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离子注入机是高压小型加速器中的一种，应用数量最多。它是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用作半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，还用于金属材料表面改性和制膜等。
离子注入机原理：离子注入机由离子源、质量分析器、加速器、四级透镜、扫描系统和靶室组成，可以根据实际需要省去次要部位。离子源是离子注入机的主要部位，作用是把需要注入的元素气态粒子电离成离子，决定要注入离子的种类和束流强度。离子源直流放电或高频放电产生的电子作为轰击粒子，当外来电子的能量高于原子的电离电位时，通过碰撞使元素发生电离。碰撞后除了原始电子外，还出现正电子和二次电子。正离子进入质量分析器选出需要的离子，再经过加速器获得较高能量，由四级透镜聚焦后进入靶室，进行离子注入。高能离子注入的优势：多样性：原则上任何元素都可以作为注入离子；形成的结构可不受热力学参数（扩散、溶解度等）限制；不改变：不改变工件的原有尺寸和粗糙度等；适合于各类精密零件生产的最后一道工序；牢固性：注入离子直接和材料表面原子或分子结合，形成改性层，改性层和基底材料没有清晰的界面，结合牢靠，不存在脱落的现象；不受限：注入过程在材料温度低于零下、高到几百上千度都可以进行；可对那些普通方法不能处理的材料进行表面强化，如塑料、回火温度低的钢材等；应用：离子注入机是集成电路制造前工序中的关键设备，离子注入是对半导体表面附近区域进行掺杂的技术，其目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型。离子注入与常规热掺杂工艺相比可对注入剂量、注入角度、注入深度、横向扩散等方面进行精确的控制，克服了常规工艺的限制，提高了电路的集成度、开启速度、成品率和寿命，降低了成本和功耗。离子注入机广泛用于掺杂工艺，可以满足浅结、低温和精确控制等要求，已成为集成电路制造工艺中必不可少的关键装备。
指导物理类本科生毕业设计的一些尝试 郭立平刘传胜 （武汉大学物理科学与技术学院，湖北武汉430072） [摘要] 介绍了笔者在指导物理类大学本科生进行毕业设计工作中的一些思考和尝试。针对不同学生的毕业去向和个人兴趣，结合笔者的科研需要，提出毕业设计题目、研究目标和应当完成的基本任务。将毕业设计内容与毕业后继续攻读研究生学位相结合、与出国留学相结合、与参加工作的职业性质相结合，尽可能使学生获得基本的科研和技术训练，为毕业后尽快向所从事工作的顺利过渡打下基础。 [关键词] 毕业设计；学术研究；研究生学位；出国留学；职业发展 [中图分类号] [文献标识码] A [文章编号] 1005-4634 （2012） 06-0049-03 0 引言 作为大学教学的最后一个综合性环节，毕业设计是学生极为重要的一个学习和训练过程。毕业设计的目的是培养学生综合运用所学知识解决实际问题的能力。对理工科学生而言，提高毕业设计的质量，是学生提高技术能力并获取初步科研能力的一个重要环节。不同的学生未来所面临的实际问题可能差别很大。据统计，近五年来，武汉大学物理科学与技术学院物理类专业的本科生毕业后约65%继续攻读研究生学位，20%的学生出国留学，其他学生参加工作。对这些毕业后不同去向的学生，在毕业设计阶段尽可能进行一些有针对性的科研和技术训练，对于学生毕业后尽快向工作过渡是很有意义的。笔者在2008年至2012年期间共指导了23名物理系本科毕业生作毕业设计，题目全部来自于所承担的科研项目，要求学生参加科研项目的某个部分或者环节。本文介绍了笔者在指导物理专业本科生进行毕业设计方面的一些思索、尝试和效果。 1 毕业设计内容与出国留学相结合 在笔者指导的本科生中，先后有多人被国外高校录取为研究生继续深造，如2009届学生徐水钢被香港科技大学录取，2012届学生周明亮被美国石溪大学录取。相对而言，国内高校的本科生在理论知识的学习上比较系统、深入，而动手能力的培养则比较薄弱；对传统知识的掌握比较牢固，而对学科前沿的最新动态则了解不多，专业知识面和学科视野不够宽广。对于这些即将出国深造的学生而言，国外的课程学习并不困难，比较困难的是研究能力的欠缺，因此尽快过渡并适应国外高校的研究工作显得比较迫切。在指导这些本科生毕业设计时，特别注意对文献调研能力和动手能力的锻炼。 在文献调研方面，要求学生做系统深入的国内外文献检索，完成对被国际权威数据库SCI和EI收录的英文论文的检索，特别是对本学科国际和国内主要专业期刊和国际顶级权威期刊的论文检索，获得所研究课题的最新文献和最权威文献，以及发展过程中的关键文献和早期的基础文献。在充分掌握文献的基础上，先阅读中文文献，后阅读英文文献，并在组内做文献阅读报告，进行文献讨论，帮助学生理解文献内容。在此基础上，撰写调研报告，并在组内做文献综述报告。通过完整的文献调研、大量的文献阅读、深入的文献讨论和系统的文献综述，学生不仅极大地开拓了视野，更重要的是大大提高了获取知识的能力，为日后快速适应国外研究生生活打下良好基础。 例如，2012届学生周明亮同学的毕业设计题目是《武汉大学离子枪一电镜联机装置》，所研究的装置是我国唯一的一台，目前国际上正在运行的类似装置总共只有不到十台。这种装置可以在离子辐照注入现场原位研究材料的微观结构变化过程，是研究离子束与物质相互的极富特色的稀有设备。该同学不仅对国际上现有装置进行了全面调研，而且调研了自1961年Pashley和Pre sland国际上首次报道利用80 kV透射电子显微镜原位观察Au的电子束辐照损伤以来至今50年来的全部类似装置。通过对该类装置发展历程的完整调研，对该类装置的技术特点、关键技术、技术难点、主要应用和未来发展趋势有了全面深入的了解，并提高了文献调研、阅读和综述能力。 对于动手能力的培养，往往有一个误区，就是培养学生仪器设备的操作能力。笔者认为，只会操作是不够的，而是更加强调对设备的结构、部件的加工、功能的改进、故障的排除等多方面的锻炼。例如，给周明亮同学的毕业设计任务是绘制工图、改进真空、调节离子光路、测量离子束流。首先要求该生对装置进行工程制图，这对一个从未接触过工程制图的学物理的学生来说有一定难度，但他去美国攻读研究生的研究方向会经常涉及制图问题。(毕业设计 )由于了解工程制图对其未来研究工作的重要性，该生积极自学，在1个月时间内就掌握了基本的电脑制图技术，并绘制了满足基本要求的图纸，包括该装置的主要部件：离子源、聚焦透镜、双偏转板、四刀狭缝、光阑、离子束与电镜接口和真空接口的图纸，以及按离子光路传输的实际几何布局进行组装的完整装置图纸。在绘制图纸过程中，利用装置出现故障的机会，拆开了装置并测量其中各部件的尺寸。通过这一过程，该生既培养了绘图能力，又对装置的原理有了更直观的理解，并为后面的装置改进和调试打下了基础。例如，加工并改进了聚焦器与偏转器之间的过渡板，提高了装置的真空度；用激光准直完成了离子传输光路的调整。在测束流时发现聚焦高压加不上去，出现打火现象，高压摇表测试发现聚焦透镜的中间圆筒与地之间电阻很低，于是判断中间圆筒出现故障，取下后发现果然是圆筒被击穿，处理后恢复正常。通过参与束流测试工作，获得满意的测量结果。通过这些绘图、加工、改进、反复拆装、多次测量、故障排除、反复调试等过程，在使学生能力得到锻炼的同时，也对实际科研中的物理实验研究所需要的'细致、坚持、创新等必备品质有了真切的体会。 