非晶合金文献综述

目录 文摘 英文文摘 前言 第一章 文献综述 1非晶态合金的结构 1非晶态合金结构的主要特征 2非晶态结构模型化的研究 2非晶态合金的制备 1非晶态合金的制备方法 2非晶态合金作为催化剂材料的主要制备方法 3非晶态合金的应用 1非晶态合金在催化反应中的应用 2不饱和基团的加氢反应 4环丁烯砜加氢制环丁砜反应简介 5论文研究内容的确定 参考文献 第二章 实验部分 1实验原料 2非晶态合金催化剂的制备 1纯态非晶态合金的制备 2负载型非晶态合金的制备 3催化剂的活性评价 1在高压反应釜中进行环丁烯砜加氢反应 2在常压连续流动反应装置中进行环丁烯砜加氢反应 4催化剂的物性测试与表征 第三章 NiB非晶态合金的制备及性能研究 1环丁烯砜加氢反应条件的确定 2制备条件对NiB非晶态合金结构与性能的影响 1制备温度和溶剂对NiB非晶态合金性能的影响 2镍硼投料摩尔比对NiB非晶态合金性能影响 3镍盐浓度和硼氢化钾的滴加速度对NiB非晶态合金性能的影响 4加料顺序对NiB非晶合金性能的影响 3 NiCoB非晶态合金结构与性能的研究 4不同载体的加入对NiB和NiCoB催化活性的影响 1负载型NiB非晶合金催化剂的催化活性研究 2负载型NiCoB非晶合金催化剂的活性研究 5本章小结 参考文献 第四章 NiP非晶态合金制备方法的研究 1次磷酸镍为原料制备NiP非晶态合金的研究 1pH值及添加剂的影响 2引发剂的作用 3温度的影响 4次磷酸镍浓度的影响 2次磷酸还原镍盐法制备NiP非晶态合金 1制备温度对NiP非晶态合金性质的影响 2使用不同镍盐对NiP非晶态合金性质的影响 3次磷酸与镍盐配比的影响 4溶液初始pH值 5制备时间对NiP非晶态合金性质的影响 3 NiP非晶态合金不同制备方法的对比 1不同体系制备的NiP非晶态合金的物性比较 2不同体系制备的NiP非晶态合金的催化活性 3三体系催化剂物性与催化活性对比 4负载型NiP非晶态合金的研究 1 NiP与NiP/TiO2性能对比 2使用不同镍盐对制备的负载型NiP非晶态合金性能的影响 3载体中引入微量PdCl2对负载型NiP/TiO2的影响 5本章小结 参考文献 第五章 NiPB非晶态合金的制备与性能研究 1制备条件对NiPB非晶态合金性能的影响 1硼氢化钾还原次磷酸镍制备NiPB 2硼氢化钾、次磷酸同时还原硝酸镍制备NiPB非晶态合金 2负载前后NiPB非晶态合金性能的变化 3本章小结 参考文献 第六章 NiPB与NiB、NiP非晶态合金的性能比较 1 NiPB与NiB、NiP非晶态合金性能比较 1三类非品态合金中活性最高的催化剂性能比较 2相同制备条件下三类催化剂性能对比 2催化剂的回收再利用 参考文献 第七章常压固定床连续流动反应装置中环丁烯砜加氢反应的研究 1反应条件的影响 1反应温度 2催化剂的预还原条件 3环丁烯砜溶液的液时空速 4氢气与环丁烯砜的摩尔比 2 NiB与NiB/TiO2催化剂的加氢活性 3本章小结 第八章 结论 博士期间发表论文情况 致谢 注： 部分图象歪

文献综述是对某一方面的专题搜集大量情报资料后经综合分析而写成的一种学术论文， 它是科学文献的一种。 格式与写法 文献综述的格式与一般研究性论文的格式有所不同。这是因为研究性的论文注重研究的方法和结果，特别是阳性结果，而文献综述要求向读者介绍与主题有关的详细资料、动态、进展、展望以及对以上方面的评述。因此文献综述的格式相对多样，但总的来说，一般都包含以下四部分：即前言、主题、总结和参考文献。撰写文献综述时可按这四部分拟写提纲，在根据提纲进行撰写工。 前言部分，主要是说明写作的目的，介绍有关的概念及定义以及综述的范围，扼要说明有关主题的现状或争论焦点，使读者对全文要叙述的问题有一个初步的轮廓。 主题部分，是综述的主体，其写法多样，没有固定的格式。可按年代顺序综述，也可按不同的问题进行综述，还可按不同的观点进行比较综述，不管用那一种格式综述，都要将所搜集到的文献资料归纳、整理及分析比较，阐明有关主题的历史背景、现状和发展方向，以及对这些问题的评述，主题部分应特别注意代表性强、具有科学性和创造性的文献引用和评述。 总结部分，与研究性论文的小结有些类似，将全文主题进行扼要总结，对所综述的主题有研究的作者，最好能提出自己的见解。 参考文献虽然放在文末，但却是文献综述的重要组成部分。因为它不仅表示对被引用文献作者的尊重及引用文献的依据，而且为读者深入探讨有关问题提供了文献查找线索。因此，应认真对待。参考文献的编排应条目清楚，查找方便，内容准确无误。关于参考文献的使用方法，录著项目及格式与研究论文相同，不再重复。

