机送线装置的构成和原理进行研究,并结合键合工艺对送线系统进行分析,提出送线装置的结构优化方案,进而为提高自动键合机的效率和稳定性提供理论支持。2021年04期 v.50;No.289 19-22+67页 [查看摘要] [在线阅读][下载
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层间介质 (ILD)CMP工艺分析. 【摘要】： 论述了层间介质 (ILD)的类型及其在集成电路设计中的作用。. 以典型层间介质SiO_2为例,分析其CMP (化学机械平坦化)工艺过程的化学和机械作用机理,并在此基础上阐述影响CMP工艺的各项关键因素。. 结合分析得出以SiO_2作为层间 ...
PVT在同步运动控制中的应用. 王慧 黄帅. 【摘要】： 介绍了T型及S型曲线的轨迹规划,与之相对应的位置规划曲线分别是2阶和3阶多项式,尽管这些标准的规划满足点对点运动,但是对于更为复杂的位置轨迹规划却是不适应的,尤其是多轴联动,介绍了一种更为弹性的 ...
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中国最早从事可靠性研究的权威机构. 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室），又名中国电子产品可靠性与环境试验研究所，始建于1955年，是中国最早从事可靠性研究的权威机构。. 实验室可提供从材料到整机设备、从硬件到软件直至复杂大系统的 ...
1 难波进;喻德政;;微细加工现状及发展趋势[J];电子工业专用设备;1981年02期 2 海洋;;1∶1全反射投影光刻技术[J];电子工业专用设备;1979年04期 3 Noelc·Magdonard;喻德政;;未来的光刻技术及设备[J];电子工业专用设备;1983年01期 4 姚汉民,周明宝,田宏;迈向21世纪的光刻技术[J];光电工程;1999年01期
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