摘 要：现如今真空技术已经在科学研究以及工业生产过程中得以广泛的利用，对真空测量的准确度的要求也越来越高，以单片机为核心的真空测控系统改变了原系统的结构复杂、故障率高以及工作的可靠性差等缺点，本文主要来介绍一下以单片机为为核心的真空测控系统的原理，工作的过程以及系统硬件、软件的设计，提高系统可靠性的有效措施。
关键词：测控系统；单片机；真空；系统可靠性
相比于传统的真空镀膜机的测控系统的系统复杂性、较高故障率等缺点，以单刀片为核心的真空测控系统则就是原系统的更新与升级。现如今真空技术已经在科学研究以及工业生产过程中得以广泛的利用，对真空测量的精确度的要求也越来越高, 电气技术,2007,6
