李小墨Lena
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学科概况 根据2015年12月研究所官网显示，中国科学院上海应用物理研究所是1981年国务院学位委员会批准的博士、硕士学位授予权单位之一。1989年，研究所设立物理学博士后科研流动站。2003年，设立核科学技术博士后科研流动站。研究所设有一级学科博士学位授权点2个，博士学位授权学科（专业）点5个，一级学科硕士学位授权点3个，硕士学位授权学科（专业）点14个（其中专业学位4个）并设有2个博士后科研流动站 。博士后科研流动站：物理学、核科学技术 学位点设置培养层次门类一级学科二级学科（专业）博士 理学 物理学 粒子物理与原子核物理 光学 无机化学 工学 核科学与技术 核技术及应用 核能科学与工程 硕士 理学 物理学 粒子物理与原子核物理 光学 化学 无机化学 高分子化学与物理 生物物理学 工学 核科学与技术 核技术及应用 核能科学与工程 信号与信息处理 光学工程 电磁场与微波技术 专业学位类别名称 专业学位领域名称 工程硕士 光学工程 电子与通信工程 核能与核技术工程 生物工程 资料来源： 学科方向 2004年，中国科学院上海应用物理研究所创新三期学科方向调整为四个： 先进光源和束线的科学与技术研究； 基于N&NBIU（核技术与纳米、生物、信息和成像、超快技术）汇聚技术的交叉科学研究； 核物理实验和理论研究； 核技术科学的应用研究。 根据2015年12月研究所官网显示，中国科学院上海应用物理研究所于1964年招收物理专业研究生2人，“文革”停止招收研究生。1978年，重新恢复招收研究生，首批招收人数为4人，均为物理专业的硕士研究生。历年来共培养硕士毕业生265人，博士毕业生230人；2008年，有在读研究生345人，其中硕士生189人、博士生156人。2007年，开始招收外国留学生，招收物理专业留学生3人。 截至2014年底，研究所共有在学研究生402人，其中硕士生195人、博士生207人）。 截至2008年7月底，研究所共招收博士后研究人员47名，其中2名为与企业博士后工作站联合培养。研究所博士后研究人员在站期间共申请到国家、中科院和上海市各类博士后科研工作资助21项，4人次获得“中国科学院优秀博士后”和“上海市优秀博士后”称号。 获奖人论文获奖名称赵杰 《相对论重离子碰撞（RHIC)实验中双轻子的产生》 2014至2015年度上海市研究生优秀成果（学位论文）奖 冯超 《高增益自由电子激光新运行机制的理论与实验研究》 2014年中国科学院百篇优秀博士学位论文 薛亮博 《反物质氦4原子核的实验观测及其产生机制研究》 2013年中国科学院百篇优秀博士学位论文 裴昊 《基于DNA的功能化纳米材料的设计及其在生物诊断中的应用》 2013年中国科学院百篇优秀博士学位论文 邓海啸 《基于谐波运行的中等能量束团X射线自由电子激光》 2012年中国粒子加速器学会 “希望杯”青年优秀论文一等奖 资料来源：
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电子专业论文参考文献
参考文献按照其在正文中出现的先后以阿拉伯数字连续编码，序号置于方括号内。以下是我和大家分享的电子专业论文参考文献，更多内容请关注毕业论文网。
参考文献篇一：
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【新智元导读】 2月25日，清华大学工程物理系唐传祥研究组与合作团队在《自然》上发表研究论文《稳态微聚束原理的实验演示》，报告了一种新型粒子加速器光源「稳态微聚束」的首个原理验证实验。与之相关的极紫外光源有望解决自主研发光刻机中最核心的「卡脖子」难题。
最现代的研究用光源是基于粒子加速器的。
这些都是大型设施，电子在其中被加速到几乎是光速，然后发射出具有特殊性质的光脉冲。
在基于存储环的同步辐射源中，电子束在环中旅行数十亿转，然后在偏转磁体中产生快速连续的非常明亮的光脉冲。
相比之下，自由电子激光器(FEL)中的电子束被线性加速，然后发出单次超亮的类似激光的闪光。
近年来，储能环源以及FEL源促进了许多领域的进步，从对生物和医学问题的深入了解到材料研究、技术开发和量子物理学。
现在，一个中德团队证明，在同步辐射源中可以产生一种脉冲模式，结合了两种系统的优点。
2月25日，清华大学工程物理系教授唐传祥研究组与来自亥姆霍兹柏林材料与能源研究中心（HZB）以及德国联邦物理技术研究院（PTB）的合作团队在Nature上发表了题为《稳态微聚束原理的实验演示》（ Experimental demonstration of the mechanism of steady-state microbunching ）的论文。
报告了一种新型粒子加速器光源「稳态微聚束」（Steady-state microbunching，SSMB）的首个原理验证实验。
该研究与极紫外（EUV）光刻机光源密切相关，有望为EUV光刻机提供新技术路线。
SSMB光源首个原理验证实验，中德团队登上Nature
同步辐射源提供短而强烈的微束电子，产生的辐射脉冲具有类似于激光的特性（与FEL一样），但也可以按顺序紧密跟随对方（与同步辐射光源一样）。