看看下面这篇博文吧：（科学网 - 为什么学生不爱科研）　　N多学生进校时雄心壮志或者单纯朦胧，对于科研一片美好期许，到毕业时，愁容满面，对于科研唉声叹气。　　两个方面原因：一是制度方面原因。　　A：跟着导师申请项目，发现原来申请基金就是靠关系。某学生辛辛苦苦6个月写的一个本子被刷了，上去的是一个跟指南上要求的方向八竿子打不着的一个方向上去了，很郁闷，倒是导师很看得开，宽慰他：都这样，人家关系硬，我们来年再说吧；　　B：写项目原来就是扯淡。老师让写项目书，总是过完年了让通知写，总是赶急赶忙的写，在老师的压力下，三天就可以写好一个本子，那所谓的创新都是那三天硬憋出来的，其实在自己看来就是扯淡，后来终于明白，申请项目更多的在于关系，写固然重要，但是不是最重要的。　　C:申请项目，有的项目没有任何的前期工作，也没有任何的前期调研，全凭百度和维基上东西凑出来的任务书，提指标的时候老师让学生提，学生说咋提啊，我都没见过那玩意，全是拍脑袋决策，做的时候也是东搞搞西搞搞，各种不理想，想尽方法，都失败，老师却怪学生的不努力，不聪明，学生彻底绝望。　　D：项目书下来了，学生接过任务书一看：这项目的80%不都已经完成了么？技术很成熟了，数据实验室也早有了，还有什么搞的。内心感叹：搞科研就是国家钱啊。　　E：项目书下来了，学生接过任务书一看：这问题不是早八百年前就解决了，中国学界连这个问题都没解决，那帮科学家都干啥吃的？可是这个项目怎么能下来呢？传统的名词换个新的提法，貌似很高端，其实啥都没变，这就是所谓的科研？这就是神圣的科研？　　F：项目书下来了，学生接过任务书一看：这里面的有一些东西，稍微内行的人或者有点专业常识的人一看就知道不可能实现的东西，原理上就行不通，咋做，这项目咋通过的？有高人指点说：既然你们老师有本事拿来，就有本事结题，而且还能很顺利，这个不是你担心的。学生直念，阿弥陀佛阿弥陀佛。。　　G：学生：我们老板说了，国家的钱最好挣，有个项目，一个试验没做，结题了。　　H：所谓的科研就是炒菜，人家用个猫做实验，你用个狗，这就是创新？这就是科研？　　二是老师原因：　　A：老师让他搭建设备，从零件购，到设备选材，设备调试，价格高了，老板还不同意，就这样，折腾了三年，到第四年开题都没法开。　　B：老师想发高水平论文，就一直压着他，让他攒数据，攒一篇好的，结果攒成心病。　　C：大老板想冲院士，明文规定：博士第一年上课，不算，硕博连读的前两年不算。　　D：实际导师啥也不管，名义导师想冲教授，所有稍好一点的论文一作都是他，这样的话自己基本上就没有论文，毕业都发愁。　　E：天天去工厂下车间，帮导师出差，毕业的东西基本没做。导师源源不断的接项目，做项目，自己的时间都不在自己的课题上，虽然说的挺好，要抓紧时间做论文，可是老师太贪心了，学生是有限的，项目却像无穷多，你说与你课题无关？不做可以么？在人屋檐下啊。　　F：老师特别抠，一点小钱也要发票凑，凑不着就不给报，一年下来学生搭进去一两千。没有实验材料了，也是拖着不，总是托关系东家要，西家借，学生看着直寒心，有时候真想算了，这试验费自己掏算了。项目三四个，经费四百万，写项目的时候材料费，检测费十几万几十万的写，SEM动不动就写小时，小时，结果呢，一年的材料费满打满算不到1万块钱，却天天喊穷，做了一年SEM(-块钱一个小时)花了一万块钱嫌多。有的老师跟学生算账算得特明白，5块钱也还给学生（要还的话，50不行么？），虽然不算小气，但是不大气。　　G：老师人品不好，不人性。学生大年初三来给老师干活，食堂和宿舍都没开(没开是有客观原因的)，跟老师说没饭吃，老师说你个锅，我给你报；跟老师说：没地方住，老师说：你就在实验室打地铺吧(学校在东北，冬天)。学生的媳妇在待产了，学生要回家，老师打火车站广播找人。上周跟学生说：你把那个XX的一批样品给处理了，今天看见学生在给别人处理样品，忽然来一句：你这一个星期没做实验了，你自己的活不干了啊，学生直接泪奔。就是抓学生干活，一看见某人在电脑桌前就说，谁谁，咋没去做实验呢？　　H：老师招学生来，都不知道安排学生来干啥，只知道，我现在有项目，要找学生，招学生来就是为了给干活。结果呢，来了之后哪个学生负责哪一块也都瞎搞，你负责ABC，他负责DEF，ABC这一块前后的关联是什么，核心是什么，目标是什么，全都不知道，就是因为我想做这个加上我需要做这个，于是我就让学生做这个。其实全扯淡，想一出是一出，最后看看学生的毕业论文，这一章讲小米的淀粉营养问题，下一章就讲胡萝卜的胡萝卜素对胡萝卜的生长促进，再下一章就是玉米杆的纤维素燃烧。如果再往前看几届，发现基本上他的每一届学生都有这个问题。　　