发布时间：
影响器件的性能。干法刻蚀是用等离子体进行薄膜刻蚀的技术，该参数增加刻蚀速率对刻蚀材料的表面粗糙度产生影响，进而影响器件的性能。刻蚀是半导体器件制造中利用化学途径选择性地移除沉积层特定部分的工艺。
基本工艺要求 理想的刻蚀工艺必须具有以下特点：①各向异性刻蚀，即只有垂直刻蚀，没有横向钻蚀。这样才能保证精确地在被刻蚀的薄膜上复制出与抗蚀剂上完全一致的几何图形；②良好的刻蚀选择性，即对作为掩模的抗蚀剂和处于其下的另一层薄膜或材料的刻蚀速率都比被刻蚀薄膜的刻蚀速率小得多，以保证刻蚀过程中抗蚀剂掩蔽的有效性，不致发生因为过刻蚀而损坏薄膜下面的其他材料；③加工批量大，控制容易，成本低，对环境污染少，适用于工业生产。湿法刻蚀 这是传统的刻蚀方法。把硅片浸泡在一定的化学试剂或试剂溶液中，使没有被抗蚀剂掩蔽的那一部分薄膜表面与试剂发生化学反应而被除去 例如,用一种含有氢氟酸的溶液刻蚀二氧化硅薄膜，用磷酸刻蚀铝薄膜等。这种在液态环境中进行刻蚀的工艺称为“湿法”工艺，其优点是操作简便、对设备要求低、易于实现大批量生产，并且刻蚀的选择性也好。但是，化学反应的各向异性较差，横向钻蚀使所得的刻蚀剖面呈圆弧形（见图 ）。这不仅使图形剖面发生变化，而且当稍有过刻蚀时剖面会产生如图 中的虚线，致使薄膜上图形的线宽比原抗蚀剂膜上形成的线宽小2 ,并且 随过刻蚀时间迅速增大。这使精确控制图形变得困难。湿法刻蚀的另一问题，是抗蚀剂在溶液中，特别在较高温度的溶液中易受破坏而使掩蔽失效，因而对于那些只能在这种条件下刻蚀的薄膜必须采用更为复杂的掩蔽方案。对于采用微米级和亚微米量级线宽的超大规模集成电路，刻蚀方法必须具有较高的各向异性特性，才能保证图形的精度，但湿法刻蚀不能满足这一要求。干法刻蚀 70年代末研究出一系列所谓干法刻蚀工艺。干法刻蚀有离子铣刻蚀、等离子刻蚀和反应离子刻蚀三种主要方法。① 离子铣刻蚀：低气压下惰性气体辉光放电所产生的离子加速后入射到薄膜表面，裸露的薄膜被溅射而除去。由于刻蚀是纯物理作用，各向异性程度很高，可以得到分辨率优于 1微米的线条。这种方法已在磁泡存储器、表面波器件和集成光学器件等制造中得到应用。但是，这种方法的刻蚀选择性极差，须采用专门的刻蚀终点监测技术，而且刻蚀速率也较低。② 等离子刻蚀：利用气压为10～1000帕的特定气体（或混合气体）的辉光放电，产生能与薄膜发生离子化学反应的分子或分子基团，生成的反应产物是挥发性的。它在低气压的真空室中被抽走，从而实现刻蚀。通过选择和控制放电气体的成分，可以得到较好的刻蚀选择性和较高的刻蚀速率，但刻蚀精度不高，一般仅用于大于4～5微米线条的工艺中。③ 反应离子刻蚀：这种刻蚀过程同时兼有物理和化学两种作用。辉光放电在零点几到几十帕的低真空下进行。硅片处于阴极电位，放电时的电位大部分降落在阴极附近。大量带电粒子受垂直于硅片表面的电场加速，垂直入射到硅片表面上,以较大的动量进行物理刻蚀,同时它们还与薄膜表面发生强烈的化学反应，产生化学刻蚀作用。选择合适的气体组分，不仅可以获得理想的刻蚀选择性和速度，还可以使活性基团的寿命短，这就有效地抑制了因这些基团在薄膜表面附近的扩散所能造成的侧向反应，大大提高了刻蚀的各向异性特性。反应离子刻蚀是超大规模集成电路工艺中很有发展前景的一种刻蚀方法。现代化的干法刻蚀设备包括复杂的机械、电气和真空装置，同时配有自动化的刻蚀终点检测和控制装置。因此这种工艺的设备投资是昂贵的。
表面处理技术在模具发展中有着重要的作用。这是我为大家整理的表面处理技术论文，仅供参考!
显示器防护玻璃表面处理技术
摘 要：采用酸溶液湿法腐蚀和镀制增透、保护膜层的方法，对某型仪表用显示器防护玻璃表面进行了工艺处理，使得表面反射率降低到2%以下，产品可见光波段平均透过率达到86%，表面硬度提高到7.0GPa。产品性能检测和试用情况表明，防护玻璃具有较好的防眩、增透和抗划伤的作用，使用效果良好。
关键词： 防护玻璃;表面处理;反射率;硬度
中图分类号：TQ34 文献标识码：A
Display Protective Glass Surface Treatment Technology
WANG Bao-song, ZHANG Guo-sheng, XIE Qin
(Jinling machine factory of Jiangsu province, Nanjing Jiangsu 211100, China)
Abstract: Display protective glasses of a certain type instrument were technically processed by use of wet etching with acid solution and AR protective coating method. The reflectivity of surface was reduced to 2% below, the average transmittance of products was 86% in visible light, and the hardness of surface was enhanced to 7.0 GPa. The products' performance testing and trials expressed that, the protective glasses have good anti-glare, antireflective, scratch-resistant process and good behaviors.
