论文投稿期刊的格式是什么?格式是最基本要求,期刊投稿对格式的要求几乎是一致的,我们只要掌握了一般的格式也就基本掌握了所有学术期刊的发表格式要求了,论文发表的格式包括题目、摘要、关键词、正文内容这几个方面,每个细节都要重视起来,可能哪个环节没有注意到就会导致论文不能顺利的发表,格式看似简单,但也是最容易被忽略的部分,来看看期刊投稿对格式的一般要求:( 一 ) 题名题名又称题目或标题。题名是以最恰当、最简明的词语反映论文中最重要的特定内容的逻辑组合。1 .准确得体 要求论文题目能准确表达论文内容,恰当反映所研究的范围和深度。题要扣文,文也要扣题。这是撰写论文的基本准则。2 .简短精炼 力求题目的字数要少,用词需要精选。3 .外延和内涵要恰如其分 外延和内涵属于形式逻辑中的概念。4 .醒目 论文题目虽然居于首先映入读者眼帘的醒目位置,但仍然存在题目是否醒目的问题,因为题目所用字句及其所表现的内容是否醒目,其产生的效果是相距甚远的。(二)作者姓名和单位这一项属于论文署名问题。署名一是为了表明文责自负,二是记录作者的劳动成果,三是便于读者与作者的联系及文献检索(作者索引)。大致分为二种情形,即:单个作者论文和多作者论文。后者按署名顺序列为第一作者、第二作者厖。重要的是坚持实事求是的态度,对研究工作与论文撰写实际贡献大的列为第一作者,贡献次之的,列为第二作者,依此类推。注明作者所在单位同样是为了便于读者与作者的联系。(三)摘要论文一般应有摘要,有些为了国际交流,还有外文(多用英文)摘要。代写工程师论文它是论文内容不加注释和评论的简短陈述。其他用是不阅读论文全文即能获得必要的信息。 摘要应包含以下内容:①从事这一研究的目的和重要性;②研究的主要内容,指明完成了哪些工作;③获得的基本结论和研究成果,突出论文的新见解;④结论或结果的意义。(四)关键词关键词1; 关键词2; 关键词3; 关键词4; 关键词5 (要求5-8个关键词,各词间用分号";"隔开)(五)正文内容论文正文:(1)引言:引言又称前言、序言和导言,用在论文的开头。引言一般要概括地写出作者意图,说明选题的目的和意义, 并指出论文写作的范围。引言要短小精悍、紧扣主题。(2)论文正文:正文是论文的主体,正文应包括论点、论据、论证过程和结论。主体部分包括以下内容:a.提出问题-论点;b.分析问题-论据和论证;c.解决问题-论证方法与步骤;d.结论。①篇幅:一般在3000~5000字左右;文稿章节采用三级标题顶格排序。一级标题形式如1、2、3排序;二级标题形式为1.1、1.2、2.1、2.2…;三级标题形式为 1.1.1、1.1.2、2.1.1、2.1.2…。②符号:正文、图表中的变量都要用斜体,英文缩写、计量单位、函数名称、运算符号、括号等都要用正体, 容易混淆的外文字母及符号请注明, 文中的计量单位一律使用《中华人民共和国法定计量单位》;③插图:要有图序、图名,插图要精绘,图字要清晰;插图和照片不得用复印件,必须是精绘图和原照片;图、表应安排在正文中的相应位置上;④表格:要有表序、表名,用三线表(表格的左、右端不封),采用小数点对齐式;⑤公式:公式须用字符格式录入。(请您认真校对稿件,避免出现拼写错误、漏字、多字等问题,正确使用标点符号。)(六)参考文献来稿一定要有参考文献,限著者阅读过和论文中引用过且正式发表的出版物,未公开发表的资料请勿引用;按在文章引用的先后顺序编号;列出主要参考文献即可,一篇论文的参考文献是将论文在研究和写作中可参考或引证的主要文献资料,列于论文的末尾。参考文献应另起一页,标注方式按《GB7714-87文后参考文献著录规则》进行。
投稿信的写作格式
投稿信的写作格式与一般书信相同,只是内容侧重点不同,所写事项更明确、更单一。
(1)第一行顶格写对方的称呼,如“《××× ×》杂志编辑部"、“编辑同志”、或“×× ×编辑同志"。
(2)开头。另起一行,空两格写问候语,如“你好”、“您好"或“你们好"。
(3)正文。正文的内容应根据具体情况来写,主要是介绍自己稿件的有关情况。一般应反映出以下几方面内容:
①表示对对方刊物、栏目的关注之情,并作出诚挚、中肯的评价,切忌措辞唐突或过分溢美之词。
②如实介绍自己的有关情况。
③写明投稿的缘由和稿件的有关情况。
④希望对方对稿件提出宝贵意见。
⑤希望对方采用稿件,并适当表达谢意。
⑥希望对方及时复信,表明是否采用稿件的明确态度。
(4)结尾。另起一行,写祝敬语,如“顺问编安"之类。
(5)署名和日期。
例如:
《××××》编辑部诸同志:
你们好!
贵刊是国内学术界有影响的经济理论刊物,我一直比较关注。
近来,“知识经济’’问题已成为学术界、经济理论界探讨的热点。贵刊
在全国同类刊物中最早推出专栏,研讨这一专题,把热点问题的探讨引入较高的理论层次,功不可没。专栏所载的诸篇大作,我都仔细拜读过,受益颇多。
我也是从事经济研究工作的,平时对“知识经济”这一专题也略有涉猎,通过社会考察实践也积累了一些资料。现根据自已的粗浅认识,写了《“知识经济”初探》一文,寄给你们。不顾汗颜,也想参与专栏讨论,以求抛砖引玉。不知是否够格入选?
拙文奉上,望诸位行家斧正,对此先致以诚挚的感谢。无论如何,还望你们拨冗及时回示,并请提出宝贵意见。
顺致
编安!