2 毕业设计内容与攻读国内研究生学位相结合 在笔者所指导的本科毕业生中，有的学生考上或被保送到国内高校或研究单位攻读研究生学位，包括在笔者的指导下攻读博士学位和硕士学位。对于这样的学生，笔者将其毕业设计的研究内容与即将开始攻读研究生学位期间的研究内容紧密衔接起来，以利于学生尽快进入研究生阶段的学习。实际上，由于研究生一年级学位课程学习任务很重，很难有时间从事研究工作，大多数学生是在研究生二年级才开始真正有时间投入到科研中。因此，从大学四年级上学期修完本科学分到研究生二年级，留下了一年半的空档期。但是，如果在毕业设计期间能受到良好的科研训练，那么就有可能在读研究生一年级时在课程学习的同时就能进行一部分研究工作。按照这个思路对准备继续攻读研究生学位的本科毕业生进行比较深入的科研训练，取得了较好效果。例如，2008届本科毕业生李铁成考上了笔者的博士研究生，博士论文的研究方向是核技术在材料科学中的应用，包括同步辐射和离子注入技术。为此，布置给该生的本科毕业设计题目是《Si1-xMnx稀磁半导体的同步辐射研究》，任务是应用同步辐射X射线精细结构谱学（XAFS）对过渡金属Mn离子参杂硅所制备的磁性半导体进行局域结构分析。其学术背景是，稀磁半导体同时兼有铁磁性和半导体性质，是未来自旋电子学的关键材料，在材料如硅单晶中注入峰值浓度约1%的Mn即可产生铁磁性，因此掺入的少量Mn原子对磁性的产生起着决定性作用。与所有其他物理性质一样，此磁性的产生也起源于其结构的变化，因此，研究Mn原子周围的局域结构，对于了解铁磁性的产生机理可以提供关键的信息，而XAFS方法则是研究局域结构的独特技术。该生在本科专业课学习期间曾系统地学习过XAFS方法，但没有用该方法研究过实际问题。毕业设计期间，通过在磁性半导体中的实际应用，学习并熟练掌握了XAFS数据处理方法和软件，并通过对实际数据的处理和分析，不但获得了多个样品的掺杂原子局域结构结果，合理解释了其磁性的微观结构起源，而且加深了对这种特色实验方法的理解。进入研究生学习后，立即先后赴上海光源和北京同步辐射装置做XAFS实验测量，进一步熟悉了实验技术，并获取了新的实验数据。该生将本科论文和研究生期间补充的工作进行总结后，在国际专业期刊《Vacuum》上发表SCI论文一篇，顺利实现了本科毕业设计与研究生阶段研究工作的有机衔接。 3 毕业设计内容与参加工作相结合 笔者指导的毕业生中有一部分直接参加工作，他们毕业的主要去向是企业类用人单位，将主要从事与生产实际相结合的技术工作，而不是实验室里的基础研究。对这部分学生，如何使其尽快从大学课程学习过渡到实际工作，也是值得思考的问题。笔者在指导其进行毕业设计时，根据其毕业后实际的工作性质，有针对性地安排毕业设计内容和任务。同时，作为综合性大学的物理系学生，最基本的科研训练也是不可缺少的。例如，2008届毕业生周国芹同学毕业后将去华为公司从事软件开发，笔者给他的毕业设计题目是《低活化钢的穆斯堡尔谱学研究》，主要任务是应用专业软件MOSFUN和MBT对穆斯堡尔谱进行拟合分析。同时，要求完成厚度小于30微米的样品制备、穆斯堡尔谱测量和拟合结果的物理分析。该同学通过毕业设计掌握了穆斯堡尔谱的数据处理方法和专业软件的使用，对软件所采取的算法也有了比较深入的了解，这种训练对于其日后从事软件开发是有益的。 4 结束语 本文介绍了笔者在指导物理系本科生毕业论文方面的一些思考和尝试。主要是根据学生毕业后的去向有针对性地布置内容和任务，提高学生的文献调研能力、动手能力、数据处理能力、分析能力和科研论文写作能力，为尽快向毕业后工作的顺利过渡打下基础。通过毕业设计，有本科生作为第一作者在国际专业期刊上发表了SCI论文，有本科生作为第一作者获得了授权的实用新型专利，表明这些尝试获得了良好的效果。对于本科毕业生而言，虽然毕业设计只有短短的三个多月的时间，只占四年的大学学习时间的一小部分，然而却是大学学习的收官之作，是进行一些最基本的科研和技术训练的良机，值得不断地思考、探索和改进，为提高学生的科学和技术素质把好最后一关。
一、实习目的；例如1．通过本次实习使我能够从理论高度上升到实践高度，更好的实现理论和实践的结合，为我以后的工作和学习奠定初步的知识。2．通过本次实习使我能够亲身感受到由一个学生转变到一个职业人的过程。3．本次实习对我完成毕业设计和实习报告起到很重要的作用。二、实习时间三、实习地点四、实习单位五、实习主要内容六、实习总结和体会；（一）实习工作的总结：例如回想起自己刚来公司的时刻，仿佛就在昨天。由对会籍顾问工作的一窍不通发展到现在能够独立完成工作任务，在工作中领导的带头模范作用感染了我，同事的爱岗敬业精神鼓舞了我，使我认识到作为新领域的一员是值得骄傲的，因为我们的团队是健身行业的带头兵，我们的队员是优秀的健康宣传者，我们始终坚持“身体健康才是工作、生活的首要条件，”的原则，只有拥有一个健康的体魄，才能立大志成大事，万事以身体健康为前提，没有健康的体格，任何的想法和行为只是纸上谈兵，毫无意义。在工作中，顾客就是我们的上帝，一个甜美的微笑可以给顾客带来一天美好的心情，一句轻声的问候消除了与顾客之间的距离，真正的做到了来到新领域，大家是一家人，给顾客一种宾至如归的感觉。在这里，顾客享受到的不仅仅是健身的乐趣，同时他们享受到了家的温暖，在身体得到有效锻炼的同时，心里也得到了甜蜜的滋润，每当看到客户对我们的服务感到满意的时候，自己心里也感到了前所未有的满足和骄傲。为此，自己总结了“五步”工作法，即：“聆听、建议、指导、帮助、服务”。客户来到健身俱乐部，就一定有自己的想法和目的，为此，每次客户到来的时候，聆听他们的需求是最关键的一步，只有这样才能真正了解客户想要的是什么，他们想达到一种什么样的健身目的，只有了解到了这一点，才能针对客户的实际情况，做到有的放矢，并提供长久优质的服务。工作之余，公司领导还给我们多次外出培训的机会，大家一起放松。这强大的团队感染力时刻提醒着我，作为新领域优秀团队中的一员，绝对不能懈怠。在以后的工作中，我要以崭新的姿态和高昂的热情更加努力的为每一个客户提供服务。健身行业是一个充满朝气的行业，新领域是一个蓬勃发展的团体，相信在我们业务能力、服务水平不断提高的同时，会有更多的人选择新领域，信赖新领域。衷心的希望公司蓬勃发展，日新月异，也希望越来越多的人加入我们，让我们共同期待新领域美好的明天！（二）毕业实习的体会、收获：例如；会籍顾问工作很辛苦，要外出做宣传，同时还有业绩上的压力，几天下来累坏了，长时间站立脚会很疼。有的时候还会受到各种冷遇。我不断给自己鼓励，我不希望自己放弃。虽然累了些，我想别人能做的我也能做，别人能做好的我也一样能做好。一切从基础作起。就把这些辛苦当作人生的一种磨砺吧！有的时候想想自己也很有动力，看到一些想健身的人向自己咨询一些问题，我都很热心给解答，毕竟我给他们提供了一个好的健身场所，把一些健身的理念传授给他们。希望能通过我的努力，能够让更多的人来关注自己的健康，养成一个良好的健身习惯，同时也通过的每个人通过健身过程中的一些收获和好处传给身边的每一个人，通过这样的一个几何递增，我间接的也影响了很多人。
