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思想政治教育类文献综述范文

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思想政治教育类文献综述范文

我们这有论思想政治教育的影响,需要么

如果你不知道如何写,但是又急着交。一个非常简便的方法,就是去知网上面找你要写的那方面的硕士论文,上面有完整的文献综述(那最好,你稍稍改动即可),如果是开题报告形式,你就可以找好它上面的内容(其实跟文献综述写的内容差不多,只是格式和形式不太一样)。你按照以下的提纲自己复制粘贴内容即可(我们这学期写了一篇文献综述),也有可能每个学校的要求提纲不太一样,不过都是差不多的不用太担心,主要是内容要找准: 论文题目:一般不超过25个字,要简练准确,副标题统一为“文献综述及研究思路”可分两行书写; 摘要:中文摘要字数应在300字左右,英文摘要与中文摘要内容要相对应; 关键词:关键词以3—5个为宜,应该尽量从《汉语主题词表》中选用,分号隔开; 正文:正文要符合一般学术论文的写作规范,内容层次分明,数据可靠,文字简练,观点正确,能运用现代经济学、管理学的分析方法,并能学会利用计量经济学、统计学等相关工具对所涉及的问题进行分析,文章主体字数为4000字以上。正文基本结构如下: 一、选题背景及选题意义 二、有关国内外研究成果综述 (一)国外研究成果 (二)国内研究成果 (三)对研究成果的评述(这个地方就不要把引用的写出来了,我被我们老师就批了) 三、基本研究思路(最好有图,把你参考的文章所有的提纲画一个简易图即可,不单是自己的文献综述,是你参考的整篇论文的内容) 四、研究方法及创新处 参考文献:参考文献应按文中引用出现的顺序列出,只列出作者直接阅读过、在正文中被引用过的文献资料,一律列在正文的末尾,特别在引用别人的科研成果时,应在引用处加以说明。每篇论文的参考文献一般不应少于五条。 希望对你有用~~

文献综述是对某一方面的专题搜集大量情报资料后经综合分析而写成的一种学术论文, 它是科学文献的一种。 格式与写法 文献综述的格式与一般研究性论文的格式有所不同。这是因为研究性的论文注重研究的方法和结果,特别是阳性结果,而文献综述要求向读者介绍与主题有关的详细资料、动态、进展、展望以及对以上方面的评述。因此文献综述的格式相对多样,但总的来说,一般都包含以下四部分:即前言、主题、总结和参考文献。撰写文献综述时可按这四部分拟写提纲,在根据提纲进行撰写工。 前言部分,主要是说明写作的目的,介绍有关的概念及定义以及综述的范围,扼要说明有关主题的现状或争论焦点,使读者对全文要叙述的问题有一个初步的轮廓。 主题部分,是综述的主体,其写法多样,没有固定的格式。可按年代顺序综述,也可按不同的问题进行综述,还可按不同的观点进行比较综述,不管用那一种格式综述,都要将所搜集到的文献资料归纳、整理及分析比较,阐明有关主题的历史背景、现状和发展方向,以及对这些问题的评述,主题部分应特别注意代表性强、具有科学性和创造性的文献引用和评述。 总结部分,与研究性论文的小结有些类似,将全文主题进行扼要总结,对所综述的主题有研究的作者,最好能提出自己的见解。 参考文献虽然放在文末,但却是文献综述的重要组成部分。因为它不仅表示对被引用文献作者的尊重及引用文献的依据,而且为读者深入探讨有关问题提供了文献查找线索。因此,应认真对待。参考文献的编排应条目清楚,查找方便,内容准确无误。关于参考文献的使用方法,录著项目及格式与研究论文相同,不再重复。

思想政治教育的影响你有具体的题目吗?或者大致要求啊~

思想政治教育类文献综述

文献综述是对某一方面的专题搜集大量情报资料后经综合分析而写成的一种学术论文, 它是科学文献的一种。 格式与写法 文献综述的格式与一般研究性论文的格式有所不同。这是因为研究性的论文注重研究的方法和结果,特别是阳性结果,而文献综述要求向读者介绍与主题有关的详细资料、动态、进展、展望以及对以上方面的评述。因此文献综述的格式相对多样,但总的来说,一般都包含以下四部分:即前言、主题、总结和参考文献。撰写文献综述时可按这四部分拟写提纲,在根据提纲进行撰写工。 前言部分,主要是说明写作的目的,介绍有关的概念及定义以及综述的范围,扼要说明有关主题的现状或争论焦点,使读者对全文要叙述的问题有一个初步的轮廓。 主题部分,是综述的主体,其写法多样,没有固定的格式。可按年代顺序综述,也可按不同的问题进行综述,还可按不同的观点进行比较综述,不管用那一种格式综述,都要将所搜集到的文献资料归纳、整理及分析比较,阐明有关主题的历史背景、现状和发展方向,以及对这些问题的评述,主题部分应特别注意代表性强、具有科学性和创造性的文献引用和评述。 总结部分,与研究性论文的小结有些类似,将全文主题进行扼要总结,对所综述的主题有研究的作者,最好能提出自己的见解。 参考文献虽然放在文末,但却是文献综述的重要组成部分。因为它不仅表示对被引用文献作者的尊重及引用文献的依据,而且为读者深入探讨有关问题提供了文献查找线索。因此,应认真对待。参考文献的编排应条目清楚,查找方便,内容准确无误。关于参考文献的使用方法,录著项目及格式与研究论文相同,不再重复。