××大学经济研究所研究员
×××上
×月×日
写投稿信应注意事项
(1)语言要简明扼要,把有关事项交待清楚即可。
(2)对对方刊物或栏目要评价中肯、适当,不可过分赞美讨好。
(3)语气要谦逊适度,既不可以势凌人、强行登载,也不可低声下气地乞求。
(4)行文中对自己的稿件要充满自信。表达意愿时,要态度诚恳,措辞得体。
01一、期刊发表论文的标准格式为:文章标题 作者姓名 作者单位: (包括单位全称、邮政编码)[摘 要](以摘录或缩编方式复述文章的主要内容)50~300 字[关键词](选用可表达文章主要内容的词或词组)3~8 个关键词正文参考文献:[1] [2] [3]…… (有的期刊还要求英文摘要和英文关键词)作者简介与作者联系方式02二、针对以上格式组成还须注意的是:1、标题期刊发表论文题目是一篇论文给出的涉及论文范围与水平的第一个重要信息, 也是必须考虑到有助于选定关键词和编制题录、索引等二次文献可以提供检索的特定实用信息。 论文题目十分重要,必须用心斟酌选定。有人描述其重要性,用了下面的一 句话:"论文题目是文章的一半"。(1) 准确得体要求论文题目能准确表达论文内容,恰当反映所研究的范围和深度。(2) 简短精炼力求题目的字数要少,用词需要精选。至于多少字算是合乎要求, 并无统一的"硬性"规定,一般希望一篇论文题目不要超出 20 个字.(3) 外延和内涵要恰如其分外延和内涵属于形式逻辑中的概念。 所谓外延,是指一个概念所反映的每一个对象;而所谓内涵,则是指对每一个概 念对象特有属性的反映。2、正文期刊发表论文格式要求正文篇幅一般在 2000--8000 字不等, 包括简短引言、 论述分析、 结果和结论等内容。 文中出现的外文缩写除公知公用的首次出现一律应标有中文翻译或外文全称。 文中图、表应有自明性,且随文出现,并要有相应的英文名。文中图的数量一般不超过 6 幅。图中文字、符号、坐标中的标值和标值线必须写清,所有出现的数值都应标有明确的量与单位。文中表格一律采用"三线表"。文中有关量与单位必须符合国家标准和国际标准。 用单个斜体外文字母表示 (国家标准中专门规定的有关特征值除外;如要表示量的状态、序位、条件等, 可对该单个字母加上下角标、阿拉伯数字以及"′""^"等) ,避免用中文表示。 正文章节编号采用三级标题顶格排序。一级标题形如 1,2,3,…排序;二级标题形如 1.1,1.2,1.3,…排序;三级标题形如 1.1.1,1.1.2,1.1.3,… 排序;引言不排序。3、参考文献期刊发表论文格式要求有专著(M),论文集(C),报纸文集(N),期刊文章 (J) ,学位论文(D),报告(R),标准(S),专利(P),其他未说明文章(Z)参考文献如为专著,项目包括:作者姓名. 书名. 版本. 出版地:出版者, 出版年;参考文献如为期刊,项目包括:作者姓名. 版本. 年. 月. 卷(期)~ 年. 月. 卷(期). 出版地: 出版者, 出版年;参考文献如为电子文献, 项目包括: 作者姓名. 电子文献题名. 文献出处或网址,发表或更新日期.4、作者信息包括作者简介(100 字以内)出生年月 性别 毕业院校 学历 主要研究方向。作者联系方式,包括: 地址, 邮编,电话, (含手机)E-mail 等。03三、期刊发表论文发表渠道将论文直投杂志社是作者的首选途径。但由于发表档期安排、论文需要修改和编辑部稿件堆积如山的现状, 作者要想成功及时发表往往需要借助一些发表平台。国内比较可靠的发表渠道有期刊云,发表论文写作经验丰富。特别提示论文发表格式要求虽多,但如果在平时写作中有所注意,在发表时就会有事半功倍的效果不同的期刊可能还有不同的格式要去,应具体问题具体分析
为了发表都要投稿到期刊、杂志社,这个时候论文就要经过审稿,才能决定是不是适合发表。壹品优刊网告诉大家论文审稿周期不一,核心级期刊审稿时间最长,时间大概是3-6个月
给期刊投稿一般需要遵循以下步骤:
确定投稿期刊:首先需要确定你的研究领域和研究成果所适合的期刊,可以通过学术搜索引擎或者相关学术网站查找。
阅读期刊的投稿要求和指南:不同期刊的投稿要求和指南可能有所不同,需要仔细阅读期刊的投稿要求和指南,了解期刊的主题、范围、格式和投稿流程等。
准备投稿材料:根据期刊的要求,准备好投稿所需的材料,包括论文、摘要、图表、参考文献等。
提交投稿:将准备好的投稿材料通过期刊的在线投稿系统或者邮件发送给期刊的编辑部。
等待审稿结果:期刊的编辑部会将投稿材料送至专家进行审稿,一般需要等待数周至数月不等的时间,根据审稿结果进行修改和完善。
发表文章:如果文章通过审稿并被期刊接受,期刊将会通知作者并安排发表。
01一、期刊发表论文的标准格式为:文章标题 作者姓名 作者单位: (包括单位全称、邮政编码)[摘 要](以摘录或缩编方式复述文章的主要内容)50~300 字[关键词](选用可表达文章主要内容的词或词组)3~8 个关键词正文参考文献:[1] [2] [3]…… (有的期刊还要求英文摘要和英文关键词)作者简介与作者联系方式02二、针对以上格式组成还须注意的是:1、标题期刊发表论文题目是一篇论文给出的涉及论文范围与水平的第一个重要信息, 也是必须考虑到有助于选定关键词和编制题录、索引等二次文献可以提供检索的特定实用信息。 论文题目十分重要,必须用心斟酌选定。有人描述其重要性,用了下面的一 句话:"论文题目是文章的一半"。(1) 准确得体要求论文题目能准确表达论文内容,恰当反映所研究的范围和深度。(2) 简短精炼力求题目的字数要少,用词需要精选。至于多少字算是合乎要求, 并无统一的"硬性"规定,一般希望一篇论文题目不要超出 20 个字.(3) 外延和内涵要恰如其分外延和内涵属于形式逻辑中的概念。 所谓外延,是指一个概念所反映的每一个对象;而所谓内涵,则是指对每一个概 念对象特有属性的反映。2、正文期刊发表论文格式要求正文篇幅一般在 2000--8000 字不等, 包括简短引言、 论述分析、 结果和结论等内容。 文中出现的外文缩写除公知公用的首次出现一律应标有中文翻译或外文全称。 文中图、表应有自明性,且随文出现,并要有相应的英文名。文中图的数量一般不超过 6 幅。图中文字、符号、坐标中的标值和标值线必须写清,所有出现的数值都应标有明确的量与单位。文中表格一律采用"三线表"。文中有关量与单位必须符合国家标准和国际标准。 用单个斜体外文字母表示 (国家标准中专门规定的有关特征值除外;如要表示量的状态、序位、条件等, 可对该单个字母加上下角标、阿拉伯数字以及"′""^"等) ,避免用中文表示。 