高折射率材料吸收特性对193+nm+HfO2SiO2Y2O3SiO2Al2O3SiO2多层膜反射特性的影响
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《光学技术》面向国内外的专业性学术刊物,CSCD核心期刊、综合影响因子0.441。光学技术主要刊登应用科学研究和工程技术研究方面的有创新性的学术论文,最新学术动态和科学研究
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