开题报告是指开题者对科研课题的一种文字说明材料。这是一种新的应用写作文体,这种文字体裁是随着现代科学研究活动计划性的增强和科研选题程序化管理的需要而产生的。开题者把自己所选的课题的概况(即"开题报告内容"),向有关专家、学者、科技人员进行陈述。然后由他们对科研课题进行评议。亦可采用"德尔菲法"评分,再由科研管理部门综合评议的意见,确定是否批准这一选题。开题报告作为毕业论文答辩委员会对学生答辩资格审查的依据材料之一。扩展资料:就形式上讲,国外的很多大学在本科阶段的确没有我们国内意义上的毕业论文,但这不等于他们对学术论文没有要求。在美国大学,每门课一个学期一般要写3~4篇论文。为了完成论文,学生必须大量读书、上网。每门课开课的第一天,老师就会告诫学生不许抄袭,引用别人的话也要注明出处。凡是抄袭,一经发现,轻则警告,重则开除。因此,美国大学生写论文很少有东拼西凑、蒙混过关的。至于毕业论文,绝大多数美国大学的本科生是不用写的,只有普林斯顿等少数几所大学要求本科生写毕业论文。参考资料来源:百度百科-开题报告

你的论文准备往什么方向写,选题老师审核通过了没,有没有列个大纲让老师看一下写作方向? 老师有没有和你说论文往哪个方向写比较好?写论文之前,一定要写个大纲,这样老师,好确 定了框架,避免以后论文修改过程中出现大改的情况!! 学校的格式要求、写作规范要注意,否则很可能发回来重新改,你要还有什么不明白或不懂可以 问我,希望你能够顺利毕业,迈向新的人生。下面我就阐述一下对于本次开题报告的心得体会。 一、总体感受 刚从本科生跨入研究生的大门,我觉得很难自如地转变角色。以前是按部就班地上课、考试, 有老师计划性的安排。而现在全凭自觉,师傅领进门,修行靠个人,想要培养独立学习的习惯实 在是困难,而且学习动力不足,总是得过且过。今天我意识到,只靠鞭子抽打才会前进的耕牛, 即使最终完成任务,过程也注定艰辛。学长学姐们正在实习,教课已经很累了,还要写论文,确 实是很辛苦,所以有些人就想要敷衍了事。但是各位导师都是很有责任心的,对于每一篇开题报 告都仔细阅读并发现问题,给予学生建设性的指导,足见他们对学生的负责态度、对学术的严谨 作风、对自身本职工作的敬业精神。导师每一个建议都是多年经验的沉淀,对我们来说都是沉甸 甸的宝贵财富。所以,我认为,既然选定了研究生这条路,我就必须牢记“不忘初衷,方能始 终”这句话,踏踏实实地看书、学习、实践、搞研究,努力提高个人修养。而且我是教育硕士, 更肩负着国家教育事业的未来,因此,唯有不断提高自身理论水平,并应用于实践,在实践中总 结经验,做到研究实践两不误,才能成为一名合格的教育者。二、对于选题的思考“主题”是一篇论文的精髓,是眼睛,透过它不仅能读懂论文,更能窥探作者内心的思想。以下 是我的一些思考:1、选题一定要“新”。 所谓“新”,不是为了“新”而“新”,去凭空创造一个童话般的东西来研究,这只是在建 造空中楼阁,根本找不到坚固的支撑。我认为,新颖就是“横看成岭侧成峰,远近高低各不 同”,即视角新。暂且不谈其他领域和专业,仅就思想政治教育专业而言,我国的研究成果就数 不胜数,放眼望去,似乎找不到一块处女地来开发。恰恰是这些烟雾弹蒙蔽了我们的双眼,世界 上最创新、最独特的不就是我们自己吗?有谁可以完全复制我们吗?没有的,所以站在自己的视 角,用自己的亲身经历来思考问题,不要试图从别人身上挖掘漏洞来研究,自己的思想永远是别 人不可复制的创新点。今天几位导师反复提到,说我们是教育硕士,有机会在一线教学,这是学 术型研究生所不具备的条件,因此我们要充分利用这一优势,在自身教学实践中发现问题。我国 教育方面存在许多问题,仅仅站在理论层面去探讨是没有实际意义的,自己在教学中发现的问题 才是真正迫切需要解决的问题。此外,我们的专业是培养中学思想政治教育课老师,这就是一个 限定,我们专注于本学科,就应该在选题上突出学科特点,不能泛泛地谈论所有学科都出现的问 题。因此,关于我的论文选题,我认为需要经历一段教学实践才能提出更有价值、更新颖的观 点。2、选题一定要“精”。 所谓“精”是指把主题的范围缩小至精华,找准一个核心点来深入探究,就好像抛进水中一 块石头,我们不能只研究水面泛起的波纹多么美丽,重点应该是石头进入水中的状况。 俗话说,面面俱到就是面面不到。选题也是如此,作为一名研究生,我们的能力有限,国家、社 会层面的问题是我们力所不能及的,太过宽泛就是“假、大、空”,因此只要做好眼前就行了, 针对自己所教学科、年级甚至班级、某一节课出现的问题进行研究,范围越小就越出新,越能深 入挖掘,越能触及本质问题。