正文章节编号采用三级标题顶格排序。一级标题形如 1,2,3,…排序;二级标题形如 1.1,1.2,1.3,…排序;三级标题形如 1.1.1,1.1.2,1.1.3,… 排序;引言不排序。3、参考文献期刊发表论文格式要求有专著(M),论文集(C),报纸文集(N),期刊文章 (J) ,学位论文(D),报告(R),标准(S),专利(P),其他未说明文章(Z)参考文献如为专著,项目包括:作者姓名. 书名. 版本. 出版地:出版者, 出版年;参考文献如为期刊,项目包括:作者姓名. 版本. 年. 月. 卷(期)~ 年. 月. 卷(期). 出版地: 出版者, 出版年;参考文献如为电子文献, 项目包括: 作者姓名. 电子文献题名. 文献出处或网址,发表或更新日期.4、作者信息包括作者简介(100 字以内)出生年月 性别 毕业院校 学历 主要研究方向。作者联系方式,包括: 地址, 邮编,电话, (含手机)E-mail 等。03三、期刊发表论文发表渠道将论文直投杂志社是作者的首选途径。但由于发表档期安排、论文需要修改和编辑部稿件堆积如山的现状, 作者要想成功及时发表往往需要借助一些发表平台。国内比较可靠的发表渠道有期刊云,发表论文写作经验丰富。特别提示论文发表格式要求虽多,但如果在平时写作中有所注意,在发表时就会有事半功倍的效果不同的期刊可能还有不同的格式要去,应具体问题具体分析
像 萌芽 新蕾 的好像都可以 《萌芽》投稿需知一、本刊主要栏目简介及稿件要求小说?小说家族?刊登万字左右的短篇小说为主,反映青年人的生活风貌。爱情、校园、社会、成长等。有青春气息,有完整情节。文字流畅好读。偶尔也采用出色的小中篇。类型小说:如武侠、幻想、悬疑、成人童话等形式,也属本栏目内容。散文 ?校园清泉?校园清纯故事,明快而温馨。?校园江湖?边缘和非主流,另类和反叛,有生动的事件和个性张扬的人物。?青春心事?青春期免不了的心事,或明丽,或忧伤,或隐晦,浸润在一个个小情节和生活细节中,不是空泛的倾诉,而是具体入微的描述。?青春物语?青春故事。与小说的区别在于并不着力于故事的曲折与文字的铺陈,要求更小的叙述视角以及更为精短的篇幅。情感真切。?成长记录?成长过程中最难忘珍贵,富有启迪性的场景,应该是这个栏目中最需要的内容。?第一类接触?游历文字。避免表面化,要有深入的描述。?异域传真?来自异域的第一手资料,与青春、成长有密切的关联。?虚构之刀?想象在此可自由飞翔,可变形,可荒诞。但故事的构建和形式的表达需有一定的新锐性,实验性。?我说我在?议论和叙事相兼,或以议论为主。观点鲜明犀利,事例准确有力。忌空泛,杂乱,似是而非。?咖啡吧?有点小资,有点情调,可供咀嚼,回味悠长的心情故事。?幽默小站?漫画或文字,风趣恢谐,轻松快乐,令人一笑。 纪实?纪实风?本栏目主要由本刊编辑特别策划、采写或约稿。也欢迎作者主动投稿。稿件包括两种形式。1.完整的纪实作品。2.提供素材或采访线索。稿件要求话题性、真实性。纪实作品既可以是全景式的描述,也可以小角度的开掘。社会现象,校园内外,人生百态,历史钩沉,时尚前沿,重大事件,凡人小事,题材无边界。文字叙述生动,畅达,平实,有表现力。拒绝太过华丽和文艺腔。若是素材提供需具备请专人采写的可操作性。长篇优秀的长篇小说用于本刊的 “小说连载”栏目,以及《萌芽书系》的出版。二、投稿方式1.纸张稿邮局投寄:邮寄地址:上海市巨鹿路675号萌芽杂志社,邮编200040。请在信封上标明稿件体裁(小说、散文、纪实、长篇四类选其一)以及所投栏目。2.网上投稿:投稿邮箱: 。请务必在邮件主题一栏里标明稿件体裁(小说、散文、纪实、长篇四类选其一),以便于系统自动识别分类。并请在正文部分标明所投栏目。3.因为投稿邮箱存在难以预料的不稳定性,因此如果一旦遇有网上投稿障碍,还请作者及时以纸张稿邮局投寄。三、要约本刊向投稿者要约如下:1.自投稿稿件自发出之日(以邮戳和电子邮件发送日为准)起,三月内未收到本杂志采用通知,可转投其他媒体。2.凡在本刊发表的作品,本刊享有两年专有出版权。在此期间内,任何媒体、出版物,如需转载、摘编本刊发表的作品,均须同时获得本刊授权。3.投稿者若抄袭、模仿他人作品等侵犯他人知识产权的;或者稿件内容侵犯他人名誉权、隐私权、人格权的,由投稿者承担相应法律责任,自负文责。4.本刊一律不退稿,请自留底稿。切勿一稿二投。稿件发表后,本刊即寄样刊和稿酬。5.凡在本刊发表的作品,视为投稿者已经授权本刊结集出版,本刊享有相应的汇编权。投稿者的作品由本刊汇编成书出版后,将按照著作权法规定的汇编作品稿酬标准一次性支付稿费。6.凡向本刊投稿者,除附有书面特别声明外,均视为投稿者承诺本刊上述各项要约。 新蕾的 投稿明细: 1、投稿信箱不分工接收各栏目稿件 2、恋物、心吟浅唱栏目由于杂志栏目和内容调整,暂不接受稿件了,请同学们不必再投。 3、品味栏目已改版,组稿方式改为主题式组稿,具体请阅读以下的投稿细则,稿件依然投到 蔷薇花园——朴素的字眼,有着不动声色的波澜汹涌。把那些感动你情之所致幻化成笔端最隽永的风景,无论青涩、甘美或酸楚,那些人那些事又怎能随风而逝?情感故事,与你有约。5000字以内。 故人歌——一种人物别样情。同人的世界,因有了无限可能,便风流尽现。无论是漫画的游戏的……让我们在同人小说里细细体味鲜活人物的前世来生吧。3000-5000字 寻梦廊——天马行空,笔下诡异,写出你浪漫无边的奇幻异想。奇幻、玄幻、科幻……一网打尽。1500-8000字 夜迷城——怪诞、灵异、惊悚、奇情……一场颠覆传统的脑力激荡和文笔秀你准备好了吗?1500-5000字 璇玑图——剥丝抽茧,山水渐露,表象的外衣下是赤裸的真相,用推理打碎一切悬念。8000字以内。 精品——摘撷睿智隽永的故事美文,展示文图俱佳的漫画短篇。故事每篇1000-5000字。漫画故事稿请以16P内为佳。 小说连载——故事性文学性俱佳的长篇小说佳作。内容不限,长而不赘,言语有味。每篇12000-20000字。 松鞘月——江湖风云、侠客柔情,剑走偏锋,要的是区别于传统武侠的新武侠。篇幅以5000字以内为佳。 卷首——故事性哲理性惧佳的千字美文。 要求未发表过。漫友有修改权。 稿件不要同时发往多个信箱,造成资源浪费。 今日起各小说栏目稿件部分信箱,所有稿件以下邮箱皆可接受处理 魔名 淳子 天蓝的蓝 (回复“备审”的文章,是通过初审还没最后决定的稿子,最后经众小编“会审”及主编“终审”决定稿件是否采用) 来稿注明姓名、笔名、地址、邮政编码、电话、QQ、或任何方便联系的东西。 