现如今，随着社会经济发展，机器人开始被广泛应用于各行各业中，替工人进行一些复杂、繁重的体力劳动，能减轻人们的工作负担。下面是由我整理的工业机器人技术论文 范文 ，希望能对大家有所帮助！工业机器人技术论文范文篇一：《浅谈工业机器人在工业生产中的应用》 工业机器人是面向工业领域的多关节机械手或多自由度的机器人。工业机器人是自动执行工作的机器装置，是靠自身动力和控制能力来实现各种功能的一种机器。它可以接受人类指挥，也可以按照预先编排的程序运行，现代的工业机器人还可以根据人工智能技术制定的原则纲领行动。就工业机器人在工业生产中的应用进行探讨。 关键词：工业机器人 应用 工业 1 引言 工业机器人最早应用于汽车制造工业，常用于焊接，喷漆，上、下料和搬运。工业机器人延伸和扩大了人的手、足和大脑功能，它可代替人从事危险、有害、有毒、低温和高热等恶劣环境中的工作;代替人完成繁重、单调的重复劳动，提高劳动生产率，保证产品质量。工业机器人与数控加工中心、自动搬运小车以及自动检测系统可组成柔性制造系统和计算机集成制造系统，实现生产自动化。 2 工业机器人的主要运用 (1)恶劣工作环境及危险工作军事领域及核工业领域有些作业是有害于人体健康并危及生命，或不安全因素很大而不宜由人去做的作业，用工业机器人去做最合适。例如核工厂设备的检验和维修机器人，核工业上沸腾水式反应堆燃料自动交换机。 (2)特殊作业场合和极限作业火山探险、深海探密和空间探索等领域对于人类来说是力所不能及的，只有机器人才能进行作业。如航天飞机上用来回收卫星的操作臂;用于海底采矿和打捞的遥控海洋作业机器人。 (3)自动化生产领域早期的工业机器人在生产上主要用于机床上、下料，点焊和喷漆。用得最多的制造工业包括电机制造、汽车制造、塑料成形、通用机械制造和金属加工等工业。随着柔性自动化的出现，机器人在自动化生产领域扮演了更重要的角色。下面主要针对工业机器人在自动化生产领域的应用进行简单介绍。 焊接机器人 点焊机器人工业机器人首先应用于汽车的点焊作业，点焊机器人广泛应用于焊接车体薄板件。装焊一台汽车车体一般大约需要完成3000～4000个焊点，其中60%是由点焊机器人来完成的。在有些大批量汽车生产线上，服役的点焊机器人数量甚至高达150多台。 点焊机器人主要性能要求：安装面积小，工件空间大;快速完成小节距的多点定位;定位精度高(土0 .25 mm )，以确保焊接质量;持重大(490～980N ) ，以便携带内装变压器的焊钳;示教简单，节省工时。 弧焊机器人 弧焊机器人应用于焊接金属连续结合的焊缝工艺，绝大多数可以完成自动送丝、熔化电极和气体保护下进行焊接工作。弧焊机器人应用范围很广，除汽车行业外，在通用机械、金属结构等许多行业中都有应用。弧焊机器人应是包括各种焊接附属装置在内的焊接系统，而不只是一台以规划的速度和姿态携带焊枪移动的单机。如图1所示为弧焊机器人的基本组成。适合机器人应用的弧焊 方法 主要有惰性握体保护焊、混合所体保护焊、埋弧焊和等离子弧焊接。 1-机器人控制柜2-焊接电源3-气瓶4-气体流量计5-气路6-焊丝轮7-柔性导管8-弧焊机器人9-送丝机器人10-焊枪11-工件电缆12-焊接电缆13-控制电缆 图1 弧焊机器人系统的基本组成 弧焊机器人的主要性能要求：在弧焊作业中，要求焊枪跟踪工件的焊道运动，并不断填充金属形成焊道。因此，运动过程中速度的稳定性和轨迹是两项重要指标，一般情况下，焊接速度约取5～50 mm/s ，轨迹精度约为.2 ～ ) mm;由于焊枪的姿态对焊缝质量也有一定影响，因此希望在跟踪焊道的同时，焊枪姿态的可调范围尽量大。此外，还有一些其他性能要求，这些要求包括：设定焊接条件(电流、电压、速度等)、抖动功能、坡口填充功能、焊接异常检测功能(断弧、工件熔化)及焊接传感器(起始焊点检测，焊道跟踪)的接口功能。 喷漆机器人 喷漆机器人广泛应用于汽车车体、家电产品和各种塑料制品的喷漆作业。喷漆机器人在使用环境和动作要求上有如下特点： (1)工作环境空气中含有易爆的喷漆剂蒸气; (2)沿轨迹高速运动，途经各点均为作业点; (3)多数被喷漆部件都搭载在传送带上，边移动边喷漆。如图2所示为关节式喷漆机器人。 搬运机器人 随着计算机集成制造技术、物流技术、自动仓储技术的发展，搬运机器人在现代制造业中的应用也越来越广泛。机器人可用于零件的加工过程中，物料、工辅量具的装卸和储运，可用来将零件从一个输送装置送到另一个输送装置，或从一台机床上将加工完的零件取下再安装到另一台机床上去。 装配机器人 装配在现代工业生产中占有十分重要的地位。有关资料统计表明，装配劳动量占产品生产劳动量的50%～60%，在有些场合，这一比例甚至更高。例如，在电子器件厂的芯片装配、电路板的生产中，装配劳动量占产品生产劳动量的70 %～80%。因此，用机器人来实现自动化装配作业是十分重要的。 机器人柔性装配系统 机器人正式进入装配作业领域是在“机器人普及元年”的1980年前后，引人装配作业的机器人在早期主要用来代替装配线上手工作业的工序，随后很快出现了以机器人为主体的装配线。装配机器人的应用极大地推动了装配生产自动化的进展。装配机器人建立的柔性自动装配系统能自动装配中小型、中等复杂程度的产品，如电机、水泵齿轮箱等，特别适应于中小批量生产的装配，可实现自动装卸、传送、检测、装配、监控、判断、决策等机能。 机器人柔性装配系统通常以机器人为中心，并有诸多周边设备，如零件供给装置、工件输送装置、夹具、涂抹器等与之配合，此外还常备有可换手等。但是如果零件的种类过多，整个系统将过于庞大，效率降低，这是不可取的。在机器人柔性装配系统中，机器人的数量可根据产量选定，而零件供给装置等周边设备则视零件和作业的种类而定。因此，和装配线比较，产量越少，机器人柔性装配系统的投资越大。 3 结束语 工业机器人是以机械、电子、电子计算机和自动控制等学科领域的技术为基础，融合而成的一种系统技术;也可说是一门知识、技术密集的，多学科交叉的综合化的高新技术。随着这些相关学科技术的进步和发展，工业机器人技术也一定会到迅速发展和提高。 工业机器人技术论文范文篇二：《探讨工业机器人的发展趋势》 摘 要 随着社会经济发展，机器人开始被广泛应用于各行各业中，替工人进行一些复杂、繁重的体力劳动。目前，机器人是一种制造业与自动化设备中的典型代表，这将会是人造机器的“终极”版。它的应用已经涉及信息化、自动化、智能化、传感器与知识化等多个学科和领域，这是目前，是我国乃至世界高新技术成果的最佳集成，因此，它的发展是与许多学科的发展有着密切的联系。以现在的发展趋势来看，工业机器人的应用范围越来越广泛，同时在技术操作中，他也变得越来越标准化、规范化，提高工业机器人的安全性。另一方面，工业机器人发展越来越微型化、智能化，在人类生活中应用越来越广泛。 关键词 工业机器人 智能化 应用领域 安全性 随着社会复杂的需求，工业机器人在应用领域中越来越广泛。一方面，工业机器人被广泛应用于工业生产中，代替工人危险、复杂、单调的长时间的作业，例如在机械加工、压力铸造、塑料制品成形及金属制品业等各种工序上，同时还应用于原子能工业等高危险的部门，这已经在发达国家中应用比较广泛。另一方面，工业机器人在其他的领域应用也比较多，随着科学技术的飞速发展，提高了工业机器人的使用性能和安全性能，其应用的范围越来越广泛，应用的范围已经突破了工业，尤其在医疗业中应用比较好。 一、工业机器人的发展历程 第一代机器人，一般指工业上大量使用的可编程机器人及遥控操作机。可编程机器人可根据操作人员所编程序完成一些简单重复性作业。遥控操作机制每一步动作都要靠操作人员发出。1982年，美国通用汽车公司在装配线上为机器人装备了视觉系统，从而宣告了第二代机器人―感知机器人的问世。