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读书笔记怎么写呢？写读书笔记通常会是学生最为头疼的作业。下面就说一下写读书笔记的方法： 读书笔记一般分为摘录、提纲、批注、心得几种，格式及写法并不艰深，心得笔记中的读后感有点麻烦，但只要懂得论点、论据和论证这三要素的关系，就会轻松拿下，因为读后感不过就是一种议论文而已。我觉得以失败告终，是因为你学而不用。很多应用文种只有在将来的工作实践中才能具体应用，而读书笔记属日用文类，应即学即用。 读书笔记，是指人们在阅读书籍或文章时，遇到值得记录的东西和自己的心得、体会，随时随地把它写下来的一种文体。古人有条著名的读书治学经验，叫做读书要做到：眼到、口到、心到、手到。这“手到”就是读书笔记。读完一篇文章或一本书后，应根据不同情况，写好读书笔记。常用的形式有： 1、摘要式读书笔记 摘要式读书笔记，是在读书时把与自己学习、工作、研究的问题有关的语句、段落等按原文准确无误地抄录下来。摘录原文后要注明出处，包括题目、作者、出版单位、出版日期，页码等，便于引用和核实。摘录要有选择，以是否有用作为摘录的标准。摘录式笔记可分为： （1）索引读书笔记 索引读书笔记是只记录文章的题目、出处的笔记。如书刊篇目名、编著者、出版年月日、藏书处。如果是书，要记册、章、节，如果是期刊，要记期号，报纸要记年月日和版面，以备日后查找方便。例如：庄照：《也谈为谁立传》，《光明日报·〈史学〉》 （2）抄录原文读书笔记 抄录原文读书笔记就是照抄书刊文献中与自己学习、研究有关的精彩语句、段落等作为日后应用的原始材料。摘抄原文要写上分类题目，在引文后面注明出处。 2、评注式读书笔记 评注式读书笔记不单是摘录，而且要把自己对读物内容的主要观点、材料的看法写出来，其中自然也包括表达出笔记作者的感情。评注式笔记有时对摘录的要点做概括的说明。评注式笔记有下列几种： （1）书头批注 书头批注，是一种最简易的读书笔记作法。就是在读书的时候，把书中重要的地方和自己体会最深的地方，用笔在字句旁边的空白处打上个符号，或者在空白处加批注，或者是折页、夹纸条作记号等等。这种笔记方法不但对书中的内容可以加深理解，也为日后查找提供了方便。 （2）提纲 提纲是用纲要的形式把一本书或一篇文章的论点、论据提纲挚领地叙述出来。提纲可按原文的章节、段落层次，把主要的内容扼要地写出来。提纲读书笔记可以采用原文的语句和自己的语言相结合的方式来写。 （3）提要 提要和提纲不同。提纲是逐段写出来的要点，提要是综合全文写出要点。提要可以完全用自己的语言扼要地写出读物的内容。提要除客观叙述读物内容外，带有一些评述的性质。 另一种提要，是对一篇文章或一本书的内容梗概作简要的说明。 （4）评注读书笔记 评注读书笔记，是读完读物后对它的得失加以评论，或对疑难之点加以注释，这样的读书笔记叫作评注笔记。例如鲁迅读《蕙櫋杂志》中的一段：清严无照《蕙櫋杂志》：西湖有严嵩和鄂王《满江红》词石刻，甚宏壮。词即慷慨，书亦瘦劲可观，末题华盖大学士。后人磨去姓名，改题夏言。虽属可笔，然亦足以惩奸矣。 案：严嵩篇和岳飞词，有如是作为，后人留词改名，有如是自欺，严先生以为可笔而又许其惩奸，有如是两可。寥寥六十字，写尽三态。（鲁迅《集外集拾遗·书苑折枝（二）》） （5）补充原文读书笔记 补充原文的读书笔记，是在读完原书或文章之后，感到有不满足的地方进行补充。需要注意的是补充原文不是随意地加以补充，而是要围绕中心思想加以引申或发挥。 3、心得式读书笔记 心得式读书笔记，是在读书之后写出自己的认识、感想、体会和得到的启发与收获的一种笔记。它有如下几种： （1）札记 札记也叫札记，是读书时把摘记的要点和心得结合起来写成的。这种札记的形式是灵活多样的。可长可短。 （2）心得 心得笔记也叫读后感。读书后把自己的体会、感想、收获写出来。这些读书笔记，可以写读书时的心得体会，也可以写对原文的某些论点的发挥或提出批评、商榷的意见。写这种笔记，一般是以自己的语言为主，也可适当地引用原文。 （3）综合读书笔记 综合读书笔记是读了几本或几篇论述同一问题的书文后，抓住中心评论它们的观点、见解，提出自己看法的笔记。 上述三种类型的读书笔记，不论采用哪一种类型，目是都是为学习、工作、科学研究和写作服务。作笔记时开始可采用摘要式，以后读书多了，有了比较，产生了看法，就可以写译注式，至于心得式是更进一步了，它是属于科学研究的范畴。 ====归纳小节： 作读书笔记不仅能提高阅读书、文的效率，而且能提高科学研究和写作能力。通过学习和实践使学生充分认识到图书馆的作用，不但学到了知识，锻炼了能力，更激发了学生的探索欲。 写法 读书笔记是人们在读书时为帮助记忆而写的一种应用文体。 