Keywords: protective glasses; surface treatment; reflectivity; hardness
引 言
显示器作为当今社会一种极为常见的数据和信息的显示方式，在电脑、手机、仪器、仪表等多种设备上具有广泛的应用。根据特殊使用环境的要求，一些仪器设备的显示器往往不直接暴露于外界环境之下，而是在其外部增加一层防护玻璃。防护玻璃的作用主要是保护显示器，防止损坏。针对室外使用情况而言，由于外界视场中光源的强光会在玻璃表面形成较强的反射，影响显示图像在人眼的视觉效果，因此保护玻璃需要具有防眩光、增加透射的作用。王承遇等对玻璃表面结构、表征、测试和处理等方面技术的发展情况进行了报道[1]，文献[2]中指出防眩有三种途径：表面刻蚀、喷涂小颗粒成膜和表面镀膜。在多种防眩处理方法中，化学蚀刻因其方法简单、操作容易、适合于大面积玻璃蚀刻和大规模生产特点而倍受关注[3]。
本文介绍了对某型仪表用显示器防护玻璃的表面工艺处理的工作情况，采取酸溶液化学腐蚀的方法对防护玻璃表面进行处理以增加表面粗糙度，通过条件调节控制表面光泽度指标，使产品达到防眩作用亦不影响人眼视觉效果。后续采用硬质膜料在产品表面制备光学增透膜层，提高产品在可见光波段的透射率和表面硬度。本文制备的防护玻璃具有防眩、增透、抗划伤的作用，达到了较好的使用效果。
1 防眩层的制备
1.1 工艺条件
经材料成分分析，防护玻璃基材是以SiO2为主体，包含Na、Ca、Mg、K等离子的非晶氧化物。文献[4]中报道了在玻璃表面上采用化学腐蚀方法制备折射率连续变化的非均匀膜，该薄膜是折射率渐变的多微孔性结构，在宽光谱范围内有低的反射率，是一种耐久力较好的减反射膜。罗春炼等通过溶液组分含量的调整，研究了提高防眩玻璃透光率的影响因素[5]。对于制备条件上的控制而言，则需要适宜的腐蚀处理条件(温度、时间、反应物成分等因素)，才能使玻璃获得较高的透过率和雾度指标，以达到较好的防眩效果[2]。黄腾超等进行了应用于MOEMS器件的K9玻璃湿法刻蚀工艺的研究[6]。
本文对玻璃所进行的湿法刻蚀，是采用氢氟酸和硝酸为腐蚀液，通过调节酸液比例、温度和时间参数，达到最佳腐蚀效果。腐蚀溶液是以1:1:2比例配比的氢氟酸、硝酸和水混合溶液，腐蚀温度为40℃，刻蚀时间为18～20min。刻蚀效果的评价指标为表面光泽度，即代表了表面反射率的指标高低。本文经试验制得的表面光泽度为50～51的保护玻璃，其性能符合产品性能要求的表面反射率小于2%的技术指标，达到对产品预定的刻蚀效果。
1.2 制备过程
按1:1:2的比例配比氢氟酸、硝酸和水的混合溶液，置于聚四氟乙烯容器瓶内。用水洗方法清洗玻璃表面，不需要腐蚀处理的一面用胶带纸屏蔽起来，将玻璃样片浸泡于混合液中，整体置于水浴恒温箱内，设置水浴恒温箱温度至40℃，保持时间18～20min。反应结束后立即取出玻璃样片，用蒸馏水清洗表面残留混合液，去除屏蔽层，并烘干表面水分。采用表面光学测定仪测量玻璃处理表面的光学反射特性，以保证样品质量。
2 增透、保护膜层的制备
2.1 膜层设计
根据防护玻璃产品的特点要求，需要在表面制备增透、保护膜层以增加光学透射和提高表面硬度。根据双层减反射膜设计原理，若限定镀制在折射率为ng的基底材料上的外层折射率为n1、内层折射率为n2的两层膜的厚度都是λ/4时，欲使波长λ0的反射光减至零，它们的折射率满足如下关系[4]
基底玻璃材料的折射率为1.517，若外层膜选用折射率为1.38的MgF2膜料，经(1)式计算可得n2值为1.70，故内层选用折射率为1.66的Al2O3膜料。在双层减反射膜的基础上构建三层减反射膜，在此两层膜中间插入半波长的ZrO2层，使得透射光谱平滑。在此基础上，对三层膜系结构进行优化，将厚度做了细微调节，使得平均透光率进一步提高，最后膜系结构为G/0.083Al2O3 0.125ZrO2 0.095MgF2/Air。膜系结构中采用了硬度较高Al2O3膜料，有助于提高防护玻璃表面硬度。
2.2 制备方法
文中所采用的镀膜设备为北京科学仪器有限公司生产的zzs-1100型光学真空镀膜机，有分子泵、行星转动装置、清洗离子源、光学膜厚监控仪的电子枪加热蒸发镀膜设备。镀膜前对防护玻璃表面使用乙醚溶液擦拭干净，进腔后进行离子清洗以改善表面性质，后按照膜系结构进行薄膜制备。工艺参数如表1所示。
2.3 指标检测