例如有篇论文是《当代中学生孝道问题研究》,导师们说选题很 好,“孝道”问题是个新问题,但是界定的太过宽泛,可以缩小为“中学思想政治教育课中孝道 问题研究”,这样就提高了研究的深度。再如,论文《探究式教学在<文化生活>中的应用研 究》,导师指出,并不是《文化生活》中的每一节课都需要运用探究式教学,最好是细化到具体 某一节课来研究。当然,“精”也要把握好一定的尺度,要确保在精准的前提下有话可说,有东 西可挖。 3、选题一定要“准”。 所谓“准”就是界定准确。 一般理科类研究力求精准,用数字说话,不能有半点误差。人文科学虽然不能数量化,但是 许多概念很类似,多一字少一字就会改变原意,如果在选题上界定不准就容易在今后的研究中走 错方向。例如,有篇论文是《中职生心理健康教育中的现状、问题、策略研究》,导师提出, “心理健康教育”在这里是指狭义的“心理健康教育课”还是广义的“心理健康教育”,这两者 是差别迥异的,如果不界定清楚就会使读者误解。因此,搞学术研究要注意语言的准确性。 4、选题一定要“真”。 所谓“真”就是真实发生的、真切存在的。 在选题时我们往往为了追求创新点而无病呻吟,本来微不足道的问题也可以放大去谈,只因 为这个问题没人研究过。这是一个恶性循环,其弊端将是学术越来越偏离其实效性。前面已经提 到,教育硕士在撰写论文时一定要侧重实践研究,这是我们的特点,更是优势。所以要想选题 “真”,唯有实践,实践才能出真知。一篇论文就是一段教学经历的总结,亲眼看到的、亲耳听 到的第一手资料绝对比书上看来的更有价值、更有说服力。因此,我们该摒弃眼高手低的坏习 惯,低下头去身体力行,用行动做学问,用真心解决问题。 5、关于选题的其他问题 除了以上详细论述的问题之外,我认为选题还要注意一下几个方面:实际性、科学性、可行 性、合适性。导师没有重点讲解,我通过查阅课堂笔记整理了这么几点,认为也是值得借鉴的。 三、对于文献综述的思考 文献综述是写作前期进行大量准备工作的总结性报告,不仅要整理所读文献,还要提出自己 的见解。文献综述反映了作者阅读文献的广度和深度,因此我们需要注意一下几个问题: 1、文献尽量全面。我们说,老师要给学生一杯水,自己就要有一桶水,写论文亦是如此,只有 查阅了大量的相关文献我们才能全面地了解选题的发展动态,包括国外的和国内的,胸中没有足 够的墨水是难以写出有理有据的论文的。这就启示我要多读书、读好书,充分利用图书馆以及网 络资源,拓宽知识面。 2、选用较新的文献。我们的选题要推陈出新,参考文献也要与时俱进,紧跟学术发展潮流,筛 选出最新最近的文献,这样才能更好地体现时代特点,更容易我们结合实际。 3、选用具有代表性、科学性、可靠性的文献。老话说的好,病急乱投医。我们在写作时常常出 现这样的问题,凡是与选题相关的文献通通阅读,以至于找不到重点,甚至不考虑文献的可靠 性,结果就是“乱花渐欲迷人眼”,根本分不清楚孰好孰坏了。所以,选择文献要去权威机构搜 索,注意筛选,不可尽信。 4、要忠实于参考文献。我们常常有这样一种心理,就是所选资料都是为论文服务的,所以当出 现与论文观点不符的内容时,会选择性地篡改一些资料以满足论文。我自己也出现过这样的错 误。在以后的研究中,我们应尊重科学,保持严谨的科研态度,实事求是。 四、对于论文框架的思考 框架是整篇论文的骨架,是作者思路的反映。我认为在写论文框架时需要注意一下几个问题: 1、要思路清晰。包含两个方面,一是各个大标题的关联度。也就是说论文标题要有一定的顺序 性,比如常见的“目的-意义-现状-问题-策略”式,要符合逻辑,这个方面一般没有问题。二是 某一标题下内容的契合度。我们的论文会涉及三级标题甚至四级标题,层次越多就越容易混乱, 本应属于这一个标题的内容却写到了别的标题下,内容与标题的吻合度不高,似乎适合于这个标 题,又适合于那个标题。所以还是上文提到的,选题要准确,进而思路紧扣主题,都有极强的针 对性,这样就不容易混乱。 2、要分清主次。这一点还是要和选题结合起来。在今天的开题报告中普遍存在一个问题,那就 是本末倒置。大家都是基于自身实践提出一个问题进行研究,在行文时先介绍这个问题的相关理 论知识,比如目的、意义、原则等,然后开始谈论实践意义。思路是对的,只是在论述理论时篇 幅过长,这些理论都是前人总结好载入书籍的,没有必要再拿出来长篇大论,使人看不到新意, 好像是观点堆砌一样,实践部分本应是重点,却被忽视。这个现象在我们做论文时普遍存在,当 我们搜集到大量相关信息时就希望全都写到论文里面以显示自己多有水平,其实不然,这样会让 读者敬佩你的阅读量时认为你没有自我。所以搞研究还是要脚踏实地,多思考,多创造。 以上便是参加开题报告的心得体会,愿您一切安好!