这代机器人，带有外部传感器，可进行离线编程。能在传感系统支持下，具有不同程度感知环境并自行修正程序的功能。第三代机器人为自治机器人，正在各国研制和发展。它不但具有感知功能，还具有一定决策和规划能力。能根据人的命令或按照所处环境自行做出决策规划动作即按任务编程。 我国机器人研究工作起步较晚，从“七五”开始国家投入资金，对工业机器及其零部件进行攻关，完成了示教再现式工业机器人成套技术的开发和研制。1986 年国家高技术研究发展计划开始实施，智能机器人主题跟踪世界机器人技术的前沿，经过几年的研究，取得了一大批科研成果，成功地研制出了一批特种机器人。 我国工业机器人起步于70年代初期，经过30多年的发展，大致经历了3个阶段：70年代的萌芽期，80年代的开发期和90年代的适用化期。 上世纪70年代是世界科技发展的一个里程碑：人类登上了月球，实现了金星、火星的软着陆。我国也发射了人造卫星。世界上工业机器人应用掀起一个高潮，尤其在日本发展更为迅猛，它补充了日益短缺的劳动力。在这种背景下，我国于1972年开始研制自己的工业机器人。 进入80年代后，在高技术浪潮的冲击下，随着改革开放的不断深入，我国机器人技术的开发与研究得到了政府的重视与支持。“七五”期间，国家投入资金，对工业机器人及其零部件进行攻关，完成了示教再现式工业机器人成套技术的开发，研制出了喷涂、点焊、弧焊和搬运机器人。1986年国家高技术研究发展计划(863计划)开始实施，智能机器人主题跟踪世界机器人技术的前沿，经过几年的研究，取得了一大批科研成果，成功地研制出了一批特种机器人。 从90年代初期起，中国的国民经济进入实现两个根本转变时期，掀起了新一轮的经济体制改革和技术进步热潮，我国的工业机器人又在实践中迈进一大步，先后研制出了点焊、弧焊、装配、喷漆、切割、搬运、包装码垛等各种用途的工业机器人，并实施了一批机器人应用工程，形成了一批机器人产业化基地，为我国机器人产业的腾飞奠定了基础。 我国工业机器人经过“七五”攻关计划、“九五”攻关计划和863计划的支持已经取得了较大进展，工业机器人市场也已经成熟，应用上已经遍及各行各业。 我国未来工业机器人技术发展的重点有：第一，危险、恶劣环境作业机器人：主要有防暴、高压带电清扫、星球检测、油汽管道等机器人;第二，医用机器人：主要有脑外科手术辅助机器人，遥控操作辅助正骨等;第三，仿生机器人：主要有移动机器人，网络遥控操作机器人等。其发展趋势是智能化、低成本、高可靠性和易于集成。 二、工业机器人的发展趋势 机器人是先进制造技术和自动化装备的典型代表，是人造机器的“终极”形式。它涉及到机械、电子、自动控制、计算机、人工智能、传感器、通讯与网络等多个学科和领域，是多种高新技术发展成果的综合集成，因此它的发展与众多学科发展密切相关。当今工业机器人的发展趋势主要有：一是工业机器人性能不断提高(高速度、高精度、高可靠性、便于操作和维修)，而单机价格不断下降。二是机械结构向模块化可重构化发展。例如关节模块中的伺服电机、减速机、检测系统三位一体化;有关节模块、连杆模块用重组方式构造机器人。三是工业机器人控制系统向基于 PC机的开放型控制器方向发展，便于标准化，网络化;器件集成度提高，控制柜日渐小巧，采用模块化结构，大大提高了系统的可靠性、易操作性和可维修性。四是机器人中的传感器作用日益重要，除采用传统的位置、速度、加速度等传感器外，视觉、力觉、声觉、触觉等多传感器的融合技术在产品化系统中已有成熟应用。五是机器人化机械开始兴起。从94年美国开发出“虚拟轴机床”以来这种新型装置已成为国际研究的 热点 之一，纷纷探索开拓其实际应用的领域。 总体趋势是，从狭义的机器人概念向广义的机器人技术概念转移，从工业机器人产业向解决方案业务的机器人技术产业发展。机器人技术的内涵已变为 灵活应用机器人技术的、具有实际动作功能的智能化系统。机器人结构越来越灵巧，控制系统愈来愈小，其智能也越来越高，并正朝着一体化方向发展。 三、我国工业机器人发展面临的挑战与前景 我国工业底子薄，工业机器人发展一直处于一个初步发展阶段，虽然我国从上个世纪70年代开始研发工业机器人，但是技术力量不足与西方国家的技术封锁，对此，在发展过程中，存在着比较多的问题。细分起来，有如下几点： 首先，我国基础零部件制造能力差。虽然我国在相关零部件方面有了一定的基础，但是无论从质量、产品系列全面，还是批量化供给方面都与国外存在较大的差距。特别是在高性能交流伺服电机和精密减速器方面的差距尤其明显，因此造成关键零部件的进口，影响了我国机器人的价格竞争力。 第二，我国的机器人还没有形成自己的品牌。虽然已经拥有一批企业从事机器人的开发，但是都没有形成较大的规模，缺乏市场的品牌认知度，在机器人市场方面一直面临国外机器人品牌的打压。国外机器人作为成熟的产业采用整机降价，吸引国内企业购买，而在后续的维护备件费用很高的策略，逐步占领中国市场。 第三，认识不到位，在鼓励工业机器人产品方面的政策少。工业机器人的制造及应用水平，代表了一个国家的制造业水平，我们必须从国家高度认识发展中国工业机器人产业的重要性，这是我国从制造大国向制造强国转变的重要手段和途径。□ 参考文献： [1]任俊.面向熔射快速制模的机器人辅助曲面自动抛光系统的研究.华中科技大学，2006年. [2]钟新华，蔡自兴，邹小兵.移动机器人运动控制系统设计及控制算法研究.华中科技大学学报(自然科学版)，2004年S1期. [3]张中英.基于遗传算法的机器人神经网络控制系统.太原理工大学，2005年. [4]李磊，叶涛，谭民，陈细军.移动机器人技术研究现状与未来.机器人，2002年05期. [5]杜玉红，李修仁.生产线组装单元气动搬运机械手的设计.液压与气动，2006年05期. [6]徐晓峰.基于串行通信技术的机器人实时控制研究.南京林业大学，2005年. 工业机器人技术论文范文篇三：《试论工业机器人机电一体化》 1机电一体化技术的应用现状 工业机器人。 工业机器人的出现在一定程度上可替代人的劳动，对于高辐射、高噪声污染、高浓度有害气体的工作场合来说，工业机器人是一个理想的选择。工业机器人的发展经历了三个阶段，第一代工业机器人智能化程度较低，只能通过预设的程序进行简单的重复动作，无法应对多变的工作环境和工作岗位。随着科技的发展，在第一代机器人的基础上通过各种传感器的应用使其可通过对环境信息的获取、分析、处理并反馈给动作单元，从而进行一些适应性的工作，这种机器人虽然智能化程度较低，但已经在一些特定的领域得以成功应用。在机电一体化技术相对成熟的今天，第三代机器人的智能化水平已经得到了较大的提升，其可以通过强大的传感原件收集信息数据，并根据实际情况作出类似于人脑的判断，因此可以在多种环境下进行独立作业，但成本较高，在一定程度上限制了实际应用。 分布式控制系统。 分布式控制系统是相对于集中式控制系统而言的，是通过一台中央计算机对负责现场测控的多台计算机进行控制和指挥，由于其强大的功能和安全性，使其成为当前大型机电一体化系统的主流技术。根据实际情况分布式控制系统的层级可分为两级、三级或更多级，通过中央计算机完成对现场生产过程的实时监控、管理和操作控制等，同时，随着测控技术的不断发展与创新，分布式控制系统还可以对生产过程实现实时调度、在线最优化、生产计划统计管理等功能，成为一种集测、控、管于一体的综合系统，具有功能丰富、可靠性高、操作方便、低故障率、便于维护和可扩展等优点，因此使系统的可靠性大幅提高。 2机电一体化技术的发展趋势 人工智能化。 