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超精密研磨加工技术作为精密、超精密加工的一种重要加工方法,日益受到重视。目前,国内外专家学者研究出很多新型的研磨技术,但是多数的研究只是针对脆硬材料进行的,对有色金属合金材料的研究相对较少。随着有色金属合金材料超精密零件的应用越来越广泛,学者们对有色金属
精密与超精密磨削的发展现状,磨削,精密和超精密,磨削机制,精密磨床。阐述了精密磨削与超精密磨削的机制,介绍了近年来精密与精密磨床的发展概况以及精密与超精密磨削技术的研究现状。在分析了精密磨...
2010 年以来，以第一作者发表 SCI 期刊文章 19 篇，其中 SCI 期刊封面文章 1 篇，超精密磨削系列成果发表于 Scripta Materialia 12 篇（ 2013 IF ： 2.968 ）。2004 年以来，以第一作者发表 SCI 期刊文章 39 篇，被 SCI 他引 123 次（ 2014 年 6 …
为了实现单晶硅反射镜高效低损伤的超精密加工, 研究了基于工件旋转法磨削原理的单晶硅反射镜超精密磨削工艺。通过形貌检测和成份测试的方法分析了该工艺采用的超细粒度金刚石砂轮的组织结构特征, 并对单晶硅进行了超精密磨削试验, 研究了超细粒度金刚 ...
姚鹏，博士，教授，山东大学机械工程学院副院长。多年来一直从事难加工材料的多能场辅助高效精密加工理论和技术研究，主要针对光学表面和结构的超精密加工技术、磨料水射流辅助高效精密磨削加工技术、激光辅助超精密磨削理论与技术、精密加工过程监测与分析技术等开展了系统研究。
12 月 2 日，教育部长江学者、大连理工大学张振宇教授为我院青年教师作题为“精密超精密加工工艺与装备”的报告。 张振宇教授主要研究方向为超精密磨削、化学机械抛光和纳米精度表面制造。获得国家科技进步一等奖 (创新团队)1 项、教育部长江学者、国家优秀青年科学基金获得者、教育部新 ...
超精密磨削硅片表层损伤检测的试验研究. 张胜利. 【摘要】： 硅片表面的完整性是影响集成电路 (IC)器件的性能、成品率以及寿命的重要因素,随着硅片直径的增大和IC线宽的减小,对硅片表层质量的要求日益增高。. 虽然硅片自旋转磨削被认为是目前加工大尺寸 ...
石英玻璃超精密磨削加工表面完整性研究,石英玻璃;;工件旋转法超精密磨削;;表面完整性;;材料去除机理,石英玻璃具有热膨胀系数低、光谱特征良好、电绝缘性高等特性,被广泛应用在航空航天、半导体通讯、激光和电学装备等领域。然而传...
2019中日超精密会议最佳论文奖（2人） 2019亚洲精密工程与纳米技术学会最佳论文奖（2人） 辽宁省优秀毕业生（1人） 大连理工大学优秀硕士学位论文（1人） 大连理工大学优秀研究生（2人）
石英玻璃超精密磨削加工的表面完整性研究. 摘要 为了实现石英玻璃的高效低损伤超精密磨削加工,研究不同粒度金刚石砂轮磨削石英玻璃的表面和亚表面质量,建立表面粗糙度与亚表面损伤深度之间的关系模型。. 通过石英玻璃磨削试验研究400#、1 500#、2 000#和5 000 ...
超精密研磨加工技术作为精密、超精密加工的一种重要加工方法,日益受到重视。目前,国内外专家学者研究出很多新型的研磨技术,但是多数的研究只是针对脆硬材料进行的,对有色金属合金材料的研究相对较少。随着有色金属合金材料超精密零件的应用越来越广泛,学者们对有色金属
精密与超精密磨削的发展现状,磨削,精密和超精密,磨削机制,精密磨床。阐述了精密磨削与超精密磨削的机制,介绍了近年来精密与精密磨床的发展概况以及精密与超精密磨削技术的研究现状。在分析了精密磨...
2010 年以来，以第一作者发表 SCI 期刊文章 19 篇，其中 SCI 期刊封面文章 1 篇，超精密磨削系列成果发表于 Scripta Materialia 12 篇（ 2013 IF ： 2.968 ）。2004 年以来，以第一作者发表 SCI 期刊文章 39 篇，被 SCI 他引 123 次（ 2014 年 6 …
为了实现单晶硅反射镜高效低损伤的超精密加工, 研究了基于工件旋转法磨削原理的单晶硅反射镜超精密磨削工艺。通过形貌检测和成份测试的方法分析了该工艺采用的超细粒度金刚石砂轮的组织结构特征, 并对单晶硅进行了超精密磨削试验, 研究了超细粒度金刚 ...
姚鹏，博士，教授，山东大学机械工程学院副院长。多年来一直从事难加工材料的多能场辅助高效精密加工理论和技术研究，主要针对光学表面和结构的超精密加工技术、磨料水射流辅助高效精密磨削加工技术、激光辅助超精密磨削理论与技术、精密加工过程监测与分析技术等开展了系统研究。
12 月 2 日，教育部长江学者、大连理工大学张振宇教授为我院青年教师作题为“精密超精密加工工艺与装备”的报告。 张振宇教授主要研究方向为超精密磨削、化学机械抛光和纳米精度表面制造。获得国家科技进步一等奖 (创新团队)1 项、教育部长江学者、国家优秀青年科学基金获得者、教育部新 ...
超精密磨削硅片表层损伤检测的试验研究. 张胜利. 【摘要】： 硅片表面的完整性是影响集成电路 (IC)器件的性能、成品率以及寿命的重要因素,随着硅片直径的增大和IC线宽的减小,对硅片表层质量的要求日益增高。. 虽然硅片自旋转磨削被认为是目前加工大尺寸 ...
石英玻璃超精密磨削加工表面完整性研究,石英玻璃;;工件旋转法超精密磨削;;表面完整性;;材料去除机理,石英玻璃具有热膨胀系数低、光谱特征良好、电绝缘性高等特性,被广泛应用在航空航天、半导体通讯、激光和电学装备等领域。然而传...
2019中日超精密会议最佳论文奖（2人） 2019亚洲精密工程与纳米技术学会最佳论文奖（2人） 辽宁省优秀毕业生（1人） 大连理工大学优秀硕士学位论文（1人） 大连理工大学优秀研究生（2人）
石英玻璃超精密磨削加工的表面完整性研究. 摘要 为了实现石英玻璃的高效低损伤超精密磨削加工,研究不同粒度金刚石砂轮磨削石英玻璃的表面和亚表面质量,建立表面粗糙度与亚表面损伤深度之间的关系模型。. 通过石英玻璃磨削试验研究400#、1 500#、2 000#和5 000 ...
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