对膜层的光谱、附着力、摩擦等环境适应性进行了测试，膜层光谱测试曲线如图1所示，膜层的在0.4～0.76μm可见光波段范围内的平均透过率达到99%以上。经试验检测，膜层可通过GJB 2485-1995光学膜层通用规范[7] 对附着力、摩擦、温度、湿热、清擦性、耐溶性和水溶性的检测项目，质量可靠。
3 表面处理效果评析
经过防眩层处理和薄膜镀制的防护玻璃样件制作完成后，对其进行了性能指标检测。通过UV-3600紫外、可见、近红外分光光度计对样件可见光波段光谱进行测试，透射光谱曲线如图2所示，平均透光率达到86%。采用显微硬度计对玻璃样片进行硬度测试，镀膜后表面硬度达到7.0GPa，高于玻璃基底的表面硬度6.6GPa，提高了玻璃表面硬度和抗划伤能力。将防护玻璃安装于仪表显示器上，对其实际使用效果进行测试。在显示器通电状态下，通过人眼观察，显示器表面呈现清晰的图像画面。在太阳光照射情况下观察，显示器图像画面依然清晰，反射太阳光较弱，对人眼没有造成图像不清晰或不适的感觉，整体使用效果良好。
4 结 论
本文对某型仪表用显示器防护玻璃表面进行工艺处理，采用酸溶液湿法腐蚀处理获得防眩层，后利用电子枪加热蒸发镀膜方法制备表面增透、保护膜层。防护玻璃经湿法腐蚀处理，表面反射率指标降低到2%以下，镀制增透、保护膜层后，在可见光波段的平均透过率达到86%，表面硬度提高到7.0GPa。通过性能指标、环境试验和产品试用的方法对产品工艺处理效果进行评析，结果表明，采用该工艺处理的防护玻璃具有较好的防眩、增透和抗划伤的作用，使用效果良好。
参考文献
[1] 王承遇，潘玉昆，卢 琪等. 玻璃表面工程的进展[J]. 玻璃与搪瓷，2003，31(5)：45-50.
[2] 吴春春，杨 辉，袁 骏等. 抗静电防眩膜研究进展[J]. 材料科学与工程，2002，20(1)：133-135.
[3] 胡沛然，韩文爵，王海风等. Na2SiF6和ZnCl2对玻璃防眩光效果的影响研究[J]. 化工新型材料，2009，37(11)：84-95.
[4] 唐晋发，顾培夫，刘 旭等. 现代光学薄膜技术[M]. 杭州：浙江大学出版社，2006.
[5] 罗春炼，韩文爵，王海风等. 提高防眩玻璃透过率的主要影响因素[J]. 化工新型材料，2008，36(12)：89-91.
[6] 黄腾超，沈亦兵，陈海星等. 应用于MOEM S器件的K9玻璃湿法刻蚀工艺的研究[J]. 光学仪器，2004，26(2)：151-155.
[7] 国防科学技术委员会. 中华人民共和国军用标准 光学膜层通用规范 GJB 2485-1995[B]. 中国标准出版社，1995.省略。
铝合金燃油箱表面处理技术
【摘 要】本文概述了铝合金的表面处理技术，通过试验验证了几种铝合金的表面处理技术，分析了铝合金燃油箱的表面处理可行性，对解决铝合金燃油箱表面氧化变暗问题，提升产品外观，延长油箱寿命等具有积极意义。
【关键词】铝合金;燃油箱;钝化;氧化;金属覆膜剂
前言
随着重卡轻量化的发展重卡上的铁质燃油箱逐渐被铝质燃油箱替代，燃油箱采用铝合金材料，不但自重减轻一半以上，内部不生锈，而且铝合金燃油箱以光洁的表面深受用户的青睐，因此这种燃油箱市场前景广阔，逐渐成为应用趋势。但是铝合金燃油箱顾客购买时外观鲜亮，色泽美观，使用大约1年左右铝合金燃油箱“黯然失色”，其表面被雨水、泥沙等腐蚀后，色泽发暗，局部产生白色粉状霉点、发黄，油箱整体色泽不一，严重影响顾客的满意度，见下图1，通过对国内规模化油箱生产企业的了解，发现铝合金燃油箱的表面腐蚀，变色各油箱生产企业都遇到过，各生产企业也在一直寻求铝油箱的表面处理技术，鉴于此笔者对铝合金燃油箱的表面处理技术进行了研究。
图1 腐蚀后的油箱
1 铝制品表面处理技术概述
铝合金燃油箱材料为铝镁合金5052，属于防锈铝，其表面自然形成一层极薄的氧化膜(0.01-0.02um)，有一定的抗腐蚀能力。但这层氧化膜疏松多孔，不均匀，抗腐蚀能力不强，容易沾染污迹，因此铝合金制品通常要进行特殊的表面处理，铝合金的表面处理技术有：钝化、阳极氧化、电镀、喷涂等，这几种处理技术都比较成熟，在一些铝制品上均有应用。
电镀处理技术：铝合金燃油箱是封闭的空心容器，其重量轻，体积大，电镀虽然是一种成熟的处理工艺，电镀层外观漂亮、其耐腐蚀性也较好，但是在铝合金上直接电镀是相当困难的，因为铝表面的氧化膜使得电镀层对铝的附着力很差，因此铝合金电镀必须有特殊的表面预处理，再者铝合金的电镀成本较高，使得这种处理方式并不适合应用于铝合金燃油箱上。