画稿投稿信箱 ★其他栏目(请注意,恋物和心吟两个板块已暂停,目前不接受稿件中) 恋物有声 分2个版块, 一个是恋物小故事,心情独白也可,围绕某件“物品”,展开。1000-1200字,尽量配图,实物照片最佳。 声掠影: 品味改版为主题式,投稿请自定主题,每则影评不超过500字,其他评论介绍不超过400字,以短小精辟为主。总字数2500字,或5000字。其他具体要求请参考本刊内容。 不再接受单篇评论投稿。请互相转告。 品味栏目的投稿地址为: 心吟浅唱 1200字左右,有完整的故事情节,与歌曲相联系,风格清新灵动。 投稿信箱 另外,注意,字数少于1000是没有稿费的。所以你写出来能为我所用的文字没有超过1000,就只有样书。 09年9月改版之后“STORY100”征稿启事我们面对的是重生与变身后的新世界。一切都似曾相识却又截然不同。这个空白的世界,让我们和你们一起来填满吧。未完结今日的你仍然意犹未尽,那便让我们期待来日的重逢吧。来月此时,不见不散。让一次次的再会酝酿成最美的诗篇。长篇小说连载,每篇12000——20000字。情非得已化为泡沫的和藏在心中的,延伸向未来的和指向往日的,飞舞着的和坠落的,残缺的和破碎的。一切的一切,只因情非得已。校园小说,篇幅5000——8000字为佳。游园迷梦欢迎来到梦的世界。这里是真实亦是虚妄,是喜亦是悲,一切都取决于你们的心和幻想罢了。古装&幻想小说,篇幅5000——8000字为佳。新纪元或许此刻他们仍然是陌生人,但是当他们背过身去,你会发现闪耀在他们背后的星光。潜力新人在此出没。投稿须知1、所有来稿均需为首发稿。文稿仅接收电子文档形式,不收打印或手写稿。稿酬为千字60元起。敬请注明:笔名、真实姓名、联系地址、邮政编码(有电话和E-mail、OICQ更佳),以便联系。需要退稿者请自备贴足邮票写好地址的回邮信封。2、邮寄稿三个月内没有收到回复、电子稿一个月内没有收到回复者,有权将稿件另行处理。3、本刊对来稿保留修改权,不同意者请预先声明。4、来稿请在信封左下角或电邮标题处标注所投栏目名。5、稿件一经采用,即付优酬。此征稿启事长期有效。投稿地址:广州市邮政专业信箱1488号“STORY100”编辑部 邮编:510060投稿信箱:(魔名)(博丽冷夜)(淳子)S101投稿细则及众编信箱(4月24日更新) 开版之初,先作个自我介绍 同学们好,我是四月(也就是顾天蓝)#_# 身份为〈新蕾·STORY101〉编辑。 因为之前身为S100的编辑,已经在其版面里出现很多次了,相信同学们对我不是太陌生-0- 我的邮箱未变,依旧是在上半月使用的 也就是洋芋公布的那个。 我会继续努力,希望大家支持我*_* 《新蕾·STORY101》投稿细则 纯真年代 此栏目做为“承上启下”之作用。选稿标准与上半月“蔷薇花园”雷同。所以栏目不再做多要求。清纯动人的爱情稿件即可。背景不限。 篇幅8000字以内为佳。 倾城之恋 现代都市言情。情节要曲折、出人意料。时尚华丽或隽永动人。 篇幅10000字以内为佳。 异度空间 奇幻或诡异题材。以现代、未来背景为主要选取方向。推理、惊怵,总之非主流类情感稿件均可投稿。 篇幅10000字以内为佳。 暗香浮动 古代稿。故事要新颖。避免重复常见题材。情节曲折些,看开头能猜到结尾的稿子,文字再华丽也是没有用的。仍是以爱情为主。 篇幅8000字以内为佳。 卷首 “麻雀虽小五脏俱全”,700字以内的精短故事难道不能波澜起伏、扣人心弦?优美精炼的语言,引人静思的寓意也同样不可或缺。 S101各小编投稿信箱 四月 塔罗 一尘 画稿投稿信箱 关于投稿,以及投稿后的查询问题,可以在下面发贴询问-0- 附: 如何给“STORY101”投稿 1,逐个栏目来说明一下投稿的注意事项 [倾城之恋] 栏目名称既然有“倾城”二字,文章自然要有一定的成熟度,然而也不可过度,成人、敏感、禁忌话题文中尽量避免出现(如果非写不可,或是文章中心在此,那么语言隐晦,一代而过,把握好尺度)。也就是说,这个成熟是建立在思想以及语言的层面上的。 [纯真年代] 这个栏目与上半月的“蔷薇花园”相似,没什么可说的。篇幅较之上半月略长,因此全篇的整体性与故事的曲折度、细节的饱满度也随之增强。 [异度空间] 稚嫩的童话式及漫画同人类不要。 故事寓意应有深意,可供人回味。 天马行空,匪夷所思的题材,只要心思缜密,全局安排妥当,便是符合栏目要求的。 至于吸血鬼、前世今生、鬼魂之说……暂且免了吧,这类题材太过显而易见,读来已经没什么新鲜感。当然我不是绝对拒绝这些题材,只要能写得出众,别具一格,也是可以为之。 [暗香浮动] 这个栏目比较容易把握。古代稿,语言亦是要古色古香。情节曲折离奇的便可。 青楼艺妓、杀手……之类题材见得太多,毫无新意,不甚可取。 2,投稿时请选定一个编辑的邮箱,不要再投往他处。以免造成编辑们的重复劳动。 况且一个作者跟多个编辑,不合规矩。如果你的投稿被选中,都不知道该算谁的,难免造成纷扰。 3,一般我回复投稿邮件时都是言简意赅。而且会说明被退稿的原因。如果只说“不合适本刊”便遭退稿命运的,就不用再来询问,“不合适”已经是最大的理由了。 投稿时可以用附件也可以直接粘贴。题目、笔名、联系方式请逐一写好,以免稿件选中却没有作者具体信息。这一点很重要,因为很多同学都是长久才上一次网的,逮到不容易。 还有,非常重要的一点,如果是以WORD文档写稿,请用宋体五号字,黑色,以免造成编辑的阅读困难。毕竟每天对着电脑时间太长,看到“花样百出”的文字眼睛会很不爽。
你参考一下吧《机械设计与研究》主办单位:上海交通大学
该刊被以下数据库收录:
JST日本科学技术振兴机构数据库(日)(2013)
中国科技论文统计源期刊(2015-2016年度)
CSCD中国科学引文数据库来源期刊(2015-2016年度)(含扩展版)
北京大学《中文核心期刊要目总览》来源期刊:2014年版