人工智能就是使工业机器人或数控机床模拟人脑的智力，使其在生产过程中具备一定的推理判断、 逻辑思维 和自主决策的能力，可大幅提升工业生产过程的自动化程度，甚至实现真正的无人值守，对于降低人力成本，提高加工精度和工作效率具有十分重要的意义。目前，人工智能已经不只是停留在概念上，因此可预见机电一体化技术将向着人工智能化的方向发展。虽然以当前的科学技术水平不可能使机器人或数控机床完全具备人类的思维模式和智力特点，但在工业生产中，使这些机电一体化设备具备部分人类的职能是完全可以通过先进的技术达到的。 网络化。 网络技术 的发展给机电一体化设备远程监视和远程控制提供了便利条件，因此，将网络技术与机电一体化技术结合起来将是机电一体化技术发展的重点。在生产过程中，操作人员需要在车间内来回走动，对设备的状态进行掌握，并对机床的操作面板进行操作，通过在机电一体化设备与控制终端之间建立通信协议，并通过光纤等介质实现信息数据的传递，即可实现远程监视和操作，降低工人的劳动量，并且各种控制系统功能的实现，理论上来说都是建立在网络技术基础上的。 环保化。 在人类社会发展的最近几十年里，虽然经济得到了迅猛的发展，人们生活水平得到了显著的提高，然而以牺牲资源和环境为代价的发展模式使得人类赖以生存的环境遭到严重的污染，因此，在可持续发展战略提出的今天，发展任何技术都应当以对环境友好作为前提，否则就是没有前途的，故环保化是机电一体化技术发展的必然趋势。在机电一体化应用过程中，通过对资源的高效利用，并在制造过程中做到达标排放甚至零排放，产品在使用过程中对生态环境不造成影响，即便报废后也可对其进行有效回收利用，这就是机电一体化技术环保化的具体表现形式，符合可持续发展的要求。 模块化。 由于机电一体化装置的制造商较多，为降低系统升级改造的成本，并为维修提供便利，模块化将是一个非常有前途的研究方向。通过对功能单元进行模块化改造，可在需要增加或改变功能时直接将对应的功能模块进行组装或更换，即便出现故障，只需将损害的模块进行更换即可，工作效率极高，通用性的增强为企业节约了大量的成本。 自带能源化。 机电一体化对电力的要求较高，如果没有充足的电能供应就会影响生产效率，甚至由于停电造成数据的丢失等，因此通过设备自带动力能源系统可始终保持充足的电力供应，使系统运行更流畅。 3结语 综上所述，机电一体化技术的应用可使产品的生产效率和精度大幅提高，在当前工业生产中具有较大的技术优势，相信随着科技的发展，机电一体化技术水平也会不断提高，为工业生产做出更大贡献。 猜你喜欢： 1. 初三机器人科学论文2000字 2. 工业智能技术论文 3. 传感器技术论文范文 4. 机器人科技论文3000字 5. 初三智能机器人科技论文2000字 6. 人工智能机器人的相关论文
在机械专业教学中,以不借助电脑、投影仪和幕布等多媒体设备而进行教学的这种传统教学方式中的弊端已经日益凸显。下面是我为大家推荐的机械工程导论论文，供大家参考。
机械工程导论论文 范文 一：农机安全风险评析
1农业机械安全风险评价过程
农业机械安全风险评价是采用科学的 方法 和程序识别、分析农业机械安全事故发生的原因，针对原因采取 措施 以消除或减少农业机械在安装、使用、维修等环节存在的各种安全隐患，预防安全事故，提高农业机械的使用安全。其过程包括风险分析(产品限制的确定、危险识别、安全风险评估)、安全风险评定和风险减少。安全风险评价为迭代过程。通过安全风险评定，对不可接受的安全风险，应采取消除或减少风险的措施，并重新进行风险(包括再生风险)分析和评定，直至安全风险降到可接受的程度。
2农业机械危险识别
在对危险识别前，首先应确定机械的限制。即描述产品作业功能、预定使用范围、可预期的误用、使用和维修环境，以确定危险识别范围。一般可根据产品功能及使用操作来描述。如 拖拉机 加油、加水、上车、启动、前进、转向、倒退、制动、停车、驻车、下车、悬挂、牵引、提升、维修等。危险是指潜在的伤害源。农业机械产品存在的主要危险包括：机械危险(如挤压、剪切、冲击、缠绕、吸入或卷入、切割、高压流体喷射等)、电气危险(如与带电部件接触)、热危险(如与高温物体接触、热辐射等)、噪声危险、振动危险(如座椅、手把振动)、材料和物质产生的危险(如人体与农药接触)及滑落、绊倒及跌落危险。不同农业机械产品，可能产生危险的形式及多少各异。危险识别目的是在机械限制范围内确定并形成危险、危险状态和危险事件的清单。危险识别应在农业机械的寿命期间内系统地识别所有阶段(如运输、安装、使用、停用、维修等)的全部相关任务中可预见的危险。危险识别一般采用至上而下及至下而上两种方法。至上而下法是以潜在的后果(如挤压、烧伤)清单为起点，确定造成伤害的危险。至下而上法是以检查所有的危险为起点，考虑确定的危险状态下所有可能出错的途径(如制动功能失效、人为差错)及其导致伤害的方式。相比而言，至下而上法更为全面彻底，但过程较复杂。
3农业机械安全风险评估
安全风险为伤害发生的概率及伤害造成严重程度的综合。农业机械安全风险评估是依据农业机械产品的危险识别结果，确定各种伤害发生概率及伤害造成严重程度的过程。目的是确定每个危险状态或事故的最高安全风险。通常用等级、指数、或分数表示安全风险的大小。评估伤害发生概率应在考虑暴露危险区人员、危险事件发生可能性(产品特征、产品成熟度、生产企业规模、生产方式)、避免或限制伤害等因素后确定。伤害造成严重程度可在考虑伤害或影响健康的程度(如轻微、严重、死亡)及伤害的范围(如人数)后确定。安全风险评估方法分为定性评估法和定量评估法两类。常见方法有风险矩阵法、风险图法、数值评分法、定量风险评估法和综合评估法。其中风险矩阵法和风险图法较简单，也较常用。
风险矩阵法
风险矩阵法是针对每一识别的危险，将决定危险事件风险的两个因素即伤害严重程度和引起伤害的概率划分为相应等级，形成风险矩阵，用交叉单元来定性地衡量风险大小的方法。该方法包括风险矩阵选择、伤害严重程度评价、伤害发生的概率评价和得出风险等级四个步骤。
风险图法
风险图以决策树为基础发展而来，其特点是使所评价的危险形象化，便于分析比较。风险图中，每个节点代表一个风险参数(严重程度、暴露度、危险事件发生概率、避免可能性)，每个节点的分支分别代表相应风险参数的等级(如轻微的、严重的)。风险评估时，从起点开始，在每个节点处沿着所确定等级的分支向前，末端指向就是风险等级。
4农业机械安全风险的减少
安全风险评价目的是减少或消除不可接受的安全风险。安全风险由安全风险因素构成，减少或消除安全风险就要减少或消除影响风险等级的风险因素(危险源、发生的概率或伤害程度)。而减少或消除影响风险等级的风险因素可通过在产品设计阶段及在使用阶段采用相应措施来实现。
在产品设计制造阶段采取消除或减少安全风险的措施
1)本质安全设计制造。即通过产品设计制造消除或减少危险。如去除收割机、拖拉机等农机覆盖件上存在的锐角，加大拖拉机操作手柄与相邻部件的间隙可以消除其带来的划伤或挤压危险。不是所有的危险可以通过产品设计制造完全消除，当存在设计不能消除的危险时，应通过设计制造减少风险。如降低高地隙自走式喷药机的行驶速度和质心高度来提高稳定性;采用减震机构减少拖拉机座椅振动等。本质安全设计制造是减少安全风险最有效的措施，应优先采用。2)安全防护措施。当不能通过产品设计制造消除或充分地减少安全风险时，应采用限制暴露于危险、减少危险事件发生概率或消除或降低伤害可能性的安全措施。如对收割机、拖拉机外露旋转件加装防护罩，对动力喷药机安装安全阀限制压力。3)使用信息。使用信息是对采取本质安全设计和防护措施后的遗留安全风险提出使用警告，以降低伤害发生的可能性。如在农业机械危险部位粘贴安全警告标志、标签;安装喇叭、后视镜等信号装置;在产品使用 说明书 中说明安全使用规则;限制使用范围等。