开题报告就是你选题的一些简要介绍,让老师看看你的题目是否合理,准备的差不多。开题报告是指开题者对科研课题的一种文字说明材料,是一种应用写作文体。它作为毕业论文答辩委员会对学生答辩资格审查的依据材料之一。开题者把自己所选的课题的概况向有关专家、学者等进行陈述。然后由他们对科研课题进行评议,再由科研管理部门综合评议意见,确定是否批准选题。开题报告包括综述、关键技术、可行性分析和时间安排等四个方面 。由于开题报告是用文字体现的论文总构想,因而篇幅不必过大,但要把计划研究的课题、如何研究、理论适用等主要问题写清楚。开题报告一般为表格式,它把要报告的每一项内容转换成相应的栏目,这样做,既避免遗漏;又便于评审者一目了然,把握要点。

文献综述范文1000字思想政治教育

理解理解,当时我写文献综述时也急的团团转。其实,你只要到万方、维普、知网等数据库上多下些文献,切记是“学位论文”,把每篇里的文献综述找出来梳理一下,变成自己的就OK啦,还挺快的。以上是我经验之谈,但愿能帮到你。

本科毕业设计(论文)  文献综述  院 (系):  专 业:  班 级:  学生姓名: 学 号:  年 月 日  本科生毕业设计(论文)文献综述评价表  毕业设计(论文)题目  综述名称 注意综述名称(综述内容中不要出现本课题怎么样等等)  评阅教师姓名 职称  评 价 项 目 优 良 合格 不合格  综述结构 01 文献综述结构完整、符合格式规范  综述内容 02 能准确如实地阐述参考文献作者的论点和实验结果  03 文字通顺、精练、可读性和实用性强  04 反映题目所在知识领域内的新动态、新趋势、新水平、新原理、新技术等  参考文献 05 中、英文参考文献的类型和数量符合规定要求,格式符合规范  06 围绕所选毕业设计(论文)题目搜集文献  成绩  综合评语:  评阅教师(签字):  年 月 日  文献综述: 小四号宋  空一行  标题 二号黑居中  空一行  1 XXX 三号黑  XXX 小四号宋,行距20磅  1 XXXX 小三号黑  XXX 小四号宋,行距20磅  1 XXX 四号黑  XXX 小四号宋,行距20磅  空一行  2 XXXX 三号黑  (空1行)  参 考 文 献  (空1行)  [要求按国标GB 7714—87《文后参考文献著录规则》书写,例如:]  [1] 袁庆龙,候文义.Ni-P合金镀层组织形貌及显微硬度研究[J].太原理工大学学报,2001,32(1):51-53 .(宋体五号,行距固定值20磅)  [2] 刘国钧,王连成.图书馆史研究[M].北京:高等教育出版社,1979:15-18,31.  下面的是我的文献综述  文献综述:  FTO透明导电薄膜的溅射法制备  1 前言  为了更好的开展毕业论文及毕业实验工作,在查找和阅读与《DSSC用FTO透明导电玻璃的溅射法制备》相关的文献和资料,完成撰写了本文献综述。随着科技的日趋成熟,导电玻璃的制备方法也越来越成熟,种类也衍生得越来越多。  本文章将对国内外的制备方法,种类,发展现状及趋势,工艺性能,退火处理对性能的影响等方面做一简要介绍。  2透明导电玻璃的种类及制备方法简介  1透明导电玻璃的种类  1 1 TCO导电玻璃  TCO(Transparent Conductive Oxide)玻璃,即透明导电氧化物镀膜玻璃,是指在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜而形成的组件主要包括铟、锡、锌、铬的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。  2 ITO透明导电玻璃  ITO透明导电玻璃全称为氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃,多通过ITO导电膜玻璃生产线,在高度净化的厂房环境中,利用平面磁控技术,在超薄玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。 ITO玻璃产品广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域。  3FTO透明导电玻璃  FTO透明导电玻璃为掺杂氟的SnO2导电玻璃(SnO2:F),简称为FTO。FTO玻璃可以做为ITO导电玻璃的替换用品,广泛用于液晶显示屏,光催化,薄膜太阳能电池基底等方面,市场需求极大 FTO玻璃因其特殊性,在染料敏化太阳能电池,电致变色和光催化方面对其透光率和导电率都有很高的要求,其综合性能常用直属FTC来评价:FTC=T10/RS。T是薄膜的透光率,RS是薄膜的方阻值;在光学应用方面,则要求其对可见光有好的透射性和对红外有良好的反射性。