喷涂处理技术：该技术的关键在于解决涂层与铝基体的附着力，因此喷涂前铝合金表面必须进行预处理，其表面预处理需要喷砂或拉毛，再加上磷化或钝化、氧化等形成喷涂底层后，才能形成良好漆膜。其工艺流程较多，喷漆成本较高，其漆膜颜色缺乏金属质感，一般顾客青睐铝合金金属的本色，因此这种处理技术也不适合铝合金燃油箱。若顾客对铝合金燃油箱的外观颜色有特殊要求，比如我公司根据客户的特殊要求也生产黑色的铝合金燃油箱，这种铝合金燃油箱必须经过预处理才能进行粉末喷涂，喷涂后的燃油箱经检测其外表面的耐腐蚀、耐侯性等性能都非常优良，只是产品成本较高。
阳极氧化、钝化、金属覆膜剂等处理技术：铝合金的表面处理技术中阳极氧化是应用最光与最成功的技术，也是研究和开发最深入与最全面的技术，经过阳极氧化处理其表面生成的氧化膜，耐蚀性、耐磨性、装饰性都有显著的提升，其表面可以生成透明的膜，也可以着色成各种彩色的膜。铝合金的钝化处理、金属覆膜剂处理等其工艺流程简单可以将铝制品直接浸入钝化液或者金属覆膜剂溶液中，也可以喷淋在铝制品上。这种处理技术属于化学转化处理，其表面形成的化学转化膜整体性能虽不及阳极氧化膜，但是这种处理技术经济、简便、快速、生产线简单，特别适合大批量零部件的低成本生产。
每种铝制品需要考虑多种因素，选择适合具体产品的处理技术，铝合金燃油箱的表面处理技术方面，目前国内对其研究的还较少，还没有成熟的处理工艺。为此笔者根据铝合金燃油箱的特点，对几种有可能应用的处理技术开展了工艺试验，探索最适合铝合金燃油箱的表面处理技术。
2 铝板表面处理技术试验过程
2.1 提供的试板情况
(1)阳极氧化膜试验，分别对铝合金板材进行了5um ，8um，12um的阳极氧化试验;
(2)透明钝化膜试验，与某钝化技术公司合作开展了铝合金的透明钝化处理试验;
(3)覆膜剂试验，与某化工公司合作开发的铝合金用金属覆膜剂，开展了相关工艺试验。
2.2 开展的试验如下
(1)耐柴油性试验
经各种表面处理的铝板，浸入柴油，经过120h浸泡，检验铝板表面膜层的完好性、附着力、厚度等都合格。
(2)耐泥浆试验
对各种表面处理的铝板经过240小时耐泥浆试验，试验结果全部合格，
(3)盐雾试验
进行了96h的盐雾试验，经处理的试板全部合格，随后再经过120h的盐雾试验，经处理的试板全部合格。
(4)耐灰浆(水泥)试验
第一次试验96h，第二次试验120h，试板经第一次96h水泥试验，未进行表面处理铝板不合格，其余铝板全部合格，第二次经120h水泥试验，透明钝化及金属覆膜处理的铝板合格，阳极氧化处理铝板有轻微腐蚀痕迹，清洗后留有白色痕迹。
2.3 试验结果分析
针对铝合金燃油箱的特殊性，笔者对成熟的几种铝板表面处理技术开展了相关工艺试验，对每种表面处理的铝板都进行了耐柴油性试验，耐泥浆试验，盐雾试验，耐水泥试验。从试验结果来看透明钝化表面处理技术，在铝板表面形成的钝化膜抵抗外界各种腐蚀的的能力较强，能够满足铝合金燃油箱的使用要求;阳极氧化表面处理技术，在铝板表面形成的阳极氧化膜，在耐水泥试验后表面存在轻微的腐蚀，通过对这种阳极氧化膜的深入分析，阳极氧化膜的膜厚及封孔质量是关键控制点，通过对本试验形成的阳极氧化膜检测，其封孔质量不达标，这种阳极氧化膜的其他性能满足使用要求，通过对5um、8um、12um阳极氧化膜的分析，考虑成本及阳极氧化膜的色泽与铝合金燃油箱的本色差别，5um、8um的阳极氧化膜可以应用于铝合金燃油箱的表面处理，需要注意控制阳极氧化膜的封孔质量。
表面进行金属覆膜剂处理，这种表面处理技术与透明钝化的处理技术类似，其优良的耐油、耐高温、防腐及操作方便性，在不改变金属现有外观情况下对各类易氧化金属表面可轻松实现长效防腐效果，是这几种处理技术效果最优的处理方式。
3 结论
本文针对铝合金燃油箱的使用要求开展了相关试验，通过试验验证了透明钝化、阳极氧化、金属覆膜剂表面处理技术应用于铝合金燃油箱的可行性。通过对铝合金燃油箱的适当的表面处理，不仅提高了铝产品外观，还改进了耐蚀、耐候性，满足了铝合金燃油箱的特殊使用要求，延长了产品使用寿命。
本文介绍的透明钝化、阳极氧化、金属覆膜剂表面处理技术，效果好，成本低，可以应用于铝合金燃油箱的工业化生产。
参考文献：
[1]朱祖芳.铝合金阳极氧化与表面处理技术[M].北京：化学工业出版社，2004.