在产品使用阶段采取减少风险的措施
多数农机产品在产品设计制造阶段采取安全风险减少措施后，因产品具有的固有特性、生产与设计的差异等原因，仍然会遗留安全风险。对此，应在使用阶段对遗留安全风险采取针对性措施。主要措施包括：一是实施行政许可管理，即通过实施许可制度减少伤害发生的可能性。如我国实施的拖拉机驾驶员驾驶证制度;拖拉机、收割机安全年检制度;植保机械实施CCC认证制度等。二是制定安全操作规程。三是对使用者进行培训。四是使用个体防护装置，如佩戴防毒面具，防护手套，安全帽等。5结束语采用科学的方法和程序可以有效地识别、评估、减少农机产品存在的安全风险，提高农业机械产品使用安全性。安全风险识别及评估的结果是科学制定农业机械产品安全标准、安全监管措施的基础。
机械工程导论论文范文二：农业机械技术变化及维护
1.农业机械技术状态的变化规律
农业机械在投入使用以后，随着时间的增加，其主要的技术性能指标会逐渐与初始标准值产生偏离。当技术性能指标尚未超出允许的极限值时，机械满足基本要求而正常工作，可以认为这时的技术状态是正常的。当超出允许的极限值以后，机械不能满足正常工作的基本要求，例如工作质量差、工作效率低、经济效益急剧下降、机械故障急剧增加等，这种现象称为技术状态恶化。这时应当停止使用，进行修复或报废。农业机械技术状态的具体变化过程虽然比较复杂，但是具有一定的规律性。例如曲轴与轴承、活塞与缸套等运动配合件的基本恶化形态是配合间隙增大，其规律是:配合间隙的增加速率在工作初期较大，当工件相互磨合之后，间隙增加，速率下降，并且在一个较长的时期内保持相对稳定。当配合件间隙增大到极限值后，在配合件之间将出现撞击作用和润滑条件恶化，如果继续工作，会造成机器的损坏。
又如过滤式机油滤清器，其基本恶化形态是滤网脏堵，它的变化规律是:在工作初期由于过流量大，滤网表面隔滤机油中杂质的作用较强，杂质积累速度较快。随着工作时间加长，滤网表面脏堵程度加大，机油通过量减少，隔滤杂质的作用减弱，杂质积累速度减慢。一旦滤网表面完全堵塞，就会完全丧失其隔滤杂质的作用。机械的 其它 零部件，也都有自身的技术状态变化规律。由于各种零部件的材料、工作条件和所起的作用不相同，在工作过程中技术状态的变化形态和规律也有差别，他们都对整机的技术状态变化规律产生影响。其中，主要零件的影响具有决定性作用。因此，深入了解各主要零部件技术状态的变化规律，可以预测整机技术状态的变化趋势，以便主动采取各种有效技术措施。比较复杂和贵重的农业机械，并不是一次性使用后立即报废，而是经过反复 修理 继续使用的。在机械的主要性能指标临近极限时，适时进行修理，使主要性能指标基本恢复到标准值，机械就可以再次投入使用。在技术指标许可的条件下，尽量延长机械的使用寿命，采取各种技术措施以保持和恢复机械的技术状态。
2.农业机械的维护制度
农业机械的技术维护制度，是在使用过程中为保持和恢复机械的正常技术状态而执行的一种技术维护体制，它包括应采取的各种技术措施的内容、进行方式以及必须达到的标准。尽管目前农业机械大部分由农机户自主经营，但是，科学的维护制度还是非常必要的，因为只有延长农业机械使用寿命，才能给农民带来直接经济效益，同时也产生巨大的社会效益。目前，主要有三种维护制度:
一是故障维护制度。机械一直使用到出现故障或损坏时才被迫停车进行维护。当前农机户普遍采用这种被迫的维修制度，虽然可以节省日常的维护费用，并且有可能使某些零件得到了充分利用，但是由于机器技术状态早期恶化，非但不能使全部机器零件的技术寿命得到充分利用，还常常引起严重的损坏，使机械无法修理而早期报废。
二是定期维护制度。按固定的周期对机械进行强制性技术维护。它的周期是根据机械技术状态的变化规律确定的，可以按计划对机械采取技术维护措施，预防机械发生故障而损坏，保持机械工作的可靠性。这是一种科学的维护制度，但未引起农机户的普遍重视。
三是按需维护制度。定期对机械进行不拆卸检测，按照技术状态的需要对机械进行维护。这也是一种计划预防维护制度，它既可以保持机械有高度的使用可靠性，又可以使机械零部件的技术寿命得到充分利用，它比定期维护制度还先进。建议农民朋友广泛采用。
离心机的工作原理是什么呢
1 转速800×g在毕业论文中可以写成“800×g的离心速度”。2 这个转速是离心机离心过程中的转速，它的作用是通过离心力将混合液中的悬浮物质分离出来。3 在毕业论文中，可以进一步解释转速800×g的具体作用和实验结果，以及与其他转速的比较分析等内容延伸。
能。过滤离心机是具有专门收集集滤液功能的设施，因此该设备是能够收集滤液的。过滤离心机是用离心过滤方法分离悬浮液中组分的离心分离机。在过滤离心机转鼓壁上有许多孔，转鼓内表面覆盖过滤介质。
离心过滤是以离心力为推动力，用过滤方式来分离固液两相混合物的操作。悬浮液中的固相颗粒在离心力场中为过滤介质所截留，并不断堆积成滤饼层，液体借离心力通过所形成的多孔滤饼而分离。
一、过滤机理
离心过滤可获得比离心沉降较干的渣，机理较为复杂，不同的物料在同样条件下进行离心过滤，常得到含有不同数量液相的渣，这与液体充满滤渣孔隙的程度有关，可将滤渣孔隙中的液体有条件地分为吸附的、薄膜的、毛细管的和自由的液体。
离心过滤过程可分为三个主要阶段：①滤渣的形成，②滤渣的压紧，③被毛细管和分子吸引力所保留于滤渣中的液体排除（或称滤渣机械干燥）。在此三个阶段中，第一阶段与一般过滤相似，但这时的压力差主要取决于离心力场作用在悬浮液上所产生的液压头，滤渣和过滤介质有较大的曲率，过滤面积随半径而变化，而滤渣不仅在液体作用下，而且还在滤渣骨架质量力作用下受到压紧。
第二阶段也可称为滤渣的集聚阶段，在此时间内被离心分离的物料实际上是两相物系，开始时固体颗粒排列并不紧凑，彼此间有最小的接触点。在滤渣上，由于有力场的作用，它的骨架力图使颗粒排列得更密实。这时除骨架作用在液相上所产生的压力以外，由于离心力场的作用，对液相产生压力。挤压时压力的变化取决于滤渣中所含的液体量。在第二阶段，滤渣的排出过程的速度取决于这些压力及渣的流体阻力。随着离心过滤过程的进行，骨架中压力增大的同时产生的滤渣被压紧，当渣的压紧结束时，离心力场作用在固相颗粒上所产生的全部压力完全转移到渣的骨架上。
第三阶段开始时，在颗粒接触处和颗粒的表面上保留有毛细管力和分子力所保持的液体。其中一部分在离心力、惯性和流经滤渣的空气流的作用下向滤网方向从一个接头向另一个接头，借助机械方法除去。
在工业生产中，一般为浓度较高物料的离心过滤，这种情况没有滤渣形成阶段，或者持续时间很短。实际上，由滤渣压紧和机械干燥组成的这个过程称为离心挤压。
二、三足式离心机构造与操作
过滤式离心机有三足式、上悬式、刮刀卸料式、活塞推料式、振动式等。三足式离心机是一种常用的人工卸料的间歇式离心机。图6-6为其结构示意图。
图6-6上部卸料三足式离心机
1-底盘；2-支柱；3-缓冲弹簧；4-摆杆；5-转鼓体；6-转鼓底；7-拦液板；8-机盖；9-主轴；10-轴承座；11-制动器把手；12-外壳；13-电动机；14-三角皮带轮；15-制动轮；16-滤液出口；17-机座