自古以来，我国的文人、学者都很重视做读书笔记。做读书笔记既是消化书本知识的有效手段，又可以积累有用的材料，训练思维的逻辑性和条理性，提高分析问题和解决问题的能力。 结合前人写的读书笔记，想谈三种写法。一种叫“提要钩玄”，一种叫“采花酿蜜”，一种叫“开山铸铜”。 先说提要钩玄。唐朝的著名文学家韩愈，在《进学解》里讲他写读书笔记，说：“记事者必提其要，纂言者必钩其玄。”他读记事的历史书，把重要的事件摘记下来。他读哲理书，把主要论点摘出来。韩愈的读书笔记，有几篇还保留在他的集子里。有一篇《读，<鹖（he）冠子>》，。引在下面，看他是怎样写提要钩玄的读书笔记的。 《鹖冠子》十有九篇，其词杂黄老刑名。其《博选篇》，“四稽”“五至”之说当矣。使其人遇时，援其道而施于国家，功德岂少哉！称“贱生于无所用，中流失舟，一壶千金”者，余三读其辞而悲之。文字脱谬，为之正三十有五字，乙者三，灭者二十有二，注十有二字云。 他先写明这部书有多少篇，没有写作者是谁，什么地方人，因为无从查考，作者没有写出自己的姓名和籍贯。其次指出这部书的内容是讲什么的。这部书属于先秦诸子，先秦诸子分好多流派，所以指出“其词杂黄老刑名。”黄老就是道家，讲黄帝，老子的学说的；刑名就是法家。指出这本书的内容是道家兼法家。再指出这本书中的要点，有篇叫《博选篇》，里面提出“四稽”“五至”的学说，“四稽”指出从四个方面来考察，“五至”要达到五个要求，都是为治理国家打算的。韩愈认为他的学说很恰当，假使他被国君任用，用他的办法来治理国家，功效是不少的。又引了书中的话，说有的东西被看轻，由于没有利用它。比方一个大葫芦，大家看不起它。要是在大河中船翻了，抱了大葫芦就可以救命，这时候一个大葫芦就价值千金了。韩愈反复读这些话，引起了悲哀。书里用大葫芦来比人才，人才弃而不用，所以被看轻，韩愈因此悲哀。韩愈又改正书中的文字脱误，改正三十五个字，把颠倒的字勾过来的有三处，涂去的错字二十二个，旁边注明改正的字的有十二个。 从这篇里我们看摘要的读书笔记是怎样写的。不是把一本书的要点记下来就算。先记下这本书有多少篇，内容主要讲什么的。再记下其中的要点是什么，还要写出自己对这些要点的看法，写出自己的意见。还摘出其中精彩的话，说出自己的看法，最后提到改正书中文字的脱误。从“三读其辞而悲之”看，“三”字虚数，表示反复读。可见韩愈碰到其中精彩的话，不是看过就算，是要反复读的。这就是韩愈写的摘要的读书笔记。里面确实摘记了要点，但还要写出自己对这些要点的看法，包括表达出自己的感情。还要对全书的内容作概括的说明。那就不光把一本书读过就算，读后还要思考，从全书的内容到精彩的篇章，到精彩的话都要考虑，直到对书中的错字都不放过。从这里，我们既可以学习怎样写摘要的读书笔记，还可以学习他是怎样读书的。 再谈“采花酿蜜”的读书笔记。蜜蜂采花中甘液酿成蜜，不是采一棵花的甘液所能酿成的，是从多种花中采集来的。有的读书笔记，是作者读了好多书，通过比较研究才得出的一种看法，好比蜜蜂酿蜜，这样的读书笔记写得比较精彩，不同于一般的看法。象乐熹的《朱子语类》： 渊明诗，人家说是平谈，据某看他的自豪放，但豪放得来不自觉耳。其露出本相者是《咏荆轲》一篇，平谈的人如何说得这样言语出来。 又龚自珍《已亥杂诗》： 陶潜酷拟卧龙豪，万古浔阳松菊高。莫信诗人竟平谈，二分梁甫一分骚。 读书笔记有各种形式，前面举的摘记是一种；这里举的是别的两种，一是随笔式的，一是诗。随笔式的只写出自己的意见，不必记下书名卷数等，主要把自己对书的意见写下来，用诗的形式来写更不必记书名卷数等了。 上面举的乐熹的一段话，龚自珍的一首诗，实际是写出了对陶渊明诗的读后感，所以也作为读书笔记来谈。“渊明诗，人家说平谈”，说明他看了别人讲陶渊明的话，都说渊明诗是平谈的。“据某看他自豪放”，他读了渊明的诗，跟别人的看法不同，认为平谈是表面，骨子里是豪放。“但豪放得来不自觉耳”，他也读了许多豪放的诗，经过比较，他认为渊明诗的豪放跟别人的豪放不同，他的诗的豪放不显露。也有外露的是《咏荆轲》一篇。他这个论点，是读了别人论渊明的诗，用渊明的诗来检验；读了别的豪放的诗，用来跟渊明的诗作比较；才能得出来的。他不光看到渊明诗表面上的平谈，还看到了从《咏荆轲》诗里看出了他的豪放。再来看他写的别的诗，才看出透过表面的平谈，骨子里是豪放的，即从诗里看到渊明这个人的性格来。这正象蜜蜂采花酿蜜那样，是读了很多书，通过比较研究才得出来的。 龚自珍的诗主要是采用了乐熹的论点，但又补充了新的论点：一是用诸葛亮的豪放来同陶渊明的为人作比，二是赞美渊明的品格的高超，三是用诸葛亮的《梁甫吟》和屈原的《离骚》来同渊明的诗作比。