大刊?我就当稿费高的就是大刊了。楼主给我的感觉是和机电一样的写手级别吧。呵呵……说正事要紧。校园类《花火》A、B版 千字100元,编辑很多,一般A版跟 夏七夕 邮箱: 没有回复,但是过了初审会有回复的。会主动加亲的QQ。B版跟 正直的松小树 邮箱:(飞魔幻和飞言情都收,稿费千字80)同上米过就米回复。还有《男生女生》金、银版,千字100元,跟的编辑也多我跟的是四叶草姐姐 邮箱 三天内会回复初审。一般金版(魔幻、悬疑)20号截稿,银版(校园)10号截稿还有很多千字80的校园杂志就不写了。如果有需要可以PM我,我是一个小写手。(*^__^*) 嘻嘻……我有开百度HI的。青春小说类《最小说》这个小四的杂志不用说了。《漫女生》饶雪漫主笔的杂志,稿费千字150(MS现在降了是120,也有说的100的,不是很明白,因为稿子看质量定的。)编辑跟今惜,邮箱我忘了,楼主可以自己搜索一下。《知音女孩》故事版、校园版和《知音》是一家的。稿费很高3000字内,450——600块一篇。我跟德芙的,她是个很好的编辑哟。邮箱样稿和约稿函请见:成人杂志最红的是《知音》千字千元。最牛的杂志了。我米写过,因为怕死无全尸。亲可以谢谢。邮箱是:《打工》也是《知音》家的杂志《闺房》这个杂志好过稿一点,稿费千字150。邮箱 发个约稿函给你看看《闺房》下半月(蜜糖版)约稿函杂志定位:给所有在恋爱中或者向往恋爱的女人,满足女人对爱情的所有幻想。宗旨:爱情,是所有女人的结和劫。滚滚红尘中,哪个女人不曾爱过,哪个女人不曾为爱痴心,为爱疯狂,为爱留下,屡屡创伤?那么,我们的杂志,就是给她们,爱的感觉,爱的氛围,爱的幻想,爱的。卷首:每期一个与诗词有关的荡气回肠的爱的故事。可以是古代的,也可以是现代的,但必须是轰轰烈烈的是历史上曾经发生过或者有名的传说,并一定有相关诗词。比如说陆游与唐婉,关盼盼和张愔,要有震撼人心的事件,要有死去活来的感觉。看完后要让读者,羡慕,嫉妒,憧憬,感动。可把爱情观点溶入。诗词可以单独列出来或者将其中最有名的诗句列出来,并注释其含义。1000字以内。版权页:每期封面上有一个小别号,在版权页上讲一个小小的与别号有关的小故事或小知识。比如如果是天鹅号,就可以写写天鹅是怎么对配偶至死不渝的。200字。每期的封面上可以有一句善意提醒,是句经典的话,比如:纵使伤心,也不要流泪,因为你不知道有谁会爱上你的笑容。名人蜜糖坊:名人不为人知的爱情、婚恋故事。温暖、伤情、浪漫、家常都可以。3000-3500字。爱情痕迹夜色倾城:性感小说,可以很情色,也可以很幽默,可以令人心碎,可以生离死别,也可以让人温暖,但一定要时尚性感。字数限定:5000字以内。零下50度:都市爱情故事。写都市里的纷扰、挣扎、欲望而生的残酷爱情,沿袭《闺房》的风格。字数限定:5000字以内。幻城时光:悬疑、悬幻类。类似于郭敬明小说的风格。语言要非常非常唯美,非常非常打动人。3000-4500字。薄凉之恋:一些爱情,因为世俗,让人伤感。因为人与人的差异而交错,因为人与人的误会而分开。这个故事,就是写爱情里的薄凉的。类似于雪小禅稿子的风格。字数:3500-4500字。栀子花开:与青春岁月有关的爱情故事。有些淡淡的校园感觉和暗恋感觉的爱情故事,读完有淡淡的伤感、惋惜和叹息。类似于安妮宝贝或者宁子的稿子。3000-4500字。阳光背后:口述的关于少女的经历的小故事。1000字左右。青春里的呐喊:青春隐私故事。要真实,感人,现场感强,可以与性有关,但是一定不能色情。3000-4500字。爱情蜜谋(本版块编辑独立完成,不接受投稿)新鲜线人:最前卫时尚流行的一类人。组成:故事、点评、知识链接,名词解释等。情敌CLUB:与情敌有关的种种。用故事的形式讲出来。可以讲计策,也可以讲感情,或者情敌教会自己的人生道理。身体宝贝:女孩子最想知道的生理知识。辣妹信箱:关于情感的问答,回答要犀利幽默,让对方在刺痛中醒悟。魔法苹果:星座、塔罗牌、解梦等。分在各栏目中。淑女课堂:教女孩子礼仪知识的栏目。奢华传说:教给女孩子名牌知识、奢侈品常识或传说故事。)甜蜜测试:与爱有关的测试。穿插在文章中间。奇情乐园:动物之间忠贞不渝的、有趣的爱情,奇怪的爱情故事资讯,新闻等。绯言绯语:议论明星的最新情事动向的栏目。幽默风趣调侃,博人一笑,娱乐大众。以上稿件需原创,稿费千字150元。稿费发放及时,请大家多多赐稿编辑:朱颜晓镜 投稿信箱: 联系方式:115026987(已满) 979564373(请注明:作者) 样稿博客: 稿酬标准:150/千字 截稿日期:每月13日 28号左右出终审结果还有《尤物》杂志也好过稿的,稿费千字100——300千字。杂志简介:《尤物》是一本定位在18—30岁女性之间的关注女人世界、女人梦想的大型都市女性叙事读本。为河北省《女子世界》杂志的下半月刊,全国统一刊号:CN13-1034/C。声明:子衿和沁源由于工作变动,已经离开《尤物》。请她们名下的写手与我联系!谢谢!稿费标准:千字100——300元,视不同等级而定。 发放日期:见刊后两个月内。第一板块:非常倾诉私密稿件:每期6——8篇。每篇2P,各4000字内。以第一人称讲述婚姻、爱情、家庭、生活中不为人道的隐私。要求选题新颖,故事性强,注重心理描写(注意性描写不要太直露)第二板块:时尚情感情动瞬间:2P。4——5篇,每篇400——800字。令人感动的细节、使人在情感上产生共鸣的瞬间。可以是爱情,亲情,友情等。惊声尖叫:2P,1篇,3800字左右。要求:注意气氛渲染,故事有悬念,摒弃太过血腥描写。经典爱情:令人感动的现世爱情纪实故事。2P,1篇。其余四篇:各4000字内的爱情爱情故事。要求文字要么唯美,要么沉痛,要么浪漫。第三板块:人物稿尤物说事:本刊重头纪实,5000字内,2——3 P,具有离奇色彩或警示意义的故事。可以与当下热点联系起来,情节要引人入胜,以第三人称写。零度尤物:2P,1800字内。另类的出位的边缘的女性人物。可以是搞艺术的,也可以是其他。其他板块:卷 首:1P。600——800字。有关两性情感的具有一定哲理性小故事。黑白档案:2P。情感、性方面不同寻常的经历。灰色调,第一人称叙述。青涩祭语:1P。青春年少时发生的有关身体,情感等带有私密性质的故事。绝对实录:2P。带有纪实气质、讲述女性情感私密性质的故事,要求文字朴实。尤物话吧:2P,每篇800字,共4篇左右。讲述女人观点,忌纯粹的说理。网事如烟:1P,2篇。800字以内。讲述网恋、网络中遇见的情感经历。特别提示:1.每月20号截稿,5号定稿,请作者注意时间。2.请在文头标明所投栏目,字数。3.稿件后务必注名自己的真实姓名、通讯地址、电话、EMAIL、QQ号等,以便及时联系。4.严禁剽窃,抄袭,网上下载,一旦发现稿酬全无,请勿一稿多投,也不要同时投几个编辑。编辑:流云邮箱:以上都是口碑稿费都很好的杂志,还有很多,我就不写了。因为不知道楼主喜欢写什么样的就不盲目乱写,耽误大家的时间了。韩式什么的千字40多点的就不写了,那些小杂志怕楼主看不上眼哈。大家都是写手以后可以多多交流。如楼主是大作家,就恕我冒昧了哈!