对其基本要求是:①表面方阻低,②透光率高,③面积大、重量轻,④易加工、耐冲击。  2FTO透明导电玻璃制备方法  FTO透明导电玻璃的制备方法有,物理方法:溅射法、真空蒸发镀膜法、离子辅助沉积镀膜法等;化学方法:喷雾热解法、溶胶-凝胶法和化学气相沉积法等。目前适合批量生产且研发较多的有真空蒸发镀膜法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解等方法![1]化学气相沉积法和真空镀膜法制备的薄膜和玻璃基板的结合强度不够,溶胶-凝胶法制备的导电薄膜电阻较高。适合于批量生产且已经形成产业的工艺,只有磁控溅射法和溶胶-凝胶法。特别是,溅射法由于具有良好的可控性和易于获得大面积均匀的薄膜。  1磁控溅射法镀膜:  溅射镀膜(sputtering deposition)是指用离子轰击靶材表面,使靶材的原子被轰击出来,溅射产生的原子沉积在基体表面形成薄膜。溅射镀膜有二级、三级或四级溅射、磁控溅射、射频溅射、偏压溅射、反应溅射、离子束溅射等装置。  目前最常用的制备CoPt 磁性薄膜的方法是磁控溅射法。磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气,在阴极(柱状靶或平面靶)和阳极(镀膜室壁) 之间施加几百K 直流电压,在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电,使氩气发生电离。氩离子被阴极加速并轰击阴极靶表面,将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。通过更换不同材质的靶和控制不同的溅射时间,便可以获得不同材质和不同厚度的薄膜。磁控溅射法具有镀膜层与基材的结合力强、镀膜层致密、均匀等优点。  2真空蒸发镀膜:  真空蒸发镀膜(vacuum vapor deposition)是在工作压强低于10-2 Pa,用蒸发器加热物质使之汽化蒸发到基片,并在基片上沉积形成固态薄膜的一种工艺方法。真空蒸发的加热方式主要有电阻加热蒸发、电子束加热蒸发、高频加热蒸发和激光加热蒸发等。对于镀制透明导电氧化物薄膜而言,其真空蒸发镀膜工艺一般有三种途径:(1)直接蒸发氧化物;(2)采用反应蒸发镀,即在蒸发金属的同时通入氧气进行化学反应生成金属氧化物;(3)对蒸发金属镀膜进行氧化处理。  3溶胶-凝胶法:  溶胶-凝胶法(so1-gel)是近年来发展起来的能代替高温固相合成反应制备陶瓷、玻璃和许多固体薄膜材料的一种新方法。它将金属醇盐或无机盐经溶液、溶胶、凝胶而周化,再将凝胶低温处理变为氧化物的方法,是应用胶体化学原理制各无机材料的一种湿化学方法。溶胶-凝胶工艺是一种制备多元氧化物薄膜的常用方法。按工艺可分为浸涂法和旋涂法。浸涂法是将衬底浸人含有金属离子的前驱体溶液中,以均匀速度将其提拉出来,在含有水分的空气中发生水解和聚合反应,最后通过热处理形成所需薄膜;而旋涂法则是通过将前体溶液滴在衬底后旋转衬底获得湿膜。  4化学气相沉积法:  化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应,生成固态薄膜沉积在加热的固态衬底表面,是一种重要的薄膜制各方法。CVD法所选的反应体系必须满足:(1)在沉积温度下,反应物必须有足够的蒸汽压;(2)化学反应产物除了所需的沉积物为固态外,其余必须为气态;(3)沉积物的蒸汽压应足够低,以保证能较好地吸附在具有一定温度的基体上,但此法因必须制各具有高蒸发速率的铟锡前驱物而使生产成本较高。影响化学气相沉积薄膜的工艺参数很多,包括基体温度、气压、工作气体流量和反应物及其浓度等。  化学气相沉积技术的主要特点包括:设备及工艺简单、操作维护方便、灵活性强;适合在各种形状复杂的部件上沉积薄膜:由于设备简单,薄膜制备的成本也比较低。但是,薄膜的表面形貌很大程度上受到化学反应特性以及能量撒活方式的影响。  5喷雾热分解法:  喷雾热分解法是化学法成膜的一种,其过程与APCVD法比较相似。它是将前驱体溶液在高压载气的作用下雾化,然后输送到基片表面,在高温作用下,前驱体溶液发生一系列复杂的化学反应,在基片表面上得到需要的薄膜材料。而反应副产物一般是通过气相形式排出反应腔。常用的高压载气主要有:压缩空气、氮气、氩气等等。但是由于压缩空气中常含有大量的水蒸气,所以用氮气作为载气的情形比较多。如果需要在基片表面上发生分解反应,基片温度一般在300℃以上,在玻璃上制备FTO薄膜的基片温度一般为500℃。影响最终薄膜性能的喷涂参数有:载气压力、前驱体溶液流量、基片温度、喷口与基片的距离、喷枪移动速度等等[2]。在成膜过程中基材的温度、液体的流速、压缩气体的压力以及喷嘴到基材的距离等参数均可实现精确控制[3]。  