论文的国内外研究现状写法如下：
第一，写国内外研究现状的时候首先需要具备的是研究国内的现状，需要举出一系列的数据，同时这些数据必须是来源于正规的数据平台，这样的平台国家已经很多，中国知网是一个全国比较大家的数据库大家可以在这里查找，这个方法大家要记住。
第二，大家写国外研究的时候，需要明白的是国外的整体情况，需要了解具体国家的整体数据，同时对这个国家的文化要有了解，这样才可以引述正确。这些资料可以各大国际知名网站查找，美国的很多大学网站对外开放一部分，可以去那里研究一下。
论文的介绍如下：
论文常用来指进行各个学术领域的研究和描述学术研究成果的文章，简称之为论文。它既是探讨问题进行学术研究的一种手段，又是描述学术研究成果进行学术交流的一种工具。它包括学年论文、毕业论文、学位论文、科技论文、成果论文等。
2020年12月24日，《本科毕业论文抽检办法》提出，本科毕业论文抽检每年进行一次，抽检比例原则上应不低于2% 。
论文一般由名称、作者、摘要、关键词、正文、参考文献和附录等部分组成，其中部分组成可有可无。
Anisotropic Etch 主要是在etch的时候对材料的各个方向的腐蚀速度不一样~比如说硅，用KOH对100向和110向的硅蚀刻的时候，速度就完全不一样~100会快很多~Dry etch的话，主要是将一些气体电离成离子态，然后用电磁加速打向目标，与目标材料反应~其实我觉得你说的这两个东西其实不是一个横向可比的东西。。etch可以根据腐蚀是否有方向性分为 Anisotropic 和 Isotropic两种。如果以用作蚀刻的材料来分，可以分为wet（比如上面说的KOH）和dry（典型是RIE，Reactive Ion Etch）两种。如果硬要比的话，dry etch要比anisotropic etch好，因为dry etch可以提供一个非常好的side wall~就是说蚀刻后的那个洞的内壁和底部可以做到几乎垂直~不过具体效果要看dry etch的方法和材料以及目标材料~
在湿法腐蚀的过程中，通过使用特定的熔液与需要腐蚀的薄膜材料进行化学反应，进而除去没有被光刻胶覆盖区域的薄膜。 湿法腐蚀的优点是工艺简单，但是在湿法腐蚀中所进行的化学反应没有特定方向，所以会形成各向同性的腐蚀效果。各向同性是湿法腐蚀固有的特点，也可以说是湿法腐蚀的缺点。湿法腐蚀通常还会使位于光刻胶边缘下边的薄膜也被腐蚀，这也会使腐蚀后的线条宽度难以控制，选择合适的腐蚀速度，可以减小对光刻胶边缘下边薄膜的腐蚀。 在进行湿法腐蚀的过程中，熔液里的反应剂与被腐蚀薄膜的表面分子发生化学反应，生成各种反应产物。这些反应产物应该是气体，或者是能溶于腐蚀液中的物质。这样，这些反应产物就不会再沉积到被腐蚀的薄膜上。控制湿法腐蚀的主要参数包括：腐蚀溶液的浓度、腐蚀的时间、反应温度以及溶液的搅拌方式等。由于湿法腐蚀是通过化学反应实现的，所以腐蚀液的浓度越高，或者反应温度越高，薄膜被腐蚀的速率也就越快。此外，湿法腐蚀跌反应通常会伴有放热和放气。反应放热会造成局部反应温度的升高，使反应速度加快；反应速率加快又会加剧反应放热，使腐蚀反应处于不受控制的恶性循环中，其结果将导致腐蚀的图形不能满足要求。反应放气产生的气泡会隔绝局部的薄膜与腐蚀的接触，造成局部的反应停止，形成局部的缺陷。因此，在湿法腐蚀中需要进行搅拌。此外，适当的搅拌（例如使用超声波震荡），还可以在一定程度上减轻对光刻胶下方薄膜的腐蚀。 目前常用的湿法腐蚀的材料包括：Si，SiO2和Si2N4等，下面我们将对此进行简要讨论。 一、Si的湿法腐蚀 在湿法腐蚀Si的各种方法中，大多数都是采用强氧化剂对Si进行氧化，然后利用HF酸与SiO2反应来去除SiO2，从而达到对硅的腐蚀目的。最常用的腐蚀溶剂是硝酸与氢氟酸和水（或醋酸）的混合液，化学反应方程式为 Si+HNO3+6HF——H2SiF4+HNO2+H2O+H2 其中，反应生成的H2SiF4可溶于水。在腐蚀液中，水是作为稀释剂，但最好用醋酸（CH3COOH），因为醋酸可以抑制硝酸的分解，从而使硝酸的浓度维持在较高的水平。对于HF-HNO3混合的腐蚀液，当HF的浓度高而HNO3的浓度低时，Si膜腐蚀的速率由HNO3浓度决定（即Si的腐蚀速率基本上与HF浓度无关），因为这时有足量的HF去溶解反应中生成的SiO2.当HF的浓度低而HNO3浓度高时，Si腐蚀的速率取决于HF的浓度（即取决于HF溶解反应生成的SiO2的能力）。 对Si的湿法腐蚀还可以用KOH的水溶液与异丙醇（IPA）相混合来进行。对于金刚石或闪锌矿结构，（111）面的原子比（100）面排的更密，因而（111）面的腐蚀速度应该比（100）面的腐蚀速率小。 采用SiO2层作为掩膜对（100）晶向的硅表面进行腐蚀，可以得到V形的沟槽结构。如果SiO2上的图形窗口足够大，或者腐蚀的时间比较短，可以形成U形的沟槽。如果被腐蚀的是（110）晶向的硅片，则会形成基本为直壁的沟槽，沟槽的侧壁为（111）面。这样就可以利用腐蚀速率对晶体取向的依赖关系制得尺寸为亚微米的器件结构。不过，这种湿法腐蚀的方法大多采用在微机械元件的制造上，在传统的集成电路工艺中并不多见。 