在这里，说明龚自珍不光读了陶渊明的诗，还读了陶渊明和诸葛亮的传记，了解了两个人的性格，还读了诸葛亮的《梁甫吟》；还研究了历史上品格高超的人，经过比较，才写出这首诗来。说“万古浔阳松菊高”，那是因为陶渊明是浔阳人，是爱松菊的。他在《归去来兮辞》说“抚孤松而盘桓”，他在《饮酒》里说“采菊东篱下”，菊和松又是用来象征高洁的品格的。说这句话，说明他把陶渊明跟历代的高人作过比较。他又用屈原的《离骚》来同陶渊明的诗比，看出陶渊明的豪放，跟诸葛亮比较接近，占有的成分多些；跟屈原有距离，占有的成分少些，那因为屈原投江自杀，渊明没有那样忿激，比较达观。他跟诸葛亮也有不同，那因为渊明不象诸葛亮那样能建功立业。不论他的衡量是否恰当，总之是象采花酿蜜那样，读了很多书，通过比较研究得出来的。 三说开山铸铜的读书笔记。清初顾炎武的《日知录》，是读书笔记的巨著。他在《与人书十》里，谈到有两种书：一种是收旧钱称做废铜来铸新钱，既是粗制滥造，又毁坏了好的旧钱。一种是开山采铜矿来炼铜。他的《日知录》，一年来“早夜诵读，反复寻究，仅得十余条，然庶几采山之铜也。”毁旧钱来铸新钱，大概指把旧书剪剪贴贴编成新书，开山铸铜，大概指从许多材料中发掘出新的问题，提出新的见解。假使说，采花酿蜜主要指文艺方面的研究说的，那末开山铸铜主要是指学术方面的研究说的。这里引《日知录》中的《正始》条。 ……有亡国，有亡天下。亡国与亡天下奚辨？日：易姓改号，谓之亡国。仁义充塞，而至于率兽食人，人将相食，谓之亡天下。……保国者其君臣，肉食者谋之；保天下者，匹夫之贱，与有贵焉耳矣。…… 《日知录》写的读书笔记，称为开山铸铜，往往引了不少书，从中取得一个结论。要是把所引的书都抄上，太多，不合适，只好节引一个结论。顾炎武从不少材料中得出这个结论。他说的“亡国”，是指改朝换代，所以只是那个朝代的君臣的事，是那个朝代的官号要考虑的，“肉食者”指官吏。“亡天下”指邪说横行阻塞了正义，整个国家的教化都被破坏，弄到“率兽食人，人将相食”，引起大混乱，整个社会要陷于崩溃说的。他这个论点，是从不少历史上材料中发掘出来的，所以称为开山铸铜。不论他这个论点是否正确，这里从他取得这个论点的方法来说，是属于开山铸铜这一类
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根据情况来说。基本上二者是没有什么区别的。
读书笔记的写法是： （1）什么杂志，第几期，什么地方有关于什么问题的什么论述，它对于我即将做的博论文有什么参考作用，或者我对于这个问题有什么自己的见解，可能会有什么贡献等等。 （2） 读书笔记要进行分类，如分为数学模型方面的；实证研究方面的；中文文献方面的；外文文献方面的；数据方面的；纯理论方面的；政策分析方面的；学术争论方面的；案例材料方面的等等。 （3） 重点分析或者精读几篇代表性的文
回答 用黑笔画曲线描绘出读书卡的形状，用彩笔填充空心，再画一些花纹。 用其他颜色填充中间空白部分，接着根据自己的喜好写上喜欢的名句或者画一些精美的图案。 最后剪掉外边多余的空白部分就可以啦。 更多1条
1 期刊论文类一般格式如下：作者论文名称[J]期刊名称,发表年份(第几期):页码注意：一般而言，参考文献里的标点符号用的是英文状态下输入的标点符号。输完汉字要切换到英文状态，再输入相应的标点符号。示例：沈延生村政的兴衰与重建[J]战略与管理,1998(6):1-徐勇,吴记峰重达自治：连接传承的尝试与困境——以广东省云浮和清远的探索为例[J]探索与争鸣,2014(4):50-吴毅,贺雪峰,罗兴佐,等村治研究的路径与主体[J]开放时代,2005(4):82-2 学位论文类一般格式如下：作者论文名称[D]毕业院校所在城市:毕业院校,论文提交年份:页码示例：刘杨同人小说的著作权问题研究[D]重庆:西南政法大学,2012:12-3 书籍著作类一般格式如下：作者著作名称[M]出版社所在城市:出版社名称,出版年份:页码示例：金太军村治治理与权力结构[M]广州:广州人民出版社,2008:如果是合著，即有多名作者，其作者的书写格式与期刊多名作者的书写格式相同。4 报纸类一般格式如下：作者文章名称[N]报纸名称,发行日期(版面)示例：胡祖六“一带一路”战略给河南定位精确[N]大河报,2015-3-30(5)以上是这几日指导过程中出现最多的几个参考文献类型，当然参考文献的种类不止这四种。我查阅了一些期刊，个人认为《许昌学院学报》的参考文献格式比较标准规范，我们可以拿来参考一下（可以从知网查询）。当然具体到个人毕业论文参考文献的格式，最终还是以指导教师的建议为准。