3 FTO透明导电玻璃的研究现状、应用及发展趋势  1FTO透明导电玻璃的研究现状  自1907年Badeker首次报道了热氧化溅射的Cd薄膜生成半透明导电的CdO薄膜,引发了对透明导电氧化物(TCO)薄膜的研究。1950年前后出现了硬度高,化学稳定性好的SnO2基薄膜及综合光电性能优良的In2O3基薄膜,ZnO基薄膜的研究始于2O世纪80年代 。目前研究和应用较多的TCO薄膜主要有SnO2、In2O3。和ZnO基三大体系,其中以In203:Sn(ITO),SnO2 :F(FTO)和ZnO:Al(ZAO)最具代表性,这些薄膜具有高载流子浓度(1018~1021cm-3)和低电阻率(10-3~1O-4Ω•cm),且可见光透射率8O%~90%,使这些薄膜已被广泛应用于平面显示、建筑和太阳光伏能源系统中。[4] 已经商业化应用的TCO薄膜主要是In2O3Sn(ITO)和SnO2:F(FTO)2类,ITO由于其透明性好,电阻率低,易刻蚀和易低温制备等优点,一直是显示器领域中的首选TCO薄膜。FTO薄膜由于其化学稳定性好,生产设备简单,生产成本低等优点在节能视窗等建筑用大面积TCO薄膜中,具有很大的优势[5]。  Sn02:F(FTO)掺杂体系是一种n型半导体材料,表现出优良的电学和光学性能,并且耐腐蚀,耐高温,成本低,化学稳定性好,是现在研究较多,应用范围较广的一类TCO薄膜。苗莉等[6]采用喷雾热解法,以NH4F、SnCl2•2H20为原料,在普通玻璃衬底上制备出了方块电阻最低达到2Ω/口,可见光透光率为95%的FTO薄膜,且薄膜晶粒均匀,表面形貌平整致密。Yadav等[7]采用喷雾热解法,制备了不同厚度的FTO薄膜,最低电阻率达到91 X 10-4 Ω•cm。Moholkar等[8]采用喷雾热解法,制备了不同掺F浓度的FTO薄膜,研究了氟的掺杂浓度对Sn02薄膜的光学,结构和电学性能的影响。中国科学院等离子体物理研究所的戴松元小组[9、10]将FTO用于染料敏化太阳电池的透明电极,并获得较高的光电转换效率。  射频溅射:  射频溅射的基本原理是射频辉光放电。国内外射频溅射普遍选用的射频电源频率为13.56MHz,以防止射频信号与无线电信号的相互干扰。通常直流溅射的基本过程是,从阴极发出的电子,经过电场的加速后获得足够的能量,可以使气氛气体发生电离。正离子在电场作用下撞击阴极表面,溅射出阴极表面的原子、分子到衬底表面发生吸附、凝聚,最终成膜。  直流溅射不能用于绝缘体材料的薄膜制备,因为绝缘材料在受到正离子轰击时,靶材表面的正离子无法中和,使靶表面的电位逐渐升高,导致阴极靶与阳极问的电场减小,当靶表面电位上升到一定程度时,可以使气体无法电离,溅射无法进行。而射频溅射适合于任何一种类型的阻抗耦合,电极和靶材并不需要是导体,射频溅射非常适合于制备半导体、绝缘体等高熔点材料的薄膜。在靶材表面施加射频电压,当溅射处于上半周时,由于电子的质量比离子的质量小很多,故其迁移率很高,用很短时间就可以飞向靶面,中和其表面积累的正电荷,从而实现对绝缘材料的溅射,并且在靶表面又迅速积累起了大量的电子,使其表面因空间电荷而呈现负电位,导致在射频溅射正半周期,也可吸引离子轰击靶材。从而实现了在电压正、负半周期,均可溅射。磁场的作用是将电子与高密度等离子体束缚在靶材表面,可以提高溅射速度。[11]  用JPGF一450型射频磁控溅射系统在玻璃衬底上制备SnO2:F薄膜,系统的本底真空度为10-3Pa.溅射所用陶瓷靶是由纯度为99%SnO2和NH4F,粉末经混合、球磨后压制成坯,再经1300℃烧结而成,靶中NH4F的重量比是78%,用纯度为99.99% 的氩气和氧气作为工作气体,由可控阀门分别控制气体的流量。溅射过程中,控制真空室内氩气压强为1Pa,氧分压为5—5 Pa,靶与衬底间的距离为5cm.溅射功率为150W,溅射时间为25 min,衬底温度为100℃。用RIGAKU D/MAX—yA型x射线衍射(XRD)仪(CuKa辐射波长,154178 nm)测试样品的结构,用APHM一0190型原子力显微镜(AFM)观测样品的表面形貌,使用 rv一1900型紫外可见光分光光度计测量样品的吸收谱,使用激发源为325 nm的He—Cd激光器的光谱仪测量样品的室温光致发光谱,使用普通的万电表测试它的导电性(前提是尽量保持测量条件的一致性)。  2FTO透明导电玻璃的应用  FTO透明导电玻璃具有优良的光电性能,被广泛用于太阳能电池的窗口材料、低损耗光波导电材料及各种显示器和非晶硅太阳能电池中作为透明玻璃电极等,与生活息息相关。  1在薄膜太阳电池上的应用  太阳能电池是利用光伏效应,在半导体p-n结直接将太阳光的辐射能转化成电能的一种光电器件。