I：老师啥也不懂，对于学生交上去的报告提不出新东西，改文章都是改错别字，像什么文章结构层次编排，重要观点的突出强化，理论深度的挖掘，都没有。指导学生也不得力，看看学生交上去的报告，都是写：这周上课了，上了这三门课，这周看文献，列表如下，总共一页纸。有做实验的学生就写，这周做试验了，实验照片贴上去，写个结论，老师也提不出什么新东西，都是讲你这个XRD该怎么标，你这个图要摆放整齐，你讲PPT要看着大家等等。至于说你这个实验说明了什么，我们的目标是什么，下一步干啥，通过什么实验来实现等等都不会提，例会每周开，但是从来都不讨论这些东西。　　J：导师啥也不懂，然后还啥都管，还特别爱面子，还想学生出好东西，实验室啥都没有。要设备没设备，要前期工作没前期工作，问老师，也只知道从百度上找来的东西，每次讲的都是教材上的东西。一切靠自己，从设备选择构建，到材料购，到工艺确定，到最后出东西，都自己一手搞定。然后此间的失败与艰辛换来的是老师的怒斥，一直也出不来东西。想跟老师讨论一些东西吧，却发现他纯粹是个外行，要学生通过红外确定材料的耐热性；遇到任何问题只有默默的去小木虫。　　K：喜欢忽悠学生或者威胁学生或者给学生极高的期望与许诺，吓到了学生。跟着我好好干，咋地咋地，发nature啊，直接奖励多少钱；我跟啥啥有合作，跟着，到哪哪上班；不干好，这个月扣掉所有补助(还没干呢，就这么说)；不干好，别毕业了；你啊，有潜力，有资质，我们这个项目啊，你要好好干，争取达到啥啥；好好干，争取发NS；　　L：无法真正的指导学生。跟研一的说：你去写个关于非晶合金的综述，这个太大了，能不能详细点，分开点：这个星期跟学生说：你去看两本非晶合金的书，写个总结上来，重点是啥，然后第二周根据前一周的情况，继续发布这样目的明确的任务，让前后的任务相关联，及时发现学生的不足，并且引道学生提出问题。或者想一出是一出，跟研二学生说：你去做XX问题吧（该问题是工程问题，需要长时间，有一定体积效应的时候才会出现的，普通小试片根本无法模拟），但是过一阵又忘了，这就搞得学生无所适从了。或者第二学期开学一个月了，学生知道自己这个学期要开题，师兄问师弟：你这个学期什么安排，你要开题的。师弟茫然不知，因为老师只跟他指定了方向，具体是啥，啥也没说，学生就这样，熬到快开题了，老师却在催开题报告，于是在重压下，加粘贴三天搞定；或者老师明明将师弟交给师兄带，可是老师却经常绕过师兄下达一些任务，搞得师兄的计划就时常不能执行，最后放弃领导。　　这是我见到的一些同学跟我讲他们导师的恶劣行径。　　有人说：那是你选导师没选好，大多数导师见到潜在的学生都是和蔼可亲的，问师兄师姐，很难告诉你真话的，因为说导师好吧，你进来发现不是那么回事，怎么办？师兄弟怎么处？说导师不好吧，自己还想活么？导师真正的适不适合自己，自己自己接触之后才真的知道。　　有人说换导师？那么容易换？我一个同学换导师，怎么换的，先是找到一个年轻的熟识的老师，他需要学生，尤其特别想要一个博士（帮别人带），于是问他该怎么办，于是那老师各种帮他，一个站在学生的角度，一个站在老师的角度互相找理由，互相驳斥，最后我同学找到的理由是：压力大，身体有病，经常产生幻觉，偶尔神经错乱，经常头疼得厉害，于是那同学最后换导师成功，而且是换到帮他出主意的那个老师那里。（他原来的导师，就是属于K种老师，第一个学期还没过呢，就跟学生说要学生造出一个什么什么设备，要史无前例的的突破，将产业更新）换导师不好换啊，许多学生看到是都很好，可是导师跟导师之间的关系，其实挺复杂，尤其是在一栋楼，一个教研室，一个课题组的，不好搞，不好换啊。　　有人说：学生应该有主动性，主动去做。可是很多博士却有一个共同的心得：如果你完全听从老师的，你将一事无成，如果完全不听导师的，你将死得很惨，怎么办？听导师的话，做自己的事；有想法赶快做，不要坐等靠；如果自己有想法，指望导师批准后再执行，那是大多扯淡，除非遇到那种什么也不管的导师，他的学生倒是经常看见顺利毕业的多。　　----------------　　PS1：说到学生学习的主动性，主动性重要么？重要！真的重要么？不重要。多少老师以自己的蛮横否掉学生的想法。而不是讲道理，摆证据。是学生不基于实际，瞎提想法，老师给否掉的么？？大多是做的不是老师想要的罢了，有主动性咋样？你必须是老师想要的主动性，不许乱主动的。　　PS2：我最喜欢两种导师，一种是什么也不管（包括花钱也不管你咋花），就是每学期开学的时候见学生：又开学了，都怎么样啊，学生们讲了讲，完事，从此以后再也看不到导师，即使找他，也是说：OK，OK，你自己做主吧。