写法如下：一、[序号]期刊作者。题名[J]。刊名。出版年，卷(期):起止页码。二、[序号]专著作者。书名[M]。版次(第一版可略)。出版地：出版社，出版年∶起止页码。三、[序号]论文集作者。题名〔C〕。编者。论文集名。出版地∶出版社，出版年∶起止页码。四、[序号]学位论文作者。题名〔D〕。保存地点：保存单位，年份。五、[序号]专利所有者。专利文献题名〔P〕。国别：专利号。发布日期。六、[序号]标准编号，标准名称〔S〕。出版地：出版者，出版年。七、[序号]报纸作者。题名〔N〕。报纸名，出版日期(版次)。八、[序号]报告作者。题名〔R〕。报告地：报告会主办单位,年份。九、[序号]电子文献作者。题名〔电子文献及载体类型标识〕。文献出处，日期。
文献综述是对某一方面的专题搜集大量情报资料后经综合分析而写成的一种学术论文， 它是科学文献的一种。 格式与写法 文献综述的格式与一般研究性论文的格式有所不同。这是因为研究性的论文注重研究的方法和结果，特别是阳性结果，而文献综述要求向读者介绍与主题有关的详细资料、动态、进展、展望以及对以上方面的评述。因此文献综述的格式相对多样，但总的来说，一般都包含以下四部分：即前言、主题、总结和参考文献。撰写文献综述时可按这四部分拟写提纲，在根据提纲进行撰写工。 前言部分，主要是说明写作的目的，介绍有关的概念及定义以及综述的范围，扼要说明有关主题的现状或争论焦点，使读者对全文要叙述的问题有一个初步的轮廓。 主题部分，是综述的主体，其写法多样，没有固定的格式。可按年代顺序综述，也可按不同的问题进行综述，还可按不同的观点进行比较综述，不管用那一种格式综述，都要将所搜集到的文献资料归纳、整理及分析比较，阐明有关主题的历史背景、现状和发展方向，以及对这些问题的评述，主题部分应特别注意代表性强、具有科学性和创造性的文献引用和评述。 总结部分，与研究性论文的小结有些类似，将全文主题进行扼要总结，对所综述的主题有研究的作者，最好能提出自己的见解。 参考文献虽然放在文末，但却是文献综述的重要组成部分。因为它不仅表示对被引用文献作者的尊重及引用文献的依据，而且为读者深入探讨有关问题提供了文献查找线索。因此，应认真对待。参考文献的编排应条目清楚，查找方便，内容准确无误。关于参考文献的使用方法，录著项目及格式与研究论文相同，不再重复。
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文献综述就是用资料，只不多有一个比较固定的格式。主要是，关于你的论文主题，国内外学者提出多点看法和主张。某某学者在某某文章中，就你的论文主题，提出看法认为如何如何都是这样的语句，写出来就ok了。需要大概七八篇文章的论述，最好是高级的人物写的文章，发表在高级期刊上的。-wenxianzongshu-html文献综述的写作技巧和范文，中国知网的，很全面。合适采纳啊
本科毕业设计（论文） 文献综述 院 （系）： 专 业： 班 级： 学生姓名： 学 号: 年 月 日 本科生毕业设计（论文）文献综述评价表 毕业设计（论文）题目 综述名称 注意综述名称（综述内容中不要出现本课题怎么样等等） 评阅教师姓名 职称 评 价 项 目 优 良 合格 不合格 综述结构 01 文献综述结构完整、符合格式规范 综述内容 02 能准确如实地阐述参考文献作者的论点和实验结果 03 文字通顺、精练、可读性和实用性强 04 反映题目所在知识领域内的新动态、新趋势、新水平、新原理、新技术等 参考文献 05 中、英文参考文献的类型和数量符合规定要求，格式符合规范 06 围绕所选毕业设计（论文）题目搜集文献 成绩 综合评语： 评阅教师（签字）： 年 月 日 文献综述： 小四号宋 空一行 标题 二号黑居中 空一行 1 XXX 三号黑 XXX 小四号宋，行距20磅 1 XXXX 小三号黑 XXX 小四号宋，行距20磅 1 XXX 四号黑 XXX 小四号宋，行距20磅 空一行 2 XXXX 三号黑 (空1行) 参 考 文 献 (空1行) [要求按国标GB 7714—87《文后参考文献著录规则》书写，例如：] [1] 袁庆龙，候文义．Ni-P合金镀层组织形貌及显微硬度研究［J］．太原理工大学学报，2001，32(1)：51-53 ．（宋体五号，行距固定值20磅） [2] 刘国钧，王连成．图书馆史研究［M］．北京：高等教育出版社，1979：15-18，31． 下面的是我的文献综述 文献综述: FTO透明导电薄膜的溅射法制备 1 前言 为了更好的开展毕业论文及毕业实验工作，在查找和阅读与《DSSC用FTO透明导电玻璃的溅射法制备》相关的文献和资料，完成撰写了本文献综述。随着科技的日趋成熟，导电玻璃的制备方法也越来越成熟，种类也衍生得越来越多。 本文章将对国内外的制备方法，种类，发展现状及趋势，工艺性能，退火处理对性能的影响等方面做一简要介绍。 