TCO薄膜是太阳电池关键材料之一,可作为染料敏化太阳电池(dye-sensitized solar cells,DSCS)[12]等的透明电极,对它的要求是:具有低电阻率(方块电阻Rsh约为15Ω/□);高阳光辐射透过率,即吸收率与反射率要尽可能低;化学和力学稳定性好的特点。在薄膜太阳电池中,透明导电膜充当电极,具有太阳能直接透射到作用区域几乎不衰减、形成p-n结温度较低、低接触电阻、可同时作为防反射薄膜等优点。  2在显示器上的应用  显示器件能将外界事物的光、声、电等信息,经过变换处理,以图像、图形、数码、字符等适当形式加以显示。显示技术的发展方向是平板化。在众多平板显示器中,薄膜电致发光显示由于其主动发光、全固体化、耐冲击、视角大、适用温度宽、工序简单等优点,引起广泛关注,并发展迅速。FTO薄膜具有可见光透过率高、电阻率低、较好的耐蚀性和化学稳定性,因此被广泛用作平板显示器的透明电极。  3在气敏元件上的应用  气体传感器是把气体的物理、化学性质变换成易处理的光、电、磁等信号的转换元件。半导体气体传感器是采用金属氧化物或金属半导体氧化物材料做成的元件,与气体相互作用时产生表面吸附或反应,引起以载流子运动为特征的电导率或伏安特性或表面电位变化。二氧化锡薄膜气敏器件具有灵敏度高、响应速度和恢复速度快、功耗低等特点,更重要的是容易集成。随着微电子技术的发展,传感器不断向智能化、微型化方向发展。[13]  4在建筑幕墙玻璃及透明视窗上的应用  喷雾热解法制各的FTO薄膜能用于阳光节能玻璃,对可见光高透射,但对红外光高反射,其反射率大于70%。让阳光中可见光部分透过,而红外部分和远红外反射。阳光中的可见光部分对室内采光是必需的,但可将红外部分的热能辐射反射回去,能有效调节太阳光的入射和反射。利用FTO薄膜在可见光区的高透射性和对红外光的高反射性,可作为玻璃的防雾和防冰霜薄膜。  3 FTO透明导电玻璃的发展趋势  随着LCD的商品化、彩色化、大型化和TFT的驱动或太阳能电池的能量转变效率的提高,人们对透明导电氧化物(TCO)薄膜的要求越来越严格,至少需要满足如下条件:  (1)导电性能好,电阻率较低;  (2)可见光内透光率较高:  (3)镀膜温度更接近室温,能大面积均匀地镀膜;  (4)膜层加工性能好,可以进行高精度低损伤腐蚀;  (5)热稳定性及耐酸、碱性优良,硬度高;  (6)表面形状良好,没有针孔;  (7)价格较低,可实现大规模工业化生产。  目前,TCO薄膜已普遍达到下列水平:膜厚为500 nm的情况下电阻率在10-4 Ω•cm数量级,在可见光区透光率达80%,载流子迁移率一般达到40cm2/(v•s)。虽然TCO薄膜的性能指标可以满足当前应用需要,但随着器件性能的不断提升,对TCO薄膜提出了更高的性能要求。一些学者提出了TCO薄膜发展的一个量化的前景指标:禁带宽度>3 eV,直流电阻率~5×10-5 Ω•cm,可见光段在自由电子作用下的吸收系数<2x103 cm-1,载流子迁移率>100 cm2/(v•s)。  几十年来,人们一直在努力提高透明导电薄膜的透明性和导电性。SnO2:F(TFO)透明导电薄膜由于其兼备低电阻,高的可见光透过率,近红外高的反射率,优良的膜强度和化学稳定性等优点,越来越受到人们的青睐,必将在平板显示器件、建筑物玻璃和气敏传感器等众多领域中得到更广泛的应用。利用溅射法制备FTO透明导电玻璃它的生产工艺简单,操作方便,利于控制。成本较低,原料易得,但在制备过程中NH4F加热分解放出有污染的氮氧化物和氨烟,这对以后商业化生产造成了很大的制约。所以对原料的改进和污染的控制方面还有待开发。  4 制备条件对膜结构及光电性能的影响  长安大学材料科学与工程学院段理等做了磁控溅射制备银掺杂ZnO薄膜结构及光电性质研究实验,发表了文献[14],并在文献14中得出了1——3的结论。  1制备条件对膜厚的影响  文献中采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了银掺杂ZnO薄膜,当薄膜淀积时间从30rain延长到90min时,薄膜的厚度几乎按照线性关系从约270nm增加到820nm,即薄膜的淀积速率大致稳定在9nm/min左右,为匀速生长。溅射功率与膜厚呈线性增长,及沉淀速率与溅射功率大致呈线性关系。  2制备条件对膜结构的影响  晶体质量随溅射功率的增大而降低,随溅射气压的增大而降低。  3制备条件对膜光电性质的影响  在固定溅射总气压的条件下,增大氧分压可以增强薄膜的紫外发光强度,增大薄膜的载流子浓度。  4 退火对薄膜的影响  退火能显著提高薄膜晶体质量,并增强薄膜的PL发光强度和导电能力,其原因是退火能使银离子完成对锌离子的替代从而形成受主。[15]  5 退火后处理对膜结构与成分的影响  光敏薄膜的光电、形貌性能与退火处理密切相关,退火处理优化了薄膜表面形貌、减小了光学能隙、增大了薄膜的导电率和载流子迁移率。