二、SiO2的湿法腐蚀 SiO2的湿法腐蚀可以使用氢氟酸（HF）作为腐蚀剂，其反应方程式为： SiO2+6HF——SiF4+2H2O+H2 在上述的反应过程中，HF不断被消耗，因此反应速率随时间的增加而降低。为了避免这种现象的发生，通常在腐蚀液中加入一定的氟化氨作为缓冲剂（形成的腐蚀液称为BHF）。氟化氨分解反应产生HF，从而维持HF的浓度。NH4F分解反应方程式为 NH4F——NH3+HF 分解反应产生的NH3以气态被排除掉。 在集成电路工艺中，除了需要对热氧化和CVD等方式得到的SiO2进行腐蚀外，还需要对磷硅玻璃（简称PSG）和硼磷硅玻璃（简称BPSG）等进行腐蚀。因为这些二氧化硅层的组成成分并不完全相同，所以HF对这些SiO2的腐蚀速率也就不完全一样。基本上以热氧化方式生成的二氧化硅层的腐蚀速率最慢。 三、Si3N4的湿法腐蚀 Si3N4也是一种常用湿法腐蚀的材料。Si3N4可以使用加热的磷酸（130-150度的H3PO4）来进行腐蚀。磷酸对Si3N4的腐蚀速率通常大于对SiO2的腐蚀速率。
Nero它是全球最为著名的一款刻录软件，也有不少人称之为最强的刻录软件。带有很多种刻录功能的了。有很多PJ版本的。你可以自己搜索一下的。
学士毕业论文撰写，需要的软件有：专业软件：本专业所学方面的软件用来完成毕业设计等等。办公软件：Word文档，excl，PPT等。Word用于撰写论文，excl绘制一些统计图表。PPT用作毕业答辩。辅助软件（网页）：用于查询参考文献，比如知网。各类数据网站等。
问题一：请问如何往光盘盘面上刻字？ 你说的是光雕技术，是以下三方面组成的。 1.支持光雕刻录技术的刻录机 光雕的原理依旧是通过刻录机的读写光头发光，改变盘片染料层（主：不是用于数据记录的染料层，而是另一面，用于盘标制作的染料层）的性质已达到“成像”的目的（成像的功率略高于刻录功率）。我们需要明确的是：通过简单的固件升级方式是不能将不支持光雕的刻录机升级为光雕刻录机的。 2光雕专用盘片 光雕的实现除了有光雕刻录机外，还需要对应的光雕专用盘（目前已有CD刻录盘和DVD刻录盘）。以光雕专用CD-R盘为例，在它的盘片保护层之上，还有图像刻印层，这一层主要由抗紫外线基料、催化剂、无色母体染料和图像稳定剂构成，这种盘的刻印层呈现黄棕色。有别于普通的刻录盘，光雕盘的内圈又非常明显的特征：一是由排列紧密类似条形码的东西；二是有一些像方块、三角形的东西，这两种特征物分别用于盘片的旋转定位和激光功率的确定，它们也是光雕盘片的最大特征。当激光打在刻印层表面后，染料性状发生改变，而打点越密，最终表现的颜色越深，然后通过不同的位置、深浅组合来构成图案。 注：目前，威宝和三菱均有光雕盘售卖，52X的CD-R光雕盘价格在6元左右，8X的DVD+R光雕盘价格为8.5元/张。 3.支持光雕的刻录软件与盘标制作软件 我们都知恭使用Nero做刻录软件，由于前面提到，光雕实际也是通过读写光头工作的，所以也属于“刻录”范畴，也需要刻录软件的支持。Nero6系列就支持光雕技术，不过，我们还需要下载并安装光雕的补丁程序（下载地址：hettp:dll.nero/LS_HSI.EXE）。下载并安装后，Nero Burning Rom或是Nero StartSmart主界面就会出现光雕的启动项了。点击光雕标记，就能进入对应的盘标制作软件了。 问题二：怎样在光盘表面刻字和画面 打印光盘需要专用的喷油打印机,刻字就刻不了,不过可以去买支油性笔定上去.在超市或文具店都有卖. 问题三：怎么把光盘上刻字系统装电脑上 你电脑里的光驱就带有刻录功能（不过好像有的老电脑好像没有）还得在网上下载好你要的系统再刻录，很麻烦的！你在百度上搜下有教程！ 问题四：怎么把光盘上刻字系统装电脑上 原版win7安装_百度经验 jingyan.baidu/...e 问题五：刻录CD光盘，怎么把照片雕刻在光盘的表面上？ 需要一个光雕刻录机和一张光雕刻录盘，然后把刻录机带的软件装好了里面就有 就是在nero里面 单击nero软件“其他”选项下面中的“制作标签和盘片”选项，会弹出“nero Cover Designer”应用软件 nero Cover Designer应用软件 我们可以看见上面有一个类似盘片大小的制作页面 把原先已经准备好的素材插入到类似于一张光盘表面的页面上，素材可以是风景画、平时拍摄的照片、文字等等，总之，按照平常ps制作时流程一样，该nero Cover Designer操作简洁，方便，只要对电脑略有一点知识的人都可以编辑操作。 页面编辑完成后，可以单击“文件/LightScribe打印预览选项”，查看自己编辑的页面在光盘上面的最终效果。 页面预览效果图 我们看到光盘上的效果是灰白色的图案，而不是原来的彩色效果。这是LightScribe性能之一，从这里也可以看出目前光雕技术还是一种新鲜事物，技术暂还处于起始阶段，目前市面上所有的光雕刻录机还不能支持彩色盘片打印，只能是灰白两种颜色，随着光雕技术的出现，我们相信彩色光雕盘片的打印将成为可能。 下面就开始进行盘片表面烧录测试，将事先准备的光雕盘片插入光驱中，这里一定要注意的是盘片烧录标签面应向下，放置放置恰好跟普通DVD刻录机读写盘片方式相反。如果用户放置错误，在烧录或预览过程中将自动弹出错误消息。 