2透明导电玻璃的种类及制备方法简介 1透明导电玻璃的种类 1 1 TCO导电玻璃 TCO（Transparent Conductive Oxide）玻璃，即透明导电氧化物镀膜玻璃，是指在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜而形成的组件主要包括铟、锡、锌、铬的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。 2 ITO透明导电玻璃 ITO透明导电玻璃全称为氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃,多通过ITO导电膜玻璃生产线,在高度净化的厂房环境中,利用平面磁控技术,在超薄玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。 ITO玻璃产品广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域。 3FTO透明导电玻璃 FTO透明导电玻璃为掺杂氟的SnO2导电玻璃(SnO2:F)，简称为FTO。FTO玻璃可以做为ITO导电玻璃的替换用品，广泛用于液晶显示屏，光催化，薄膜太阳能电池基底等方面，市场需求极大 FTO玻璃因其特殊性，在染料敏化太阳能电池，电致变色和光催化方面对其透光率和导电率都有很高的要求，其综合性能常用直属FTC来评价：FTC＝T10／RS。T是薄膜的透光率，RS是薄膜的方阻值；在光学应用方面，则要求其对可见光有好的透射性和对红外有良好的反射性。对其基本要求是：①表面方阻低，②透光率高，③面积大、重量轻，④易加工、耐冲击。 2FTO透明导电玻璃制备方法 FTO透明导电玻璃的制备方法有，物理方法：溅射法、真空蒸发镀膜法、离子辅助沉积镀膜法等；化学方法：喷雾热解法、溶胶-凝胶法和化学气相沉积法等。目前适合批量生产且研发较多的有真空蒸发镀膜法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解等方法！［1］化学气相沉积法和真空镀膜法制备的薄膜和玻璃基板的结合强度不够，溶胶-凝胶法制备的导电薄膜电阻较高。适合于批量生产且已经形成产业的工艺，只有磁控溅射法和溶胶－凝胶法。特别是，溅射法由于具有良好的可控性和易于获得大面积均匀的薄膜。 1磁控溅射法镀膜： 溅射镀膜(sputtering deposition)是指用离子轰击靶材表面，使靶材的原子被轰击出来，溅射产生的原子沉积在基体表面形成薄膜。溅射镀膜有二级、三级或四级溅射、磁控溅射、射频溅射、偏压溅射、反应溅射、离子束溅射等装置。 目前最常用的制备CoPt 磁性薄膜的方法是磁控溅射法。磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使氩气发生电离。氩离子被阴极加速并轰击阴极靶表面，将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。通过更换不同材质的靶和控制不同的溅射时间，便可以获得不同材质和不同厚度的薄膜。磁控溅射法具有镀膜层与基材的结合力强、镀膜层致密、均匀等优点。 2真空蒸发镀膜： 真空蒸发镀膜(vacuum vapor deposition)是在工作压强低于10-2 Pa，用蒸发器加热物质使之汽化蒸发到基片，并在基片上沉积形成固态薄膜的一种工艺方法。真空蒸发的加热方式主要有电阻加热蒸发、电子束加热蒸发、高频加热蒸发和激光加热蒸发等。对于镀制透明导电氧化物薄膜而言，其真空蒸发镀膜工艺一般有三种途径：(1)直接蒸发氧化物；(2)采用反应蒸发镀，即在蒸发金属的同时通入氧气进行化学反应生成金属氧化物；(3)对蒸发金属镀膜进行氧化处理。 3溶胶-凝胶法： 溶胶-凝胶法(so1-gel)是近年来发展起来的能代替高温固相合成反应制备陶瓷、玻璃和许多固体薄膜材料的一种新方法。它将金属醇盐或无机盐经溶液、溶胶、凝胶而周化，再将凝胶低温处理变为氧化物的方法，是应用胶体化学原理制各无机材料的一种湿化学方法。溶胶-凝胶工艺是一种制备多元氧化物薄膜的常用方法。按工艺可分为浸涂法和旋涂法。浸涂法是将衬底浸人含有金属离子的前驱体溶液中，以均匀速度将其提拉出来，在含有水分的空气中发生水解和聚合反应，最后通过热处理形成所需薄膜；而旋涂法则是通过将前体溶液滴在衬底后旋转衬底获得湿膜。 4化学气相沉积法： 化学气相沉积(chemical vapor deposition，CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态薄膜沉积在加热的固态衬底表面，是一种重要的薄膜制各方法。