要么是那种按照严格的科研套路来：真正的直面问题，实打实的调研，该花的时间一天不能少，该花的钱直接说，实验前，方案详细明了完备，经得起推敲，对于潜在的风险及成本有充分的考虑与估算，所有的指标都是有根据的，不是拍脑袋的，所有的工艺也都是有前期基础和有足够的数据支撑其可行性的。然后由定期或者不定期的汇报，总结与讨论，真正的针对问题，解决问题；有困难，老师也积极的参与，与学生一起努力。对于学生交上来的东西，要真正的提出新的问题和导向。当老师也有不会的时候，也要能向学生学习，比如让学生就某一问题做一总结，这就OK。　　PS3：我有点理想主义情节的，比如PS2中对第二种老师的要求，时常我自己也感觉过分，但是我觉得搞科研就应该实打实的来，带学生就应该真教，每一阶段给他一个目标，引导他到达自己的目标，同时也让他学会自己提出问题，解决问题。给学生安排适当的项目任务，以此为依托，进行扩展以形成其毕业论文，不会将整个项目依托给一个学生，除非是那种前期基础极其扎实的，在不长的时间内(1年)依样画葫芦就可以完成项目的70%，余下30%有难度，通过努力也可以在余下的2年内完成的项目，学生完成任务后让其自己有发挥，做自己想做的，这个时候他也应该能自己做方案，自己实验了，不要给学生无尽的任务，学生的性和想法得不到发挥。对于需要搭建新设备，不会让学生从零部件购，设备材料选择，结构设计等等最原始的地方零基础起步，是要看到原型机，在原型机上仿制，或者在已经设备上进行改造，添加附件等等方式来改造设备，如果我想从零基础搭建设备，我会让一代代的学生做辅助，一代学生做一点，逐步搭建起来，不然学生真的很苦。　　PS4：有的老师很累，有的老师很轻松。累的老师又很多种，但轻松的老师大多是，在某一领域活跃了很多年，积累得很多，实验室对于实验体系已经程式化了，学生们已经不需要老师费心了，只需要有一个好的助手（或者兄）来辅助维护这一体系就行。前期工作充实，圈子熟了，拿课题也不困难；对于行业状态了解很深，知道方向，目的也很强。有时候当老师真的很悠哉。每次看到那种早上8点钟就来实验室，晚上9点钟走，没有周末节假日的老师，我就在想：那是生活么？那是人么？那是神经病（年轻老师不在此例）。　　PS5：非常，很，极其想知道各位老师怎么看待研究生上课的重要性问题。在目前的模式下，研究生上课，在我看来就是扯淡。如果说本科生考60分要滴60滴汗，那么硕士考60分，只要30滴就够了，博士大概不到10滴，有人说或许0滴也可以。看看那些研究生第一年，都美其名曰：我们有课，实际呢，跟本科生一样，甚至还不如本科生，上课了夹个本去上课，下课了本子都不知道扔哪去了，期末了，里非常热闹了。学生们最喜欢那种交论文结课的科目，通过谷，粘贴，一个下午完成好几科，一出成绩都是七八十分，都很开心。请问各位老师，你们学校研究生课挂科的比例多少，高于1%么？有没有不毕业的硕士么？当然说到这里也要说一下，有的学校老师对于研究生的课也是不重视的，甚至上一次课之后，留下一个小论文的作业，然后就再也不上课了。因此，我建议把研究生第一年所有的课都集中在第一个学期上。　　PS6：有的老师认为自己学生是个科研的料，成果丰富，勤奋进取，思维活跃，是自己的得意门生，可是在现实中他可能非常厌恶科研，我见过的有认为科研就是炒菜，太没意思了；有认为科研就是一帮圈子里的人的游戏，自己只能呵呵；有认为科研就是人，每次写论文的背景和意义的时候都是闭着眼默念好几分钟：我这个有意义，有意义，有意义，然后才下笔，才写了两句又面红耳赤了；当然也有人认为搞科研的人前五年太穷了，太苦了，不愿意干的。:　　PS7：我时常想：喧嚣中的孤独和孤独中的喧嚣你选择哪一个？我有资格选么？一直以来我都期待一种内心平静而充实的生活，每天有计划的做着自己的工作，不紧不慢，下班后还有空去健身，陪家人聊聊天，看看书。早上7点起来，喝杯水，翻两页书，吃个早饭再出门。

本科毕业设计（论文）　　文献综述　　院 （系）：　　专 业：　　班 级：　　学生姓名： 学 号:　　年 月 日　　本科生毕业设计（论文）文献综述评价表　　毕业设计（论文）题目　　综述名称 注意综述名称（综述内容中不要出现本课题怎么样等等）　　评阅教师姓名 职称　　评 价 项 目 优 良 合格 不合格　　综述结构 01 文献综述结构完整、符合格式规范　　综述内容 02 能准确如实地阐述参考文献作者的论点和实验结果　　03 文字通顺、精练、可读性和实用性强　　04 反映题目所在知识领域内的新动态、新趋势、新水平、新原理、新技术等　　参考文献 05 中、英文参考文献的类型和数量符合规定要求，格式符合规范　　06 围绕所选毕业设计（论文）题目搜集文献　　成绩　　综合评语：　　评阅教师（签字）：　　年 月 日　　文献综述： 小四号宋　　空一行　　标题 二号黑居中　　空一行　　1 XXX 三号黑　　XXX 小四号宋，行距20磅　　1 XXXX 小三号黑　　XXX 小四号宋，行距20磅　　1 XXX 四号黑　　XXX 小四号宋，行距20磅　　空一行　　2 XXXX 三号黑　　(空1行)　　参 考 文 献　　(空1行)　　[要求按国标GB 7714—87《文后参考文献著录规则》书写，例如：]　　[1] 袁庆龙，候文义．