放入光盘时标签面向下 整备开始打印，默认设置为“正常” 为了达到实际刻录速度，测试中并没有刻意将电脑中所有软件关掉，内存清空，而是完全遵循普通用户的操作方法，电脑上PS、DW、QQ、MSN、ie等软件都正常打开，在烧录过程中，用户可以不用理会该操作，将其扔到在后台让它慢慢刻录。 打印中.... 烧录完毕，在具有完整标签（图片加文字）的情况下，740i耗时21分钟，确实比原来的640i钉录时间缩短了一半。具体烧录盘片效果如下： 打印盘片效果 最后我们又将只有标题的标签和标题加内容的标签进行刻录，测试结果如下： 设置 Title only（仅标题） 标题和内容列表 Full label（完整标签、带图形） BEST（最佳时间） 3分15秒 6分20秒 34分 Normal（正常时间） 2分05秒 5分17秒 18分 Draft（草稿时间） 1分20秒 3分13秒 14分 问题六：有谁知道，用什么软件可以在光盘表面刻字或LOGO上去！？（刻录机支持的,就是不知道用什么软件可以做到） 一、需要带光雕功能的刻录机（你讲你的刻录机支持，不知道是不是讲的光雕功能？） 二、需要运行光雕刻录软件，如Lig浮tScribe 三、光盘的背面，必须是能进行雕刻的（普通光盘，是不行的！！！！！切记）这种光盘比较贵！且目前还不是彩色的，而是单色的。光雕的速度是相当的慢。刻完一个背面，需要一个多小时！ 问题七：如何在CD光盘上刻字？ 那么刻录机支持光雕才行~~如果有光雕用NERO等的软件就可以刻录 问题八：毕业论文光盘上要刻字嘛 经过长时间的充分准备，所有设计资料已经准备齐全，在第一草、二草、三草、征稿等阶段的不断推敲上，已全部完成毕业设计（论文）的要求内容。 现已向答辩组提交的内容有：1、毕业设计（论文）任务书，2、毕业设计（论文）开题报告，3、毕业论文，4、毕业设计（论文）指导教师记录表，5、毕业设计（论文）指导教师中期检查表，7、毕业设计（论文）答辩申请表。 综上所述，本人已具备参加答辩能力，现向答辩组提出正式申请，望批准! (第二段要根据学校要求自己改一下） 问题九：现在咸鸭蛋上都有字，字是怎么弄上去的？或者，我在光盘上想刻字，怎么弄效果好？ 光盘刻字？光盘一般都是用笔写上去的，光盘刻丁，那么光盘的扇区就坏了，光盘就废掉了。还有就是你可以打水印上去。 问题十：用过的文泰刻绘软件和千年图库光盘 怎么安装？ 安装前必须把旧版本清除干净，要不然容易安装错误 先装文泰刻绘，安装完成之后，打开桌面文泰刻绘图标，弹出提示你插入加密光盘的对话框，将千年图库放入光驱，屏幕出现千年图库封面之后就可以打开文泰刻绘了。打开之后点刻绘输出按钮，选择你购买的刻字机品牌就OK了。 BY―9126免费资源站
NeroBurningROMv6.6.0.16为德国AheadSoftware公司出品的老牌刻录软件，NeroBurningRom不仅性能优异，而且功能强大。可以说NeroBurningRom是目前支持光盘格式最丰富的刻录工具之一，它可以制作数据CD、AudioCD或是包含音轨和数据两种模式的混合CD；还可以制作VideoCD、SuperVideoCD、可引导系统的启动光盘、Hybrid格式CD和UDF格式CD等等。Code:1A23--0167-1885还有上或者都是不错的选择。nero应该是时下最好的刻录软件了。
全部要用A4纸打印 （正式）论文的基本格式： 一、题目作者： 论文题目（宋体二号、不超过20个字） 作者姓名宋体四号 (单位全名 部门全名,市(或直辖市) 邮政编码) 宋体小四 二、摘要关键词： 摘要宋体四号：摘要内容宋体小四号 关键词宋体四号：内容宋体小四号 三、引言部分： 宋体小四号 四、正文部分： 正文文字宋体小四号，单倍行距 五、标题部分： 1一级标题宋体三号标题1 1.1二级标题 宋体四号标题2 1.1. 1三级标题 宋体小四号标题3 六、图片格式：正文文字中，先见文后见图，全文统一按顺编号， 图片格式为JPG格式，分辨率为400DPI以上。 七、注释文献： [注释] 宋体五号 ①注释1宋体小五号 ②注释2宋体小五号 [参考文献] 宋体五号 [1]参考文献1 宋体小五号 [2]参考文献2 宋体小五号 （正式）论文的格式要求： 一、题目、摘要、关键词 1.论文题目，按常规学术论文标题作出。 2.论文摘要，要求摘出（或者说“提取出”）文章的主要观点，或者选摘出文中最重要、最具有新意的某一个或两个观点，不必追求全面反映文章的概貌；客观地把文中的观点摆出来，不以介绍的口气叙述自己的文章讲了哪些内容。摘要篇幅100-300字。 3.关键词：3至5个，反映文章最主要内容的术语、概念等。 以上三项置于论文之首。 二、论文中“注”和“参考文献”的区别 1.“注”指作者进一步解释 自己 所要表达的意思，文中标码 ① ，注释内容统一置文末，文末的序号与文中序号一一对应。 2.“参考文献”指作者引文所注的出处，一律放文末，文中设序号 [1] ，文献说明统一置文末，文末的序号与文中序号一一对应。页码置于文中序号之后，例： [1]（P12） 。 3. “参考文献”也指虽未直接引述别人的话、但参考了别人著作和论文的意思，应在段中或段末设序号 [1] ，并在文末注明。本项与第2项不必分列，交叉排序即可。文末的序号与文中序号一一对应。