CVD法所选的反应体系必须满足：(1)在沉积温度下，反应物必须有足够的蒸汽压；(2)化学反应产物除了所需的沉积物为固态外，其余必须为气态；(3)沉积物的蒸汽压应足够低，以保证能较好地吸附在具有一定温度的基体上，但此法因必须制各具有高蒸发速率的铟锡前驱物而使生产成本较高。影响化学气相沉积薄膜的工艺参数很多，包括基体温度、气压、工作气体流量和反应物及其浓度等。 化学气相沉积技术的主要特点包括：设备及工艺简单、操作维护方便、灵活性强；适合在各种形状复杂的部件上沉积薄膜：由于设备简单，薄膜制备的成本也比较低。但是，薄膜的表面形貌很大程度上受到化学反应特性以及能量撒活方式的影响。 5喷雾热分解法： 喷雾热分解法是化学法成膜的一种，其过程与APCVD法比较相似。它是将前驱体溶液在高压载气的作用下雾化，然后输送到基片表面，在高温作用下，前驱体溶液发生一系列复杂的化学反应，在基片表面上得到需要的薄膜材料。而反应副产物一般是通过气相形式排出反应腔。常用的高压载气主要有：压缩空气、氮气、氩气等等。但是由于压缩空气中常含有大量的水蒸气，所以用氮气作为载气的情形比较多。如果需要在基片表面上发生分解反应，基片温度一般在300℃以上，在玻璃上制备FTO薄膜的基片温度一般为500℃。影响最终薄膜性能的喷涂参数有：载气压力、前驱体溶液流量、基片温度、喷口与基片的距离、喷枪移动速度等等［2］。在成膜过程中基材的温度、液体的流速、压缩气体的压力以及喷嘴到基材的距离等参数均可实现精确控制［3］。 3 FTO透明导电玻璃的研究现状、应用及发展趋势 1FTO透明导电玻璃的研究现状 自1907年Badeker首次报道了热氧化溅射的Cd薄膜生成半透明导电的CdO薄膜，引发了对透明导电氧化物(TCO)薄膜的研究。1950年前后出现了硬度高，化学稳定性好的SnO2基薄膜及综合光电性能优良的In2O3基薄膜，ZnO基薄膜的研究始于2O世纪80年代 。目前研究和应用较多的TCO薄膜主要有SnO2、In2O3。和ZnO基三大体系，其中以In203：Sn(ITO)，SnO2 ：F(FTO)和ZnO：Al(ZAO)最具代表性，这些薄膜具有高载流子浓度(1018～1021cm-3)和低电阻率(10-3～1O-4Ω•cm)，且可见光透射率8O％～90％，使这些薄膜已被广泛应用于平面显示、建筑和太阳光伏能源系统中。［4］ 已经商业化应用的TCO薄膜主要是In2O3Sn(ITO)和SnO2：F(FTO)2类，ITO由于其透明性好，电阻率低，易刻蚀和易低温制备等优点，一直是显示器领域中的首选TCO薄膜。FTO薄膜由于其化学稳定性好，生产设备简单，生产成本低等优点在节能视窗等建筑用大面积TCO薄膜中，具有很大的优势［5］。 Sn02：F（FTO）掺杂体系是一种n型半导体材料，表现出优良的电学和光学性能，并且耐腐蚀，耐高温，成本低，化学稳定性好，是现在研究较多，应用范围较广的一类TCO薄膜。苗莉等［6］采用喷雾热解法，以NH4F、SnCl2•2H20为原料，在普通玻璃衬底上制备出了方块电阻最低达到2Ω/口，可见光透光率为95％的FTO薄膜，且薄膜晶粒均匀，表面形貌平整致密。Yadav等［7］采用喷雾热解法，制备了不同厚度的FTO薄膜，最低电阻率达到91 X 10-4 Ω•cm。Moholkar等［8］采用喷雾热解法，制备了不同掺F浓度的FTO薄膜，研究了氟的掺杂浓度对Sn02薄膜的光学，结构和电学性能的影响。中国科学院等离子体物理研究所的戴松元小组［9、10］将FTO用于染料敏化太阳电池的透明电极，并获得较高的光电转换效率。 射频溅射： 射频溅射的基本原理是射频辉光放电。国内外射频溅射普遍选用的射频电源频率为13．56MHz,以防止射频信号与无线电信号的相互干扰。通常直流溅射的基本过程是，从阴极发出的电子，经过电场的加速后获得足够的能量，可以使气氛气体发生电离。正离子在电场作用下撞击阴极表面，溅射出阴极表面的原子、分子到衬底表面发生吸附、凝聚，最终成膜。 直流溅射不能用于绝缘体材料的薄膜制备，因为绝缘材料在受到正离子轰击时，靶材表面的正离子无法中和，使靶表面的电位逐渐升高，导致阴极靶与阳极问的电场减小，当靶表面电位上升到一定程度时，可以使气体无法电离，溅射无法进行。而射频溅射适合于任何一种类型的阻抗耦合，电极和靶材并不需要是导体，射频溅射非常适合于制备半导体、绝缘体等高熔点材料的薄膜。在靶材表面施加射频电压，当溅射处于上半周时，由于电子的质量比离子的质量小很多，故其迁移率很高，用很短时间就可以飞向靶面，中和其表面积累的正电荷，从而实现对绝缘材料的溅射，并且在靶表面又迅速积累起了大量的电子，使其表面因空间电荷而呈现负电位，导致在射频溅射正半周期，也可吸引离子轰击靶材。从而实现了在电压正、负半周期，均可溅射。