Ni-P合金镀层组织形貌及显微硬度研究［J］．太原理工大学学报，2001，32(1)：51-53 ．（宋体五号，行距固定值20磅）　　[2] 刘国钧，王连成．图书馆史研究［M］．北京：高等教育出版社，1979：15-18，31．　　下面的是我的文献综述　　文献综述:　　FTO透明导电薄膜的溅射法制备　　1 前言　　为了更好的开展毕业论文及毕业实验工作，在查找和阅读与《DSSC用FTO透明导电玻璃的溅射法制备》相关的文献和资料，完成撰写了本文献综述。随着科技的日趋成熟，导电玻璃的制备方法也越来越成熟，种类也衍生得越来越多。　　本文章将对国内外的制备方法，种类，发展现状及趋势，工艺性能，退火处理对性能的影响等方面做一简要介绍。　　2透明导电玻璃的种类及制备方法简介　　1透明导电玻璃的种类　　1 1 TCO导电玻璃　　TCO（Transparent Conductive Oxide）玻璃，即透明导电氧化物镀膜玻璃，是指在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜而形成的组件主要包括铟、锡、锌、铬的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。　　2 ITO透明导电玻璃　　ITO透明导电玻璃全称为氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃,多通过ITO导电膜玻璃生产线,在高度净化的厂房环境中,利用平面磁控技术,在超薄玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。 ITO玻璃产品广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域。　　3FTO透明导电玻璃　　FTO透明导电玻璃为掺杂氟的SnO2导电玻璃(SnO2:F)，简称为FTO。FTO玻璃可以做为ITO导电玻璃的替换用品，广泛用于液晶显示屏，光催化，薄膜太阳能电池基底等方面，市场需求极大 FTO玻璃因其特殊性，在染料敏化太阳能电池，电致变色和光催化方面对其透光率和导电率都有很高的要求，其综合性能常用直属FTC来评价：FTC＝T10／RS。T是薄膜的透光率，RS是薄膜的方阻值；在光学应用方面，则要求其对可见光有好的透射性和对红外有良好的反射性。对其基本要求是：①表面方阻低，②透光率高，③面积大、重量轻，④易加工、耐冲击。　　2FTO透明导电玻璃制备方法　　FTO透明导电玻璃的制备方法有，物理方法：溅射法、真空蒸发镀膜法、离子辅助沉积镀膜法等；化学方法：喷雾热解法、溶胶-凝胶法和化学气相沉积法等。目前适合批量生产且研发较多的有真空蒸发镀膜法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解等方法！［1］化学气相沉积法和真空镀膜法制备的薄膜和玻璃基板的结合强度不够，溶胶-凝胶法制备的导电薄膜电阻较高。适合于批量生产且已经形成产业的工艺，只有磁控溅射法和溶胶－凝胶法。特别是，溅射法由于具有良好的可控性和易于获得大面积均匀的薄膜。　　1磁控溅射法镀膜：　　溅射镀膜(sputtering deposition)是指用离子轰击靶材表面，使靶材的原子被轰击出来，溅射产生的原子沉积在基体表面形成薄膜。溅射镀膜有二级、三级或四级溅射、磁控溅射、射频溅射、偏压溅射、反应溅射、离子束溅射等装置。　　目前最常用的制备CoPt 磁性薄膜的方法是磁控溅射法。磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使氩气发生电离。氩离子被阴极加速并轰击阴极靶表面，将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。通过更换不同材质的靶和控制不同的溅射时间，便可以获得不同材质和不同厚度的薄膜。磁控溅射法具有镀膜层与基材的结合力强、镀膜层致密、均匀等优点。　　