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涂敏 青年研究员 多孔材料、MEMS气体传感器、极紫外光刻胶. 涂敏，中科院上海微系统与信息技术研究所2020 X-Lab青年研究员，独立课题组长，博士生导师。. 主要从事多孔材料微纳加工与器件集成方面的研究，迄今共发表SCI文章24篇，其中以第一作者在Nat. Mater.
超高速微纳成像 光流控微纳器件 导模共振微纳器件 表面等离子体器件 在研项目 仪器设备 超分辨率拉曼光谱成像系统 单点金刚石车床 便携式激光拉曼光谱仪 BX 51荧光显微镜 DP73 CCD 反应离子束蚀刻机 HeCd 325 激光全息平台 Kr离子激光器 HeCd 441.6 激光
微针作为一种新型经皮给药器具,在生物医学领域中有广泛的应用需求。结合UV-LIGA加工技术、湿法刻蚀技术、干法刻蚀技术和表面微加工技术等传统微电子机械系统(MEMS)加工技术,以及最近出现的3D打印技术、激光加工技术、拉延光刻技术和热压法等微针的特种加工技术,分析了国内外的微针制备的研究 ...
南京纳达超微科技有限公司 是从事植物细胞微纳米化破壁，以及各种原材料微纳米化粉碎的科技密集企业，专注于相关技术、设备、产品的研发与生产。 公司成立二十多年来，恪守“科技创新，精益求精”的宗旨，业务涵盖国内外众多领域，产品出口日本、法国等国家。
第11章 微纳米加工技术的应用. 微纳米加工技术及其应用（第三版） 作 者： 崔铮 ISBN：978-7-04-036974-8 出版时间：2013-04-17. 全书目录.
微纳电子技术杂志电子版、《微纳电子技术》杂志（期刊）大全。CNKI提供最全的微纳电子技术杂志（期刊）电子版、微纳电子技术杂志在线阅读、杂志订阅、电子杂志下载、杂志文章阅读、下载等服务。
一、 团队研究方向简介本研究团队致力于将“微纳光学结构”的新颖光学效应与传统光纤传感技术相结合，开展基础及应用基础领域的研究工作。团队总体研究思路框图如下：1. 激光微纳制造:聚焦超短激光脉冲细微加工应用领域，开展激光微纳加工关键技术研究及设备研制，并研究超快激光在激光 ...
微纳制造技术，是MEMS传感器可产品化和批量化制造的前提。11月25日，湖南先进传感与信息技术创新研究院核心实验室落成，这是我国最大最先进的微纳传感器加工实验室。
协同期刊 采编平台 中国知网 2021年09期目次 技术论坛 MEMS陀螺仪的研究现状与进展 ... ,3 000次循环充放电后依然能够保持初始比电容的80%。表明大比表面积的纳米结构能为电化学储能提供更多的反应活性位点,缩短离子和电荷的传输距离, ...
飞秒激光直写技术制备仿生微纳结构表面及多功能应用研究 doi: 10.1088/2631-7990/ab95f6 张亦元 1, 焦云龙 1,2, , , 李传宗 3, 陈超 1, , 李家文 1, 胡衍雷 1, 吴东 1, , , 褚家如 1 1 Key Laboratory of Precision Scientific …
涂敏 青年研究员 多孔材料、MEMS气体传感器、极紫外光刻胶. 涂敏，中科院上海微系统与信息技术研究所2020 X-Lab青年研究员，独立课题组长，博士生导师。. 主要从事多孔材料微纳加工与器件集成方面的研究，迄今共发表SCI文章24篇，其中以第一作者在Nat. Mater.
超高速微纳成像 光流控微纳器件 导模共振微纳器件 表面等离子体器件 在研项目 仪器设备 超分辨率拉曼光谱成像系统 单点金刚石车床 便携式激光拉曼光谱仪 BX 51荧光显微镜 DP73 CCD 反应离子束蚀刻机 HeCd 325 激光全息平台 Kr离子激光器 HeCd 441.6 激光
微针作为一种新型经皮给药器具,在生物医学领域中有广泛的应用需求。结合UV-LIGA加工技术、湿法刻蚀技术、干法刻蚀技术和表面微加工技术等传统微电子机械系统(MEMS)加工技术,以及最近出现的3D打印技术、激光加工技术、拉延光刻技术和热压法等微针的特种加工技术,分析了国内外的微针制备的研究 ...
南京纳达超微科技有限公司 是从事植物细胞微纳米化破壁，以及各种原材料微纳米化粉碎的科技密集企业，专注于相关技术、设备、产品的研发与生产。 公司成立二十多年来，恪守“科技创新，精益求精”的宗旨，业务涵盖国内外众多领域，产品出口日本、法国等国家。
第11章 微纳米加工技术的应用. 微纳米加工技术及其应用（第三版） 作 者： 崔铮 ISBN：978-7-04-036974-8 出版时间：2013-04-17. 全书目录.
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一、 团队研究方向简介本研究团队致力于将“微纳光学结构”的新颖光学效应与传统光纤传感技术相结合，开展基础及应用基础领域的研究工作。团队总体研究思路框图如下：1. 激光微纳制造:聚焦超短激光脉冲细微加工应用领域，开展激光微纳加工关键技术研究及设备研制，并研究超快激光在激光 ...
微纳制造技术，是MEMS传感器可产品化和批量化制造的前提。11月25日，湖南先进传感与信息技术创新研究院核心实验室落成，这是我国最大最先进的微纳传感器加工实验室。
协同期刊 采编平台 中国知网 2021年09期目次 技术论坛 MEMS陀螺仪的研究现状与进展 ... ,3 000次循环充放电后依然能够保持初始比电容的80%。表明大比表面积的纳米结构能为电化学储能提供更多的反应活性位点,缩短离子和电荷的传输距离, ...
飞秒激光直写技术制备仿生微纳结构表面及多功能应用研究 doi: 10.1088/2631-7990/ab95f6 张亦元 1, 焦云龙 1,2, , , 李传宗 3, 陈超 1, , 李家文 1, 胡衍雷 1, 吴东 1, , , 褚家如 1 1 Key Laboratory of Precision Scientific …
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