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哪个杂志?什么类型?
01一、期刊发表论文的标准格式为:文章标题 作者姓名 作者单位: (包括单位全称、邮政编码)[摘 要](以摘录或缩编方式复述文章的主要内容)50~300 字[关键词](选用可表达文章主要内容的词或词组)3~8 个关键词正文参考文献:[1] [2] [3]…… (有的期刊还要求英文摘要和英文关键词)作者简介与作者联系方式02二、针对以上格式组成还须注意的是:1、标题期刊发表论文题目是一篇论文给出的涉及论文范围与水平的第一个重要信息, 也是必须考虑到有助于选定关键词和编制题录、索引等二次文献可以提供检索的特定实用信息。 论文题目十分重要,必须用心斟酌选定。有人描述其重要性,用了下面的一 句话:"论文题目是文章的一半"。(1) 准确得体要求论文题目能准确表达论文内容,恰当反映所研究的范围和深度。(2) 简短精炼力求题目的字数要少,用词需要精选。至于多少字算是合乎要求, 并无统一的"硬性"规定,一般希望一篇论文题目不要超出 20 个字.(3) 外延和内涵要恰如其分外延和内涵属于形式逻辑中的概念。 所谓外延,是指一个概念所反映的每一个对象;而所谓内涵,则是指对每一个概 念对象特有属性的反映。2、正文期刊发表论文格式要求正文篇幅一般在 2000--8000 字不等, 包括简短引言、 论述分析、 结果和结论等内容。 文中出现的外文缩写除公知公用的首次出现一律应标有中文翻译或外文全称。 文中图、表应有自明性,且随文出现,并要有相应的英文名。文中图的数量一般不超过 6 幅。图中文字、符号、坐标中的标值和标值线必须写清,所有出现的数值都应标有明确的量与单位。文中表格一律采用"三线表"。文中有关量与单位必须符合国家标准和国际标准。 用单个斜体外文字母表示 (国家标准中专门规定的有关特征值除外;如要表示量的状态、序位、条件等, 可对该单个字母加上下角标、阿拉伯数字以及"′""^"等) ,避免用中文表示。 正文章节编号采用三级标题顶格排序。一级标题形如 1,2,3,…排序;二级标题形如 1.1,1.2,1.3,…排序;三级标题形如 1.1.1,1.1.2,1.1.3,… 排序;引言不排序。3、参考文献期刊发表论文格式要求有专著(M),论文集(C),报纸文集(N),期刊文章 (J) ,学位论文(D),报告(R),标准(S),专利(P),其他未说明文章(Z)参考文献如为专著,项目包括:作者姓名. 书名. 版本. 出版地:出版者, 出版年;参考文献如为期刊,项目包括:作者姓名. 版本. 年. 月. 卷(期)~ 年. 月. 卷(期). 出版地: 出版者, 出版年;参考文献如为电子文献, 项目包括: 作者姓名. 电子文献题名. 文献出处或网址,发表或更新日期.4、作者信息包括作者简介(100 字以内)出生年月 性别 毕业院校 学历 主要研究方向。作者联系方式,包括: 地址, 邮编,电话, (含手机)E-mail 等。03三、期刊发表论文发表渠道将论文直投杂志社是作者的首选途径。但由于发表档期安排、论文需要修改和编辑部稿件堆积如山的现状, 作者要想成功及时发表往往需要借助一些发表平台。国内比较可靠的发表渠道有期刊云,发表论文写作经验丰富。特别提示论文发表格式要求虽多,但如果在平时写作中有所注意,在发表时就会有事半功倍的效果不同的期刊可能还有不同的格式要去,应具体问题具体分析
期刊发表论文对格式要求往往比较严格,对于常常只注重论文内容不注意形式的作者们来说, 期刊发表论文的格式要求直接影响编辑的审稿印象和成功通过与否,显得格外的重要。 期刊发表论文的格式要求会根据不同的期刊会有所不同, 但是绝大部分都是一样的,所谓万变不离其宗,只要掌握了论文发表的基本格式,就算期刊编辑有 再复杂严格的格式要求,也能轻松搞定,让论文投递更加有把握。 一、期刊发表论文的标准格式为:文章标题 作者姓名 作者单位: (包括单位全称、邮政编码)[摘 要](以摘录或缩编方式复述文章的主要内容)50~300 字 [关键词](选用可表达文章主要内容的词或词组)关键词正 文 参考文献:[1] [2] [3]…… (有的期刊还要求英文摘要和英文关键词) 作者简介与作者联系方式 二、针对以上格式组成还须注意的是:1、标题 期刊发表论文题目是一篇论文给出的涉及论文范围与水平的第一个重要信息, 也是必须考虑到有助于选定关键词和编制题录、索引等二次文献可以提供检索的特定实用信息。 论文题目十分重要,必须用心斟酌选定。有人描述其重要性,用了下面的一 句话:"论文题目是文章的一半"。 (1) 准确得体 要求论文题目能准确表达论文内容,恰当反映所研究的范围和深度。(2) 简短精炼 力求题目的字数要少,用词需要精选。至于多少字算是合乎要求, 并无统一的"硬性"规定,一般希望一篇论文题目不要超出 20 个字.(3) 外延和内涵要恰如其分 "外延"和"内涵"属于形式逻辑中的概念。 所谓外延,是指一个概念所反映的每一个对象;而所谓内涵,则是指对每一个概 念对象特有属性的反映。2、正文 期刊发表论文格式要求正文篇幅一般在 2000--8000 字不等, 包括简短引言、 论述分析、 结果和结论等内容。 文中出现的外文缩写除公知公用的首次出现一律应标有中文翻译或外文全称。 文中图、表应有自明性,且随文出现,并要有相应的英文名。文中图的数量一般不超过 6 幅。图中文字、符号、坐标中的标值和标值线必须写清,所有出现的数值都应标有明确的量与单位。文中表格一律采用"三线表"。 文中有关量与单位必须符合国家标准和国际标准。 用单个斜体外文字母表示 (国家标准中专门规定的有关特征值除外;如要表示量的状态、序位、条件等, 可对该单个字母加上下角标、阿拉伯数字以及"′""^"等) ,避免用中文表示。 正文章节编号采用三级标题顶格排序。