2真空蒸发镀膜：　　真空蒸发镀膜(vacuum vapor deposition)是在工作压强低于10-2 Pa，用蒸发器加热物质使之汽化蒸发到基片，并在基片上沉积形成固态薄膜的一种工艺方法。真空蒸发的加热方式主要有电阻加热蒸发、电子束加热蒸发、高频加热蒸发和激光加热蒸发等。对于镀制透明导电氧化物薄膜而言，其真空蒸发镀膜工艺一般有三种途径：(1)直接蒸发氧化物；(2)采用反应蒸发镀，即在蒸发金属的同时通入氧气进行化学反应生成金属氧化物；(3)对蒸发金属镀膜进行氧化处理。　　3溶胶-凝胶法：　　溶胶-凝胶法(so1-gel)是近年来发展起来的能代替高温固相合成反应制备陶瓷、玻璃和许多固体薄膜材料的一种新方法。它将金属醇盐或无机盐经溶液、溶胶、凝胶而周化，再将凝胶低温处理变为氧化物的方法，是应用胶体化学原理制各无机材料的一种湿化学方法。溶胶-凝胶工艺是一种制备多元氧化物薄膜的常用方法。按工艺可分为浸涂法和旋涂法。浸涂法是将衬底浸人含有金属离子的前驱体溶液中，以均匀速度将其提拉出来，在含有水分的空气中发生水解和聚合反应，最后通过热处理形成所需薄膜；而旋涂法则是通过将前体溶液滴在衬底后旋转衬底获得湿膜。　　4化学气相沉积法：　　化学气相沉积(chemical vapor deposition，CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态薄膜沉积在加热的固态衬底表面，是一种重要的薄膜制各方法。CVD法所选的反应体系必须满足：(1)在沉积温度下，反应物必须有足够的蒸汽压；(2)化学反应产物除了所需的沉积物为固态外，其余必须为气态；(3)沉积物的蒸汽压应足够低，以保证能较好地吸附在具有一定温度的基体上，但此法因必须制各具有高蒸发速率的铟锡前驱物而使生产成本较高。影响化学气相沉积薄膜的工艺参数很多，包括基体温度、气压、工作气体流量和反应物及其浓度等。　　化学气相沉积技术的主要特点包括：设备及工艺简单、操作维护方便、灵活性强；适合在各种形状复杂的部件上沉积薄膜：由于设备简单，薄膜制备的成本也比较低。但是，薄膜的表面形貌很大程度上受到化学反应特性以及能量撒活方式的影响。　　5喷雾热分解法：　　喷雾热分解法是化学法成膜的一种，其过程与APCVD法比较相似。它是将前驱体溶液在高压载气的作用下雾化，然后输送到基片表面，在高温作用下，前驱体溶液发生一系列复杂的化学反应，在基片表面上得到需要的薄膜材料。而反应副产物一般是通过气相形式排出反应腔。常用的高压载气主要有：压缩空气、氮气、氩气等等。但是由于压缩空气中常含有大量的水蒸气，所以用氮气作为载气的情形比较多。如果需要在基片表面上发生分解反应，基片温度一般在300℃以上，在玻璃上制备FTO薄膜的基片温度一般为500℃。影响最终薄膜性能的喷涂参数有：载气压力、前驱体溶液流量、基片温度、喷口与基片的距离、喷枪移动速度等等［2］。在成膜过程中基材的温度、液体的流速、压缩气体的压力以及喷嘴到基材的距离等参数均可实现精确控制［3］。　　3 FTO透明导电玻璃的研究现状、应用及发展趋势　　1FTO透明导电玻璃的研究现状　　自1907年Badeker首次报道了热氧化溅射的Cd薄膜生成半透明导电的CdO薄膜，引发了对透明导电氧化物(TCO)薄膜的研究。1950年前后出现了硬度高，化学稳定性好的SnO2基薄膜及综合光电性能优良的In2O3基薄膜，ZnO基薄膜的研究始于2O世纪80年代 。目前研究和应用较多的TCO薄膜主要有SnO2、In2O3。和ZnO基三大体系，其中以In203：Sn(ITO)，SnO2 ：F(FTO)和ZnO：Al(ZAO)最具代表性，这些薄膜具有高载流子浓度(1018～1021cm-3)和低电阻率(10-3～1O-4Ω•cm)，且可见光透射率8O％～90％，使这些薄膜已被广泛应用于平面显示、建筑和太阳光伏能源系统中。［4］ 已经商业化应用的TCO薄膜主要是In2O3Sn(ITO)和SnO2：F(FTO)2类，ITO由于其透明性好，电阻率低，易刻蚀和易低温制备等优点，一直是显示器领域中的首选TCO薄膜。FTO薄膜由于其化学稳定性好，生产设备简单，生产成本低等优点在节能视窗等建筑用大面积TCO薄膜中，具有很大的优势［5］。　　Sn02：F（FTO）掺杂体系是一种n型半导体材料，表现出优良的电学和光学性能，并且耐腐蚀，耐高温，成本低，化学稳定性好，是现在研究较多，应用范围较广的一类TCO薄膜。苗莉等［6］采用喷雾热解法，以NH4F、SnCl2•2H20为原料，在普通玻璃衬底上制备出了方块电阻最低达到2Ω/口，可见光透光率为95％的FTO薄膜，且薄膜晶粒均匀，表面形貌平整致密。