此种情况可以不注明页码。 4．同一参考文献多次被引用，文末只标一个序号，文中应多次出现同一序号，在文中序号后加圆括号，注明所引文献的不同页码或篇名。 三、文末参考文献格式 1．著作 [序号] 作者．书名〔标识码〕．出版地：出版社，出版年． [1] 张志建．严复思想研究 [M] .桂林: 广西师范大学出版社 , 1989 . [2] 马克思恩格斯全集（第 1 卷） [M] .北京: 人民出版社 , 1956 . 说明：马克思恩格斯全集、毛选、邓选以及《鲁迅全集》、《朱光潜全集》等每一卷设一个序号。 2．译著 [序号] 国名或地区 (用圆括号) 原作者.书名[标识码].译者.出版地:出版社,出版年. [1] (英)霭理士. 性心理学[M].潘光旦译. 北京: 商务印务馆， 1997 . 3．古典文献 文史古籍类引文后加序号，再加圆括号，内加注书名、篇名或页码。例如： 文中“……孔子独立郭东门。” [1] （《史记�6�1孔子世家》） 4．论文集 [序号]编者. 书名[标识码]. 出版地: 出版社，出版年． [1] 伍蠡甫．西方论文选（下册）[C]．上海：上海译文出版社，1979． 论文集中特别标出其中某一文献 [序号]其中某一文献的著者．某一文献题名[A]. 论文集编者．论文集题名[C]．出版地: 出版单位，出版年． [1] 别林斯基．论俄国中篇小说和果戈理君的中篇小说[A]．伍蠡甫．西方文论选：下册[C]．上海：上海译文出版社，1979． 5．期刊文章 [序号]作者．篇名[标识码]．刊名，年，（期）． [1] 叶朗．《红楼梦》的意蕴[J]．北京大学学报（哲学社会科学版），1989, (2). 6．报纸文章 [序号]作者. 篇名[标识码]. 报纸名,出版日期(版次). [1] 谢希德．创造学习的新思路[N]．人民日报,1998-12-25(10). 7．外文文献 要求外文文献所表达的信息和中文文献一样多 ,但文献类型标识码可以不标出。 [1] Mansfeld,R.S.&Busse. T.V.The Psychology of creativity and discovery, Chinago: NelsonHall, 1981. [2] Setrnberg,R.T. The nature of creativity ,New York:Cambridge University Press,1988. [3]Yong,L.S. Managing creative people . Journal of Create Behavior, 1994,28(1). 说明： 1．外文文献一定要用外文原文，切忌用中文叙述外文，如“牛津大学出版社，某某书，多少页”等等。 2．英文书名、杂志名用斜体，或画线标出。 四、参考文献类型标识 参考文 献类型 专著 论文集 报纸 文章 期刊 文章 学位 论文 报告 标准 专利 词典 资料 文献类 型标识 M C N J D R S P Z 五、作者简介 姓名、出生年、性别、民族（汉族可省略）、籍贯（省、市或县）、工作单位（包括邮政编码、所在城市）、职称、学位（何种学科的学位）等。 六、年代和数字用法 公历世纪、年代、年、月、日、分数、小数、百分比等采用阿拉伯数字，年份不能简写，如不能用 96 年、 97 年等。星期几一律用汉字。中华民国和日本明治以前历史纪年用汉字，括号内注明公元纪年，用阿拉伯数字；中华民国纪年和日本明治以后年号纪年用阿拉伯数字，括号内注明公元纪年，用阿拉伯数字，如秦文公四十年（公元前 722 年），民国 37 年（ 1948 年），昭和 16 年（ 1941 年）等。 约数用汉字，如“改革开放二十年来……”；整数用阿拉伯数字，如“中华人民共和国成立 50 周年”。 所引古籍的数字用汉字，与所据版本一致，如： 许慎. 说文解字号[M]. 四部丛刊本,卷六上,页九. 《朱文公文集》卷三六 七、外国人名的表述 外国人名在论文中第一次出现时，中文译名后用括号注明外文，例如：当代经济学家诺斯（ Douglass C. North ）、科斯（ Ronald H. Coase ） ; 社会学家泰勒（ Charles Taylor ） ; 墨西哥 1991 年诺贝尔文学奖得主、诗人巴斯（ Octavio Paz ）等。 历史上的著名人物，例如马克思、列宁、黑格尔、康德、罗素、杜威等，当今经常在新闻中出现的政治家，例如克林顿、布莱尔、布什等，毋须注明外文。 希望可以帮到你！
毕业论文的装订要以结实大方为主，最好的方式是选择胶装。不要3个订书钉搞定，显得太简陋，而且容易损坏；也不要活页装订，容易替换，或者松散，给人不严谨的感觉。很多高校有自己的毕业论文模板，即使没有也可以参考上届学生的优秀论文，进行自己设计，但是设计时不要过于花哨，可以有学校的logo，最好不要包含与论文无关的内容和装饰。封面最好选择硬一点的纸张，通常可能包含一些暗纹，如果喜欢更简洁的，铜版纸的效果也不错。至于颜色最好是比较淡一些的冷色系，比如浅蓝、浅绿、浅灰淡黄等，不要鲜红、黑色等颜色比较沉重的感觉。论文装订不宜太厚，基本是0.8cm左右最好，如果真的是长篇大论，写了二、三百页，就可以采用双面打印。因为要考虑到教授评分时翻看方便，和赠送同学时大家的承受能力。