一级标题形如 1,2,3,…排序;二级标题形如 1.1,1.2,1.3,…排序;三级标题形如 1.1.1,1.1.2,1.1.3,… 排序;引言不排序。 3、参考文献 期刊发表论文格式要求有专著(M) ,论文集(C) ,报纸文集(N) ,期刊文章 (J) ,学位论文(D) ,报告(R) ,标准(S) ,专利(P) ,其他未说明文章(Z) 参考文献如为专著,项目包括:作者姓名. 书名. 版本. 出版地:出版者, 出版年;参考文献如为期刊,项目包括:作者姓名. 版本. 年. 月. 卷(期)~ 年. 月. 卷(期). 出版地: 出版者, 出版年; 参考文献如为电子文献, 项目包括: 作者姓名. 电子文献题名. 文献出处或网址,发表或更新日期.4、作者信息 包括作者简介(100 字以内)出生年月 性别 毕业院校 学历 主要研究方向。作者联系方式,包括: 地址, 邮编,电话, (含手机)E-mail 等。三、期刊发表论文发表渠道 将论文直投杂志社是作者的首选途径。但由于发表档期安排、论文需要修改和编辑部稿件堆积如山的现状, 作者要想成功及时发表往往需要借助一些发表平台。国内比较可靠的发表平台有期刊云,平台上有1万本学术期刊,10万期刊编辑,15万论文约稿人、润色人,24小时在线,提供优质的论文发表服务,发表论文写作经验丰富。参考来源:期刊云平台,里面有详细的期刊投稿发表等方面的内容,有时间的话可以去看看。
说实话,核心很难发的。
◆稿件内容应有较高学术水平,有创新点,要求语言流畅,逻辑关系明确。在不影响基本思想表述完整性的前提下,请尽量精炼语句、精简图、表和公式、简化推导和证明过程。◆全文字数应控制在8000字以内,包括图、表、公式中出现的字符。应尽量简练文字,只给出主要公式、图、表,推导部分尽量用参考文献加注的方式给出。◆文章题目不超过20个汉字(每两个英文字母为一个汉字),作者署名人数不超过4人。同时要求提供相应的英文题目和作者的汉语拼音。要求给出作者单位的标准译名、单位所在地和邮政编码。◆要求中、英文摘要以提供文献内容的梗概为目的,不加评论和补充解释,简明、确切地记述文献的重要内容。内容应包括研究目的、方法、结果和结论等,并应尽量反映文章的主要信息,结论最好能量化和具体化。摘要最好控制在200~300字,英文摘要应与中文摘要对应。摘要、引言、结论3者不能重复。要求同时给出3~5个中英文关键词。◆所投稿件主体应包括:①引言;②原理与设计;③实验:一定要有实际实验主电路的详细参数,波形、过程、结果;④结论。◆基金项目及重大科研攻关项目:国家基金和科研项目要求中英文对应,只列出省部级及以上科研和基金项目,请注明名称并提供编号。◆要求提供第一作者的简介,包括:姓名(出生年-)、性别、籍贯、学历或职称以及主要研究方向。◆图形符号及标注符号应按国标规定的画、写,波形图应注明纵横坐标的物理意义,物理量单位及每格多少,并标出原点。两条以上的曲线,应注明每条曲线代表的含义。◆文章最后给出主要参考文献,所引文献必须是有刊号的正规出版物,并应在文中引用处加标注。具体格式请参照模板。◆编辑部有权对稿件做必要的删改。稿件一经发表,即致稿酬,并赠送刊物两册。◆我刊已加入“中国学术期刊(光盘版)”、“中国期刊网”、“万方数据系统科技期刊群”等数据库,我刊付给论文作者的稿酬中已包括上述数据库的稿酬,如作者不同意将文章纳入上述数据库,请来函声明。◆投稿作者请提供手机或固定电话号码、工作单位、通讯地址等,以方便联系。
半导体制造设备和材料是半导体行业最上游的环节。目前来看,集成电路设备制造是中国芯片产业链中最薄弱的环节。经过20多年的追赶,中国与世界在芯片制造领域仍有较大差距。虽然中国在该领域整体落后,但刻蚀机方面已在国际取得一席之地。
全球半导体设备市场的后起之秀
随着近些年 社会 对集成电路的重视和大批海外高端人才的回归,我国的集成电路在这几年出现了飞速的发展。在IC设计(华为海思)、IC制造(中芯国际)、IC封测(长电 科技 )、蚀刻设备(中微半导体)上出现了一批批优秀的企业。
1、半导体设备
我们的主角中微半导体所在的领域就是半导体设备细分行业,这个行业主要有两种半导体设备,一是光刻机,一个是刻蚀机。中微是以刻蚀机为主要设备的供应商,去年12月公司自主研制的5nm等离子体刻蚀机正式通过台积电验证,将用于全球首条5nm制程生产线。
芯片,这个从前被戏称为:除了水和空气,其他都是进口的行业。最近中美贸易战的焦点就是在芯片领域,美国政府对华为的封锁就是下令美国供应商没有经过国会批准不准买给华为芯片。这也是我们非常气愤的地方,为什么中微半导体有了最先进的设备还是会受人制肘呢?
主要是我国的短板在于光刻机,与国外先进技术有非常大的差距。为什么刻蚀机技术那么好,不能弥补这个短板吗?这就是光刻机和蚀刻机的不同,有一部分人把蚀刻机与光刻机搞混。其实两者的区别非常的大,光刻机是芯片制造的灵魂,而蚀刻机是芯片制造的肉体。
光刻机把电路图投影到覆盖有光刻胶的硅片上面,刻蚀机再把刚才画了电路图的硅片上的多余电路图腐蚀掉。光刻机把图案印上去,然后刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案(或者没有图案)的部分,留下剩余的部分就是集成电路。所以说这是两个过程要用到的设备,而且这两个过程是连续的。
我国光刻机的最高水平是上海微电子的90nm制程,世界顶尖的光刻机是ASML的7nm EUV光刻机,ASM已经开始研制5nm制程的光刻机。相对来说,我国在光刻机制造领域与国际先进水平有很大的差距,高端光刻机全部依赖进口。只能说我国的刻蚀机技术领先,中微半导体的介质刻蚀机、硅通孔刻蚀机位于全球前三。但是在整个产业链的产能和技术上,与一些大型的企业差距非常的大,所以在中美贸易战中显得很吃亏。
那我们说完了中微半导体这个单独的行业领域,现在放眼整个行业,来看看半导体设备到底在这个行业中扮演者什么角色?