Yadav等［7］采用喷雾热解法，制备了不同厚度的FTO薄膜，最低电阻率达到91 X 10-4 Ω•cm。Moholkar等［8］采用喷雾热解法，制备了不同掺F浓度的FTO薄膜，研究了氟的掺杂浓度对Sn02薄膜的光学，结构和电学性能的影响。中国科学院等离子体物理研究所的戴松元小组［9、10］将FTO用于染料敏化太阳电池的透明电极，并获得较高的光电转换效率。　　射频溅射：　　射频溅射的基本原理是射频辉光放电。国内外射频溅射普遍选用的射频电源频率为13．56MHz,以防止射频信号与无线电信号的相互干扰。通常直流溅射的基本过程是，从阴极发出的电子，经过电场的加速后获得足够的能量，可以使气氛气体发生电离。正离子在电场作用下撞击阴极表面，溅射出阴极表面的原子、分子到衬底表面发生吸附、凝聚，最终成膜。　　直流溅射不能用于绝缘体材料的薄膜制备，因为绝缘材料在受到正离子轰击时，靶材表面的正离子无法中和，使靶表面的电位逐渐升高，导致阴极靶与阳极问的电场减小，当靶表面电位上升到一定程度时，可以使气体无法电离，溅射无法进行。而射频溅射适合于任何一种类型的阻抗耦合，电极和靶材并不需要是导体，射频溅射非常适合于制备半导体、绝缘体等高熔点材料的薄膜。在靶材表面施加射频电压，当溅射处于上半周时，由于电子的质量比离子的质量小很多，故其迁移率很高，用很短时间就可以飞向靶面，中和其表面积累的正电荷，从而实现对绝缘材料的溅射，并且在靶表面又迅速积累起了大量的电子，使其表面因空间电荷而呈现负电位，导致在射频溅射正半周期，也可吸引离子轰击靶材。从而实现了在电压正、负半周期，均可溅射。磁场的作用是将电子与高密度等离子体束缚在靶材表面，可以提高溅射速度。［11］　　用JPGF一450型射频磁控溅射系统在玻璃衬底上制备SnO2：F薄膜，系统的本底真空度为10-3Pa．溅射所用陶瓷靶是由纯度为99％SnO2和NH4F，粉末经混合、球磨后压制成坯，再经1300℃烧结而成，靶中NH4F的重量比是78％，用纯度为99．99％ 的氩气和氧气作为工作气体，由可控阀门分别控制气体的流量。溅射过程中，控制真空室内氩气压强为1Pa，氧分压为5—5 Pa，靶与衬底间的距离为5cm．溅射功率为150W，溅射时间为25 min，衬底温度为100℃。用RIGAKU D／MAX—yA型x射线衍射(XRD)仪(CuKa辐射波长，154178 nm)测试样品的结构，用APHM一0190型原子力显微镜(AFM)观测样品的表面形貌，使用 rv一1900型紫外可见光分光光度计测量样品的吸收谱，使用激发源为325 nm的He—Cd激光器的光谱仪测量样品的室温光致发光谱，使用普通的万电表测试它的导电性（前提是尽量保持测量条件的一致性）。　　2FTO透明导电玻璃的应用　　FTO透明导电玻璃具有优良的光电性能，被广泛用于太阳能电池的窗口材料、低损耗光波导电材料及各种显示器和非晶硅太阳能电池中作为透明玻璃电极等，与生活息息相关。　　1在薄膜太阳电池上的应用　　太阳能电池是利用光伏效应，在半导体p-n结直接将太阳光的辐射能转化成电能的一种光电器件。TCO薄膜是太阳电池关键材料之一，可作为染料敏化太阳电池(dye-sensitized solar cells，DSCS)［12］等的透明电极，对它的要求是：具有低电阻率(方块电阻Rsh约为15Ω/□)；高阳光辐射透过率，即吸收率与反射率要尽可能低；化学和力学稳定性好的特点。在薄膜太阳电池中，透明导电膜充当电极，具有太阳能直接透射到作用区域几乎不衰减、形成p-n结温度较低、低接触电阻、可同时作为防反射薄膜等优点。　　2在显示器上的应用　　显示器件能将外界事物的光、声、电等信息，经过变换处理，以图像、图形、数码、字符等适当形式加以显示。显示技术的发展方向是平板化。在众多平板显示器中，薄膜电致发光显示由于其主动发光、全固体化、耐冲击、视角大、适用温度宽、工序简单等优点，引起广泛关注，并发展迅速。FTO薄膜具有可见光透过率高、电阻率低、较好的耐蚀性和化学稳定性，因此被广泛用作平板显示器的透明电极。　　3在气敏元件上的应用　　气体传感器是把气体的物理、化学性质变换成易处理的光、电、磁等信号的转换元件。半导体气体传感器是采用金属氧化物或金属半导体氧化物材料做成的元件，与气体相互作用时产生表面吸附或反应，引起以载流子运动为特征的电导率或伏安特性或表面电位变化。二氧化锡薄膜气敏器件具有灵敏度高、响应速度和恢复速度快、功耗低等特点，更重要的是容易集成。随着微电子技术的发展，传感器不断向智能化、微型化方向发展。［13］　　4在建筑幕墙玻璃及透明视窗上的应用　　喷雾热解法制各的FTO薄膜能用于阳光节能玻璃，对可见光高透射，但对红外光高反射，其反射率大于70％。