大约十年前，斯坦福大学教授、清华大学杰出访问教授、著名加速器理论家赵午和他的博士生Daniel Ratner以提出了「稳态微束」（SSMB）。
赵午教授
该机制还应该使存储环不仅能以高重复率产生光脉冲，而且能像激光一样产生相干辐射。
来自清华大学的青年物理学家邓秀杰在他的博士论文中提出了这些观点，并对其进行了进一步的理论研究。
2017年，赵午教授联系了HZB的加速器物理学家，他们除了在HZB操作软X射线源BESSY II外，还在PTB操作计量光源（MLS）。
MLS是世界上第一个通过设计优化运行的光源，在所谓的 「低α模式 」下运行。
在这种模式下，电子束可以大大缩短。10多年来，那里的研究人员一直在不断开发这种特殊的运行模式。
HZB的加速器专家Markus Ries解释说：「现在，这项开发工作的成果使我们能够满足具有挑战性的物理要求，在MLS实证确认SSMB原理」。
「SSMB团队中的理论小组在准备阶段就定义了实现机器最佳性能的物理边界条件。这使我们能够用MLS生成新的机器状态，并与邓秀杰一起对它们进行充分的调整，直到能够检测到我们正在寻找的脉冲模式」，HZB的加速器物理学家Jörg Feikes说。
HZB和PTB专家使用了一种光学激光器，其光波与MLS中的电子束在空间和时间上精确同步耦合。
这就调制了电子束中电子的能量。
「这使得几毫米长的电子束在存储环中正好转了一圈后分裂成微束（只有1微米长），然后发射光脉冲，像激光一样相互放大」，Jörg Feikes解释道。
「对相干态的实验性探测绝非易事，但我们PTB的同事开发了一种新的光学检测装置，成功地进行了探测。」
SSMB概念提出后，赵午持续推动SSMB的研究与国际合作。
2017年，唐传祥与赵午发起该项实验，唐传祥研究组主导完成了实验的理论分析和物理设计，并开发测试实验的激光系统，与合作单位进行实验，并完成了实验数据分析与文章撰写。
揭示SSMB作为未来光子源潜力的关键一步，是在真实机器上演示其机制。在新的论文中，研究人员报告了SSMB机制的实验演示。
SSMB原理验证实验示意图
实验表明，存储在准等时环中的电子束可以产生亚微米级的微束和相干辐射，由1,064纳米波长激光器诱导的能量调制后一个完整的旋转。
结果验证了电子的光相可以在亚激光波长的精度上逐次相关。
SSMB原理验证实验结果
在这种相位相关性的基础上，研究人员通过应用相位锁定的激光器与电子轮流相互作用来实现SSMB。
该图示直观地展示了如何通过激光调制电子束来产生发射激光的微束，是实现基于SSMB的高重复性、高功率光子源的一个里程碑。
有望解决EUV卡脖子难题
没有顶尖的光刻机，是我国半导体行业发展的最大瓶颈。
光刻机的曝光分辨率与波长直接相关，半个多世纪以来，光刻机光源的波长不断缩小，芯片工业界公认的新一代主流光刻技术是采用波长为13.5纳米光源的EUV（极紫外光源）光刻。
大功率的EUV光源是EUV光刻机的核心基础。简而言之，光刻机需要的EUV光，要求是波长短，功率大。
EUV光刻机工作相当于用波长只有头发直径一万分之一的极紫外光，在晶圆上「雕刻」电路，最后将让指甲盖大小的芯片包含上百亿个晶体管，这种设备工艺展现了人类 科技 发展的顶级水平。
而昂贵的EUV光刻机也正是实现7nm的关键设备，目前，荷兰ASML是全球唯一一家能够量产EUV光刻机的厂商，而由于禁令，我国中芯国际订购的一台EUV仍未到货。
如果中国大陆无法引入ASML的EUV光刻机，则意味着大陆将止步于7nm工艺。
目前ASML公司采用的是高能脉冲激光轰击液态锡靶，形成等离子体然后产生波长13.5纳米的EUV光源，功率约250瓦。而随着芯片工艺节点的不断缩小，预计对EUV光源功率的要求将不断提升，达到千瓦量级。
SSMB光源的潜在应用之一是作为未来EUV光刻机的光源。它们产生的类似激光的辐射也超出了 "光 "的可见光谱，例如在EUV范围内，最后阶段，SSMB源可以提供一种新的辐射特性。脉冲是强烈的、集中的和窄带的。可以说，它们结合了同步辐射光的优势和FEL脉冲的优势。
可以说，基于SSMB的EUV光源有望实现大的平均功率，并具备向更短波长扩展的潜力，为大功率EUV光源的突破提供全新的解决思路。
EUV光刻机的自主研发还有很长的路要走，基于SSMB的EUV光源有望解决自主研发光刻机中最核心的「卡脖子」难题。
关于作者
本文的通讯作者唐传祥教授是清华大学的博士生导师。
1992年9月－1996年3月，考入 清华大学工程物理系硕博连读。1996年3月获得工学博士学位， 博士学位论文为“用于北京自由电子激光装置的多腔热阴极微波电子枪的研究”。
1996年4月获得博士学位后，留校工作。
1996年7月 1998年6月期间，作为访问学者到德国DESY工作2年。在DESY工作期间，主要进行超导加速结构的优化及测量研究，并与J. Sekutowicz, M.Ferrario等合作提出了Superstructure的超导加速结构。
1998年6月回国后，继续在清华大学从事加速器物理、高亮度注入器、汤姆逊散射X射线源、自由电子激光、新加速原理与新型加速结构、电子直线加速器关键物理及技术、加速器应用等方面的研究。
参考资料：
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