磁场的作用是将电子与高密度等离子体束缚在靶材表面，可以提高溅射速度。［11］ 用JPGF一450型射频磁控溅射系统在玻璃衬底上制备SnO2：F薄膜，系统的本底真空度为10-3Pa．溅射所用陶瓷靶是由纯度为99％SnO2和NH4F，粉末经混合、球磨后压制成坯，再经1300℃烧结而成，靶中NH4F的重量比是78％，用纯度为99．99％ 的氩气和氧气作为工作气体，由可控阀门分别控制气体的流量。溅射过程中，控制真空室内氩气压强为1Pa，氧分压为5—5 Pa，靶与衬底间的距离为5cm．溅射功率为150W，溅射时间为25 min，衬底温度为100℃。用RIGAKU D／MAX—yA型x射线衍射(XRD)仪(CuKa辐射波长，154178 nm)测试样品的结构，用APHM一0190型原子力显微镜(AFM)观测样品的表面形貌，使用 rv一1900型紫外可见光分光光度计测量样品的吸收谱，使用激发源为325 nm的He—Cd激光器的光谱仪测量样品的室温光致发光谱，使用普通的万电表测试它的导电性（前提是尽量保持测量条件的一致性）。 2FTO透明导电玻璃的应用 FTO透明导电玻璃具有优良的光电性能，被广泛用于太阳能电池的窗口材料、低损耗光波导电材料及各种显示器和非晶硅太阳能电池中作为透明玻璃电极等，与生活息息相关。 1在薄膜太阳电池上的应用 太阳能电池是利用光伏效应，在半导体p-n结直接将太阳光的辐射能转化成电能的一种光电器件。TCO薄膜是太阳电池关键材料之一，可作为染料敏化太阳电池(dye-sensitized solar cells，DSCS)［12］等的透明电极，对它的要求是：具有低电阻率(方块电阻Rsh约为15Ω/□)；高阳光辐射透过率，即吸收率与反射率要尽可能低；化学和力学稳定性好的特点。在薄膜太阳电池中，透明导电膜充当电极，具有太阳能直接透射到作用区域几乎不衰减、形成p-n结温度较低、低接触电阻、可同时作为防反射薄膜等优点。 2在显示器上的应用 显示器件能将外界事物的光、声、电等信息，经过变换处理，以图像、图形、数码、字符等适当形式加以显示。显示技术的发展方向是平板化。在众多平板显示器中，薄膜电致发光显示由于其主动发光、全固体化、耐冲击、视角大、适用温度宽、工序简单等优点，引起广泛关注，并发展迅速。FTO薄膜具有可见光透过率高、电阻率低、较好的耐蚀性和化学稳定性，因此被广泛用作平板显示器的透明电极。 3在气敏元件上的应用 气体传感器是把气体的物理、化学性质变换成易处理的光、电、磁等信号的转换元件。半导体气体传感器是采用金属氧化物或金属半导体氧化物材料做成的元件，与气体相互作用时产生表面吸附或反应，引起以载流子运动为特征的电导率或伏安特性或表面电位变化。二氧化锡薄膜气敏器件具有灵敏度高、响应速度和恢复速度快、功耗低等特点，更重要的是容易集成。随着微电子技术的发展，传感器不断向智能化、微型化方向发展。［13］ 4在建筑幕墙玻璃及透明视窗上的应用 喷雾热解法制各的FTO薄膜能用于阳光节能玻璃，对可见光高透射，但对红外光高反射，其反射率大于70％。让阳光中可见光部分透过，而红外部分和远红外反射。阳光中的可见光部分对室内采光是必需的，但可将红外部分的热能辐射反射回去，能有效调节太阳光的入射和反射。利用FTO薄膜在可见光区的高透射性和对红外光的高反射性，可作为玻璃的防雾和防冰霜薄膜。 3 FTO透明导电玻璃的发展趋势 随着LCD的商品化、彩色化、大型化和TFT的驱动或太阳能电池的能量转变效率的提高，人们对透明导电氧化物（TCO）薄膜的要求越来越严格，至少需要满足如下条件： (1)导电性能好，电阻率较低； (2)可见光内透光率较高： (3)镀膜温度更接近室温，能大面积均匀地镀膜； (4)膜层加工性能好，可以进行高精度低损伤腐蚀； (5)热稳定性及耐酸、碱性优良，硬度高； (6)表面形状良好，没有针孔； (7)价格较低，可实现大规模工业化生产。 目前，TCO薄膜已普遍达到下列水平：膜厚为500 nm的情况下电阻率在10-4 Ω•cm数量级，在可见光区透光率达80％，载流子迁移率一般达到40cm2／(v•s)。虽然TCO薄膜的性能指标可以满足当前应用需要，但随着器件性能的不断提升，对TCO薄膜提出了更高的性能要求。一些学者提出了TCO薄膜发展的一个量化的前景指标：禁带宽度>3 eV，直流电阻率～5×10-5 Ω•cm，可见光段在自由电子作用下的吸收系数<2x103 cm-1，载流子迁移率>100 cm2／(v•s)。 几十年来，人们一直在努力提高透明导电薄膜的透明性和导电性。SnO2：F（TFO）透明导电薄膜由于其兼备低电阻，高的可见光透过率，近红外高的反射率，优良的膜强度和化学稳定性等优点，越来越受到人们的青睐，必将在平板显示器件、建筑物玻璃和气敏传感器等众多领域中得到更广泛的应用。