三足式离心机的主要部件是一篮式转鼓，壁面钻有许多小孔，内壁衬有金属丝网及滤布。整个机座和外罩藉三根拉杆弹簧悬挂于三足支柱上，以减轻运转时的振动。料液加入转鼓后，滤液穿过转鼓于机座下部排出，滤渣沉积于转鼓内壁，待一批料液过滤完毕，或转鼓内的滤液量达到设备允许的最大值时，可停止加料并继续运转一段时间以沥干滤液。必要时，也可于滤饼表面洒以清水进行洗涤，然后停车卸料，清洗设备。
三足式离心机的转鼓一般较大，直径为335～2000mm，容积为～100L，转鼓转速600～3350r/min，分离因数400～2120。
三足式离心机对物料的适应性强，过滤、洗涤时能按需要随时调节，可得到较干的滤渣和进行充分的洗涤，固体颗粒几乎不受破坏。此外还具有机器运转平稳、结构简单、造价低廉等优点。但是其为间歇操作，生产中辅助时间长，生产能力低，劳动强度大。在一些工厂中仍作为脱水设备。
过滤式三足离心机根据其卸料方式的不同，有：三足式上部人工卸料离心机，国家标准规定的代号为SS，三足式下部人工卸料离心机（SX），三足式自动上部卸料离心机（SS2），三足式自动下部卸料离心机（SX2）。
表6-2列出部分三足式离心机的技术性能。
表6-2三足式离心机技术性能
这个。。。。帮不上忙！祝你好运吧
等离子刻蚀首先是要利用气压为10～1000帕的特定气体（或混合气体）的辉光放电，产生能与薄膜发生离子化学反应的分子或分子基团，生成的反应产物是挥发性的。它在低气压的真空室中被抽走，从而实现刻蚀。通过选择和控制放电气体的成分，可以得到较好的刻蚀选择性和较高的刻蚀速率，但刻蚀精度不高.等离子化学汽相淀积 利用高频电场使低压下的气体产生辉光放电，形成非平衡等离子体，其中能量较高的电子撞击反应气体分子，促使反应在较低温度下进行，淀积成薄膜,这种工艺主要用于制备集成电路或其他半导体芯片表面钝化保护层，以提高器件可靠性和稳定性。 最明显的不同刻蚀是减少物质,淀积是增加
随着大规模集成电路制造朝着更高集成度、更小关键尺寸以及更大晶圆半径的方向发展，对刻蚀工艺的精度要求越来越高，所以湿法刻蚀的图形保真性不理想、刻蚀线宽难以控制、表面粗糙等不适用于小尺寸器件刻蚀工艺，进而催生出 干法刻蚀工艺，本文主要为自身接触设备当今主流干法刻蚀机--RIE 的相关知识记录 。 在低气压及放电管两极电场的作用下，电子和正离子分别向阳极、阴极运动，并堆积在两极附近形成空间电荷区，但正离子的漂移速度远小于电子，所以正离子空间电荷区的电荷密度比电子空间电荷区大得多，使得整个极间电压几乎全部集中在阴极附近的狭窄区域内， 此时会产生一种现象--辉光放电 。 RIE刻蚀机又称反应离子刻蚀机，英文名为ReactiveIonEtching，作为干法刻蚀的一种，主要由真空系统、供气系统、控制系统、计算机操作系统等组成。其利用刻蚀气体进行辉光放电的等离子体进行刻蚀，低真空下刻蚀气体在高频电场的作用下产生辉光放电，使气体分子或原子发生电离，形成等离子体，在等离子体中包含正离子、负离子、游离基和自由电子，同时也包含着物理性的离子轰击，加速反应速率、快速撞击表面生成物，有选择地把没有被掩蔽的材料去除，从而得到和掩蔽层完全相同的图。内部真空系统如图一所示，一般为圆柱形真空室，托盘位于真空室的底部，上部阳极接地，底部接的射频功率源，要刻蚀的基片放在功率电极上，刻蚀气体通过顶部进入，按照一定的搭配比例和工作压力，刻蚀与保护同时进行，经电压加速暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，能够在一定的压力下通过电场加速垂直摄入到样品表面，会释放足够的力量对未掩蔽表面材料进行刻蚀，剩余气体及反应生成物气体通过底部抽气系统离开真空室内部， 此时若物理作用占主导则刻蚀损伤较大； 若化学作用占主导则刻蚀速率较慢、各向同性明显，容易造成表面粗糙 ，选择合适的气体组分，不仅可以获得理想的刻蚀选择性和速度，还可以使活性基团的寿命变短，有效地抑制了因这些基团在薄膜表面附近的扩散所能造成侧向刻蚀，大大提高了刻蚀的各向异性特性， 所以适当合理的选择气体比例成为干法刻蚀中重要的一环。 与湿法刻蚀之后的保真性不理想、刻蚀线宽难以控制、表面粗糙等相比 具有很好的各向同性，可以加工更加精密的器件，能够保证细小图形转移后的保真性，同时根据不同工艺要求，通过改变刻蚀气体比例、真空室内部压强、射频功率、温度等能够很好的控制侧壁的粗糙度、陡直度、刻蚀速率等。 湿法刻蚀的适应能力强、表面均匀性好、对沉底损伤小、适用范围广， 与之相比RIE设备造价高、射频等离子的离化率低、工作气压高、刻蚀后真空室残留物难以去除、离子能量损失较多。 以为当前操作的牛津RIE刻蚀设备、型号为Oxford PlasmaPro 100 RIE，主要用于微电子、光电子、通讯、微机械、新材料等领域的器件研发和制造，最大支持6寸片，主要以zep520A胶为掩膜基于CHF3+Ar、CHF3+SF6刻蚀SiO和SiN，适用于微米级和纳米级制程工艺刻蚀，同时可以根据客户不同要求，对工艺参数（包括刻蚀气体比例、真空室内部压强、射频功率、温度等）进行调整达到预期结果。 不积珪步，无以至千里；不积细流，无以成江海。做好每一份工作，都需要坚持不懈的学习。
论文写好，最后检查时，要将论文的参考文献在文章中引用标注，由于不常用，经常忘记怎么加上角标。
这里详细说明一下。
工具
word或者wps电脑
论文引用参考文献加注上角标方法分步阅读。
1
/4
先将参考文献加序号，比如：
[1]主要责任者.文献题名[文献类型标识].出版地:出版者,出版年:起止页码(可选).
[2]主要责任者.文献题名[J].刊名,年,卷(期):起止页码.
......
2
/4
将序号复制到论文中需要引用该文献句子的末尾
3
/4
选中序号，鼠标右键选择“字体”
4
/4
在弹出的对话框选中“上标”，然后点确定，就完成了。
其他序号的角标只需复制已经标好的上角标黏贴后，改数字就可以了，是不是很简单。
引用的文献的上角标必须加注在论文中引用别人的论点的那句话上
注意参考文献的格式也要完全和正确
打开word：从菜单中选择 插入->引用->题注和尾注
在写毕业论文之前，使用Word最六的就是粘贴复制与插图，完全的小白，写完之后Word技能是大大的提升，首先感谢互联网上那些无私分享的前辈。 题注中出现 ‘0-x’ 的情况 ，而这个情况在当你设置题注编号的时候就已经给出了提示，很多次我都没有仔细看，导致问题始终无法解决。如下图，而提示中出现的 多级列表 与 章节编号 就是解决问题的重点。而在网上的很多回答是 “ 文章标题大纲没有设置一级标题” ，这句话困扰了小白的我半天的时间。 具体来说是因为文章标题没有定义多级列表，并要在多级列表中将一级标题编号与标题1样式链接到一起。 首先，要明白自己有没有利用 编号下拉列表 里的 多级列表 功能来设置标题编号，即下图所示，或者自己的标题编号是一开始手打上去的，只不过设置了一下 标题样式 而已。 其次，要知道 标题样式 与 编号 是不同的，在插入题注时就很清楚了 第一步，把原有手动标题编号删除掉 第二步，定义新的多级列表 第三步，在新的多级列表对话框中，一定要将级别1与标题1链接到一起，具体要注意的事项如下图红色框框。 第四步，重新设置题注就OK了
毕业论文格式调整方法
论文各组成的排序为：题名、作者、摘要、关键词、英文题名、英文摘要、英文关键词、正文、参考文献、附录和致谢。但偶尔也会出现混乱的时候，那么，毕业论文格式该如何调整呢?下面我为大家支支招!