让阳光中可见光部分透过，而红外部分和远红外反射。阳光中的可见光部分对室内采光是必需的，但可将红外部分的热能辐射反射回去，能有效调节太阳光的入射和反射。利用FTO薄膜在可见光区的高透射性和对红外光的高反射性，可作为玻璃的防雾和防冰霜薄膜。　　3 FTO透明导电玻璃的发展趋势　　随着LCD的商品化、彩色化、大型化和TFT的驱动或太阳能电池的能量转变效率的提高，人们对透明导电氧化物（TCO）薄膜的要求越来越严格，至少需要满足如下条件：　　(1)导电性能好，电阻率较低；　　(2)可见光内透光率较高：　　(3)镀膜温度更接近室温，能大面积均匀地镀膜；　　(4)膜层加工性能好，可以进行高精度低损伤腐蚀；　　(5)热稳定性及耐酸、碱性优良，硬度高；　　(6)表面形状良好，没有针孔；　　(7)价格较低，可实现大规模工业化生产。　　目前，TCO薄膜已普遍达到下列水平：膜厚为500 nm的情况下电阻率在10-4 Ω•cm数量级，在可见光区透光率达80％，载流子迁移率一般达到40cm2／(v•s)。虽然TCO薄膜的性能指标可以满足当前应用需要，但随着器件性能的不断提升，对TCO薄膜提出了更高的性能要求。一些学者提出了TCO薄膜发展的一个量化的前景指标：禁带宽度>3 eV，直流电阻率～5×10-5 Ω•cm，可见光段在自由电子作用下的吸收系数<2x103 cm-1，载流子迁移率>100 cm2／(v•s)。　　几十年来，人们一直在努力提高透明导电薄膜的透明性和导电性。SnO2：F（TFO）透明导电薄膜由于其兼备低电阻，高的可见光透过率，近红外高的反射率，优良的膜强度和化学稳定性等优点，越来越受到人们的青睐，必将在平板显示器件、建筑物玻璃和气敏传感器等众多领域中得到更广泛的应用。利用溅射法制备FTO透明导电玻璃它的生产工艺简单，操作方便，利于控制。成本较低，原料易得，但在制备过程中NH4F加热分解放出有污染的氮氧化物和氨烟，这对以后商业化生产造成了很大的制约。所以对原料的改进和污染的控制方面还有待开发。　　4 制备条件对膜结构及光电性能的影响　　长安大学材料科学与工程学院段理等做了磁控溅射制备银掺杂ZnO薄膜结构及光电性质研究实验，发表了文献［14］，并在文献14中得出了1——3的结论。　　1制备条件对膜厚的影响　　文献中采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了银掺杂ZnO薄膜，当薄膜淀积时间从30rain延长到90min时，薄膜的厚度几乎按照线性关系从约270nm增加到820nm，即薄膜的淀积速率大致稳定在9nm／min左右，为匀速生长。溅射功率与膜厚呈线性增长，及沉淀速率与溅射功率大致呈线性关系。　　2制备条件对膜结构的影响　　晶体质量随溅射功率的增大而降低，随溅射气压的增大而降低。　　3制备条件对膜光电性质的影响　　在固定溅射总气压的条件下，增大氧分压可以增强薄膜的紫外发光强度，增大薄膜的载流子浓度。　　4 退火对薄膜的影响　　退火能显著提高薄膜晶体质量，并增强薄膜的PL发光强度和导电能力，其原因是退火能使银离子完成对锌离子的替代从而形成受主。［15］　　5 退火后处理对膜结构与成分的影响　　光敏薄膜的光电、形貌性能与退火处理密切相关，退火处理优化了薄膜表面形貌、减小了光学能隙、增大了薄膜的导电率和载流子迁移率。光敏薄膜性能的优化，有利于增大聚合物太阳电池的填充因子、开路电压和短路电流，对于提高其能量转换效率、改善器件光伏性能具有非常重要的意义。［16］分别对较低氧分压反应磁控溅射制备的 薄膜进行氧化性气氛和惰性气氛退火。通过XRD和SEM 分析，发现氧化性气氛退火薄膜为表面多孔的金红石结构 ，而惰性气氛退火薄膜表面较为致密，结构分析不仅观察到金红石结构的 ，还发现了四方结构的 。XPS表面分析进一步表明，氧化性气氛退火后，薄膜成分单一，未氧化的 完全氧化成稳定的 ，而且具有稳定结构的 薄膜表面吸附水很少。相对而言，惰性气氛退火后，薄膜表面 、 和 共存，表面化学吸附氧和吸附水较明显，薄膜的稳定性降低。［17］　　6 FTO导电玻璃制备相关参数　　根据范志新等所提出的理论表达式： 带入相关数据可得到，SnO2:F（FTO）的最佳掺杂含量为54%［18］通过对比总结，参考大量数据，选择溅射功率：100W，溅射压力：5Pa，溅射时间：5h，溅射靶距：38mm［13、19］做产品。进行相关参数的选择与优化。　　7 参考文献　　1、张志海， 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