利用溅射法制备FTO透明导电玻璃它的生产工艺简单，操作方便，利于控制。成本较低，原料易得，但在制备过程中NH4F加热分解放出有污染的氮氧化物和氨烟，这对以后商业化生产造成了很大的制约。所以对原料的改进和污染的控制方面还有待开发。 4 制备条件对膜结构及光电性能的影响 长安大学材料科学与工程学院段理等做了磁控溅射制备银掺杂ZnO薄膜结构及光电性质研究实验，发表了文献［14］，并在文献14中得出了1——3的结论。 1制备条件对膜厚的影响 文献中采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了银掺杂ZnO薄膜，当薄膜淀积时间从30rain延长到90min时，薄膜的厚度几乎按照线性关系从约270nm增加到820nm，即薄膜的淀积速率大致稳定在9nm／min左右，为匀速生长。溅射功率与膜厚呈线性增长，及沉淀速率与溅射功率大致呈线性关系。 2制备条件对膜结构的影响 晶体质量随溅射功率的增大而降低，随溅射气压的增大而降低。 3制备条件对膜光电性质的影响 在固定溅射总气压的条件下，增大氧分压可以增强薄膜的紫外发光强度，增大薄膜的载流子浓度。 4 退火对薄膜的影响 退火能显著提高薄膜晶体质量，并增强薄膜的PL发光强度和导电能力，其原因是退火能使银离子完成对锌离子的替代从而形成受主。［15］ 5 退火后处理对膜结构与成分的影响 光敏薄膜的光电、形貌性能与退火处理密切相关，退火处理优化了薄膜表面形貌、减小了光学能隙、增大了薄膜的导电率和载流子迁移率。光敏薄膜性能的优化，有利于增大聚合物太阳电池的填充因子、开路电压和短路电流，对于提高其能量转换效率、改善器件光伏性能具有非常重要的意义。［16］分别对较低氧分压反应磁控溅射制备的 薄膜进行氧化性气氛和惰性气氛退火。通过XRD和SEM 分析，发现氧化性气氛退火薄膜为表面多孔的金红石结构 ，而惰性气氛退火薄膜表面较为致密，结构分析不仅观察到金红石结构的 ，还发现了四方结构的 。XPS表面分析进一步表明，氧化性气氛退火后，薄膜成分单一，未氧化的 完全氧化成稳定的 ，而且具有稳定结构的 薄膜表面吸附水很少。相对而言，惰性气氛退火后，薄膜表面 、 和 共存，表面化学吸附氧和吸附水较明显，薄膜的稳定性降低。［17］ 6 FTO导电玻璃制备相关参数 根据范志新等所提出的理论表达式： 带入相关数据可得到，SnO2:F（FTO）的最佳掺杂含量为54%［18］通过对比总结，参考大量数据，选择溅射功率：100W，溅射压力：5Pa，溅射时间：5h，溅射靶距：38mm［13、19］做产品。进行相关参数的选择与优化。 7 参考文献 1、张志海， 热解法制备氟掺杂二氧化锡导电薄膜及其性能研究 合肥工业大学 2、汪振东， 玻璃基TiO<,2>-SiO<,2>/SnO<,2>：F薄膜的喷雾热分解法制备和表征 武汉理工大学 3、郝喜红， 喷雾热解法制备掺杂二氧化锡导电薄膜 西安建筑科技大学 4、张明福等， 透明导电氧化物薄膜研究的新进展 压电与声光 5、方俊 杨万莉， n型透明导电氧化物薄膜的研究新进展 陶瓷 6、苗莉等， SnO2:F导电薄膜的制备方法和性能表征 材料导报 7、Yadav A A，Masumdar E U，Moholkar A V，et a1．Effect of quantity of spraying solution on the properties of spray deposited fluorine doped tin oxide thin films[J]．Physiea B：Condensed Matter，2009，404(12—13)：1874 - 1877． 8、Moholkar A V，Pawar S M，Rajpure K Y，et a1．Effect of fluorine doping on highly transparent conductive spray deposited nanocrystalline tin oxide thin films[J]．Applied Surface Science，2009，255(23)：9358—9364． 9、Dai S，Wang K，Weng J，et a1．Design of DSC panel with efficiency more than 6％[J1．Solar Energy Materials and Solar Ceils，2005，85(3)：447—455． 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