2、半导体产业
半导体的发展是越来越集成化,越来越小。从早期的电子管到现在的7nm器件,一个小小的芯片上需要有几百个步骤和工艺,显示出高端技术的优越性。也正是这样的行业特点,导致整个行业非常依赖技术的创新。而半导体设备是制作芯片的基石,没有这一块芯片不可能出现。
可以看到虽然产值低,但是缺这个还真的没办法发展下游。这也是贸易战在芯片领域为什么大打出手的原因,没有先进的技术,很难发展非常广大的信息系统。可以说这一行创造的价值并不高,但是不能缺少,是高端技术的积累。
大国重器:7nm芯片刻蚀机龙头
在技术含量极高的高端半导体产业中,能与美欧日韩等国际巨头同台较量的中国企业凤毛麟角,而中微半导体是其中一家。中微半导体是一家以中国为基地、面向全球的高端半导体微观加工设备公司,主要从事半导体设备的研发、生产和销售。而要了解中微这家公司,先不得不介绍一下公司创始人尹志尧。
尹志尧是一个颇具传奇色彩的硅谷技术大拿。
1980年赴美国加州大学洛杉矶分校攻读物理化学博士,毕业后进入英特尔中心研究开发部工作,担任工艺程师;1986年加盟泛林半导体,开发了包括Rainbow介质刻蚀机在内的一系列成功的等离子刻蚀机,使得陷入困境的泛林一举击败应用材料,跃升为全球最大的等离子刻蚀设备制造商,占领了全球40%以上的刻蚀设备市场。
以此同时,泛林与日本东京电子合作,东京电子从泛林这里学会了制造介质等离子体刻蚀机,复制其Rainbow设备在日本销售,后来崛起为介质刻蚀的领先公司。
1991年,泛林遭老对手美国应用材料挖角,尹志尧先后历任应用材料等离子体刻蚀设备产品总部首席技术官、总公司副总裁及等离子体刻蚀事业群总经理、亚洲总部首席技术官。
为了避免知识产权风险,尹志尧从头再来,用不同于泛林时期开发的技术,研发出性能更好的金属刻蚀、硅刻蚀和介质刻蚀设备,应用材料再次击败泛林,重返行业龙头地位,到2000年,应用材料占据了40%以上的国际刻蚀设备市场份额。
目前全球半导体刻蚀设备领域三大巨头——应用材料、泛林、东京电子,都与尹志尧的贡献密切相关。
2004年8月,已年届六旬的尹志尧带领15名硅谷资深华裔技术工程师和管理人员回国,创立了中微半导体,并在短短数年之间崛起为全球半导体设备领域的重要玩家。
中微从2004年创立时,首先着手开发甚高频去耦合的CCP刻蚀设备Primo D-RIE,到目前为止己成功开发了双反应台Primo D-RIE,双反应台Primo AD-RIE和单反应台的Primo AD-RIE三代刻蚀机产品,涵盖65nm、45nm、32nm、28nm、22nm、14nm、7nm到5nm关键尺寸的众多刻蚀应用。
从2012年开始中微开始开发ICP刻蚀设备,到目前为止己成功开发出单反应台的Primo nanova刻蚀设备,同时着手开发双反应台ICP刻蚀设备。公司的ICP刻蚀设备主要是涵盖14nm、7nm到5nm关键尺寸的刻蚀应用。
这里面看起来是几个似乎不起眼的数据,但里面蕴含了满满的技术含量。而中微到底是否掌握了5nm刻蚀技术,一时间众说纷纭。如今,中微半导体与泛林、应用材料、东京电子、日立4家美日企业一起,组成了国际第一梯队,为全球最先进芯片生产线供应刻蚀机。
随着大规模集成电路制造朝着更高集成度、更小关键尺寸以及更大晶圆半径的方向发展,对刻蚀工艺的精度要求越来越高,所以湿法刻蚀的图形保真性不理想、刻蚀线宽难以控制、表面粗糙等不适用于小尺寸器件刻蚀工艺,进而催生出 干法刻蚀工艺,本文主要为自身接触设备当今主流干法刻蚀机--RIE 的相关知识记录 。 在低气压及放电管两极电场的作用下,电子和正离子分别向阳极、阴极运动,并堆积在两极附近形成空间电荷区,但正离子的漂移速度远小于电子,所以正离子空间电荷区的电荷密度比电子空间电荷区大得多,使得整个极间电压几乎全部集中在阴极附近的狭窄区域内, 此时会产生一种现象--辉光放电 。 RIE刻蚀机又称反应离子刻蚀机,英文名为ReactiveIonEtching,作为干法刻蚀的一种,主要由真空系统、供气系统、控制系统、计算机操作系统等组成。其利用刻蚀气体进行辉光放电的等离子体进行刻蚀,低真空下刻蚀气体在高频电场的作用下产生辉光放电,使气体分子或原子发生电离,形成等离子体,在等离子体中包含正离子、负离子、游离基和自由电子,同时也包含着物理性的离子轰击,加速反应速率、快速撞击表面生成物,有选择地把没有被掩蔽的材料去除,从而得到和掩蔽层完全相同的图。内部真空系统如图一所示,一般为圆柱形真空室,托盘位于真空室的底部,上部阳极接地,底部接13.56MHz的射频功率源,要刻蚀的基片放在功率电极上,刻蚀气体通过顶部进入,按照一定的搭配比例和工作压力,刻蚀与保护同时进行,经电压加速暴露在电子区域的气体形成等离子体,由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体,能够在一定的压力下通过电场加速垂直摄入到样品表面,会释放足够的力量对未掩蔽表面材料进行刻蚀,剩余气体及反应生成物气体通过底部抽气系统离开真空室内部, 此时若物理作用占主导则刻蚀损伤较大; 若化学作用占主导则刻蚀速率较慢、各向同性明显,容易造成表面粗糙 ,选择合适的气体组分,不仅可以获得理想的刻蚀选择性和速度,还可以使活性基团的寿命变短,有效地抑制了因这些基团在薄膜表面附近的扩散所能造成侧向刻蚀,大大提高了刻蚀的各向异性特性, 所以适当合理的选择气体比例成为干法刻蚀中重要的一环。 与湿法刻蚀之后的保真性不理想、刻蚀线宽难以控制、表面粗糙等相比 具有很好的各向同性,可以加工更加精密的器件,能够保证细小图形转移后的保真性,同时根据不同工艺要求,通过改变刻蚀气体比例、真空室内部压强、射频功率、温度等能够很好的控制侧壁的粗糙度、陡直度、刻蚀速率等。 湿法刻蚀的适应能力强、表面均匀性好、对沉底损伤小、适用范围广, 与之相比RIE设备造价高、射频等离子的离化率低、工作气压高、刻蚀后真空室残留物难以去除、离子能量损失较多。 以为当前操作的牛津RIE刻蚀设备、型号为Oxford PlasmaPro 100 RIE,主要用于微电子、光电子、通讯、微机械、新材料等领域的器件研发和制造,最大支持6寸片,主要以zep520A胶为掩膜基于CHF3+Ar、CHF3+SF6刻蚀SiO和SiN,适用于微米级和纳米级制程工艺刻蚀,同时可以根据客户不同要求,对工艺参数(包括刻蚀气体比例、真空室内部压强、射频功率、温度等)进行调整达到预期结果。 不积珪步,无以至千里;不积细流,无以成江海。做好每一份工作,都需要坚持不懈的学习。