一、论文结构
中文封面
英文封面
原创性声明
中文摘要
英文摘要
目录
图目录
表目录
正文：第一章，第二章….参考文献
致谢
作者简介
二、格式要求
页面要求：每一节从奇数页开始
页眉要求：每一节的首页没有页眉;
每一节的单双页页眉不同——即：每一节的双数页码的页页眉相同，为“中国科学院硕士学位论文——论文题目”，而单数页的页眉为“第..章章标题”
页码要求：“摘要”之前没有页码，“摘要”至“正文”之前页码为罗马数字。i , ii…或I，II，..
“正文”页码为1，2,3,4…………
“致谢”及之后的所有页码和正文不同，重新从1开始，格式不限
边距要求：无特别要求
正文、标题、标题1、标题2….的格式要求
图、表的自动编号要求
三、Word2007操作步骤
第一步：论文格式
毕业论文格式调整方法[转]
(1)所有的操作都在“开始”标签下的此栏。
(2)右键想要设置的样式——修改——字体、段落等。具体设置可以参考格式正确的文章的设置值。
(3)在需要设置的地方点相应的样式即可。
第二步：给图表编号
毕业论文格式调整方法[转]
(1) 所有操作在“引用”标签的“题注”栏。
(2) 光标置于需要插入图编号的地方，点击引用——插入题注——新建标签——设置标签名“图”;点击“编号…”设置编号格式
(3) 在需要插入图编号的地方点击“插入题注”——并选择刚刚设置的标签——确定。
插入表编号的方式相同，新建一个标签“表”即可。
第三步：生成目录
(1) 对目录的操作在“引用”标签页下
(2) 对目录的操作在 “目录”栏
(3) 对图表目录的操作在“题注”栏
第四步：给文章分节
(1) 页面设置的功能都在标签“页面布局”下的“页面设置”栏
(2) 根据要求，每一节(论文结构中提到的每一个小点)要从奇数页开始，因此
① 光标置于每一节的末尾(确保是末尾，除了回车之外没有其他符号)
② 点击“页面布局”——分隔符——奇数页
由于加入了奇数页分隔符，如果此页是奇数页，则会有一个偶数的空白页隐藏，比起直接用回车敲出来的空白页，它的好处就是空白页不会有页码和页眉页脚，是完全的空白。
第五步：页面布局
对于没有页边距规定的论文，直接在别的论文的基础上查看页边距设置，然后设置即可。重点设置的地方有页面布局——页边距，页面布局——缩进、间距，见上图。
第六步：页眉页脚
双击页眉或页脚所在的位置，即每页第一行的上方或最后一行的下方，出现如图的界面：
(1) 在此主要需要注意的栏有：页眉和页脚、导航、选项、选项、位置
(2) 对每一节：首先设置“位置”，并勾选选项中的“首页不同”、“奇偶页不同”，“显示文档文字”
(3) 设置页眉——最好按照顺序，从文章的最前面开始，一节一节设置，否则会因为word默认的选中了“链接到前一条页眉”而使页眉乱掉。
① 设置封面的页眉——不要页眉的情况
1. 在封面页双击页眉，出现页眉页脚的设计界面
2. 点击页眉下拉菜单的删除页眉
3.点击“开始”标签，点击“正文”样式(此步去掉了页眉横线)
② 设置封面之后的每一节的第一页(节的首页)——不要页眉的情况
1. 在封面之后的第一节(一般是英文封面)的首页双击页眉，出现页眉页脚的设计界面
2.确保“选项”栏的“首页不同”、“奇偶页不同”，“显示文档文字”已选中——此步可以区分现在正在编辑的是首页、奇数页还是偶数页(现在我们设置的是节的首页)
3.选中 “导航”栏的“链接到前一条页眉”——此步可使页眉和上一条相同(指的是同类型的上一条，比如上一条首页，上一条奇数页等..)，由于我们的封面页是没有页眉的，因此这一条也是没有页眉的，如此往下，即可达到每一节的首页都没有页眉。
4. 对下一节，重复i~iii步骤，直至所有的节都已经设置完毕。
③ 设置奇数页页眉——即：每一章的奇数页页眉都是不一样的，是章的标题，或者摘要、目录等节的标题
1. 注意：从第一个超过三页的节开始。
2. 在每一节的第三页(或每一节的'首页之外的任何一个奇数页)的页眉处双击，出现页眉页脚设计界面
3.点击页眉下拉菜单的“空白”
4. 如果是第一次编辑奇数页页眉，则“链接到前一条页眉”不可用，无视之。如果该选项可用，确保取消选中——此步可以确保每一节的奇数页页眉不同
5. 编辑页眉文字
6. 对下一节，继续i~v步骤，直至所有的超过三页的节都已经设置完毕。
④ 设置正文之前的所有节的偶数页页眉——包括“摘要”“Abstract”，“目录”“图目录”“表目录”，它们的偶数页页眉格式为“论文题目：摘要”，“论文题目：Abstract”等。
1. 注意：从第一个超过两页的节开始。
2. 在每一节的第二页(或每一节的首页之外的任何一个偶数页)的页眉处双击，出现页眉页脚设计界面
3.点击页眉下拉菜单的“空白”
4. 如果是第一次编辑偶数页页眉，则“链接到前一条页眉”不可用，无视之。如果该选项可用，确保取消选中——此步可以确保此处的偶数页页眉不同于前一条。
5. 编辑页眉文字
6. 对下一节，继续i~v步骤，直至所有的正文之前的超过两页的节都已经设置完毕。
⑤ 设置正文以后的页眉——即每一章的偶数页页眉都是一样的，是“中国科学院硕士学位论文——论文题目”
1. 注意：从正文开始后的第一个超过两页的节开始。
2. 在每一节的第二页(或每一节的首页之外的任何一个偶数页)的页眉处双击，出现页眉页脚设计界面
3. 点击页眉下拉菜单的“空白”
4. 如果是第一次编辑偶数页页眉，则“链接到前一条页眉”不可用，此时，编辑页眉为“中国科学院硕士学位论文——论文题目”
5. 对下一节，只需要重复i~iv步骤，确保选中“链接到前一条页眉”——此步可以确保此处的偶数页和前一条相同。
⑥ 若致谢和个人简介超过一页，且论文要求在这两个部分页眉不同于正文部分，则使用⑤中的步骤，取消选择“链接到前一条页眉”，手动编辑页眉即可。
第七步：设置页码
(1) 页码的设置界面和页眉页脚的设置界面相同，双击当前页页码的位置，即可出现页码设置界面。
(2) 页码的所有设置均可在此界面完成，包括页码的位置，页码格式等。
(3) 设置“摘要”至“正文”前的页码——格式为I，II，III…
1. 在第一页需要插入页码的页面的下方“页码”处双击，出现页码设计页面;
2. 点击页面底端/页面顶端设计页码的位置
3.点击“设置页码格式”，选择编号格式——设置I，II，III….
4. 若此处为页码1，则选择“起始页码”，设置起始值，填入“I”即可;如果和前一节连续，则选择续前节。
5. 取消勾选“选项”栏的“奇偶页不同”——否则会出现偶数页没有页码的情况
6. 在下一节，重复i~v，直至正文之前的部分页码完全设置好。
(4) 设置“正文”的页码——格式为1，2,3…
方法和(3)相同，只需要修改编号格式即可。在第一章的第一页选择“起始页码”，并设置1，之后的每一节都选择“续前节”。注意，每一节都需要取消勾选“奇偶页不同”。
(5) 设置“正文”后的“致谢”“作者简介”的页码——格式为i，ii,iii…
方法和(3)相同，只需要修改编号格式即可(i ,ii,iii…)。在“致谢”的第一页选择“起始页码”，并设置i，之后的个人简介选择“续前节”，且每一节都需要取消勾选“奇偶页不同”。
第八步：更新目录
至此，基本设置已经完成，更新目录、图目录、表目录的页码。