光敏薄膜性能的优化,有利于增大聚合物太阳电池的填充因子、开路电压和短路电流,对于提高其能量转换效率、改善器件光伏性能具有非常重要的意义。[16]分别对较低氧分压反应磁控溅射制备的 薄膜进行氧化性气氛和惰性气氛退火。通过XRD和SEM 分析,发现氧化性气氛退火薄膜为表面多孔的金红石结构 ,而惰性气氛退火薄膜表面较为致密,结构分析不仅观察到金红石结构的 ,还发现了四方结构的 。XPS表面分析进一步表明,氧化性气氛退火后,薄膜成分单一,未氧化的 完全氧化成稳定的 ,而且具有稳定结构的 薄膜表面吸附水很少。相对而言,惰性气氛退火后,薄膜表面 、 和 共存,表面化学吸附氧和吸附水较明显,薄膜的稳定性降低。[17]  6 FTO导电玻璃制备相关参数  根据范志新等所提出的理论表达式: 带入相关数据可得到,SnO2:F(FTO)的最佳掺杂含量为54%[18]通过对比总结,参考大量数据,选择溅射功率:100W,溅射压力:5Pa,溅射时间:5h,溅射靶距:38mm[13、19]做产品。进行相关参数的选择与优化。  7 参考文献  1、张志海, 热解法制备氟掺杂二氧化锡导电薄膜及其性能研究 合肥工业大学  2、汪振东, 玻璃基TiO<,2>-SiO<,2>/SnO<,2>:F薄膜的喷雾热分解法制备和表征 武汉理工大学  3、郝喜红, 喷雾热解法制备掺杂二氧化锡导电薄膜 西安建筑科技大学  4、张明福等, 透明导电氧化物薄膜研究的新进展 压电与声光  5、方俊 杨万莉, n型透明导电氧化物薄膜的研究新进展 陶瓷  6、苗莉等, SnO2:F导电薄膜的制备方法和性能表征 材料导报  7、Yadav A A,Masumdar E U,Moholkar A V,et a1.Effect of quantity of spraying solution on the properties of spray deposited fluorine doped tin oxide thin films[J].Physiea B:Condensed Matter,2009,404(12—13):1874 - 1877.  8、Moholkar A V,Pawar S M,Rajpure K Y,et a1.Effect of fluorine doping on highly transparent conductive spray deposited nanocrystalline tin oxide thin films[J].Applied Surface Science,2009,255(23):9358—9364.  9、Dai S,Wang K,Weng J,et a1.Design of DSC panel with efficiency more than 6%[J1.Solar Energy Materials and Solar Ceils,2005,85(3):447—455.  10、Huo Z,Dai S,Wang K,et a1.Nanocomposite gel electrolyte with large enhanced charge transport properties of an 13-/I- redox couple for quasi-solid-state dye-sensitized solar cells[J].Solar Energy Materials and Solar Cells,2007,91(20):1959-1965.  11、王璟和,射频溅射法制备透明导电陶瓷薄膜 天津大学  12、姜磊等, 染料敏化太阳电池研究进展 内蒙古大学学报(自然科学版)  13、曾志峰等, 射频溅射法制备掺杂SnO2纳米薄膜的研究 武汉大学学报(理学版)  14、段理、樊小勇等, 磁控溅射制备银掺杂 薄膜结构及光电性质研究 材料导报(研究篇)  15、SunLL,TanO K,ZhuW G,et a1.Pb(Zro 3Ti0. 7)03/Pb-TiO3 multilayer thin films for pyroelectric infrared sensorapplication[J].J Appl Phys,2006,99(9):09410  16、顾锦华、钟志有等, 真空退火处理对光敏薄膜及聚合物太阳电池性能的影响 中南民族大学学报(自然科学版)  17、王磊、杜军等, 退火气氛对SnO2薄膜结构与成分的影响 材料导报  18、范志新等, 二氧化锡薄膜的最佳掺杂含量理论表达式 电子器件  19、刘庆业等, 射频溅射法研制SnO2纳米薄膜 广西师范大学学报(自然科学版)

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