武汉理工大学学位论文格式

如果你不知道如何写，但是又急着交。一个非常简便的方法，就是去知网上面找你要写的那方面的硕士论文，上面有完整的文献综述（那最好，你稍稍改动即可），如果是开题报告形式，你就可以找好它上面的内容（其实跟文献综述写的内容差不多，只是格式和形式不太一样）。你按照以下的提纲自己复制粘贴内容即可（我们这学期写了一篇文献综述），也有可能每个学校的要求提纲不太一样，不过都是差不多的不用太担心，主要是内容要找准： 1.论文题目：一般不超过25个字，要简练准确，副标题统一为“文献综述及研究思路”可分两行书写； 2.摘要：中文摘要字数应在300字左右，英文摘要与中文摘要内容要相对应； 3.关键词：关键词以3—5个为宜，应该尽量从《汉语主题词表》中选用，分号隔开； 4.正文：正文要符合一般学术论文的写作规范，内容层次分明，数据可靠，文字简练，观点正确，能运用现代经济学、管理学的分析方法，并能学会利用计量经济学、统计学等相关工具对所涉及的问题进行分析，文章主体字数为4000字以上。正文基本结构如下： 一、选题背景及选题意义 二、有关国内外研究成果综述 （一）国外研究成果 （二）国内研究成果 （三）对研究成果的评述（这个地方就不要把引用的写出来了，我被我们老师就批了） 三、基本研究思路（最好有图，把你参考的文章所有的提纲画一个简易图即可，不单是自己的文献综述，是你参考的整篇论文的内容） 四、研究方法及创新处 5.参考文献：参考文献应按文中引用出现的顺序列出，只列出作者直接阅读过、在正文中被引用过的文献资料，一律列在正文的末尾，特别在引用别人的科研成果时，应在引用处加以说明。每篇论文的参考文献一般不应少于五条。 希望对你有用~~

论文的开题 报告 是指开题者对科研课题的一种文字说明材料，论文的开题报告的字体以及各式等方面都有一定的要求的。下面是我为大家整理的论文开题报告的字体格式要求的内容，希望能对大家有所帮助。

1.论文(含开题报告和文献翻译)用A4纸单面打印，页面设置：左边距、右边距、下边距均为2.5厘米;上边距为2.8厘米。页眉、页脚均为2厘米。论文(含任务书)及附件装订成一册，一式两份。

2.页眉从正文开始。页眉左端顶格为论文标题，论文标题用宋体五号字。若为开题报告或文献翻译则在标题后面加上“/开题报告或/文献翻译”。右端右对齐为页码，用五号阿拉伯数字。

3.正文(含开题报告和文献翻译)用宋体小四号，应当达到15000个字左右。非汉字均用Times New Roman体。字间距设置为“标准”，段落设置为“单倍行距”，所有段落开头均缩进2个字。数学公式用斜体，按章节编号，如第2章第3个公式为(2-3)，并与段落右边线对齐。

4.每一章另起一页，章节采用三级标题，用阿拉伯数字连续编号，(例：1，1.1，1.1.1)。章名为一级标题，位于一页的首行居中，用黑体小二号，段前距为0磅，与紧接其后的文字或二级标题间距为12磅。二级标题用宋体四号，左对齐，断前距12磅，段后距0磅。三级标题用黑体小四号，左对齐，段前距12磅，段后距0磅。

5.图表要有名称，表名位于表的正上方，用宋体小五号粗体。图名位于图的正下方，用宋体小五号粗体;图表按章节编号。例如：表2.7为第2章第7个图表;图3-1为第3章第1个图。图表不要跨页。凡引用的图表，需在图表名后用相应的中括号〔 〕加以标注，(如：〔1〕)。这里的标注号应与参考文献的序号为同一个号。

6.封面及任务书等由学生到(校图书馆一楼)装订处购买，封面不得复印。并在装订处装订论文。

7.除封面外，第一页是任务书，任务书下达时间是：按申请写作时间。

第二页是中文摘要(至少150字)。“摘要” 两字为黑体小二号，居中，设置段前为102磅，段后为12磅。内容用宋体五号字。 “关键词”三个字用黑体小五号，缩进2个字，后面的内容用宋体五号，一般用3-5个词组即可，中间用逗号分隔，结束时不用标点符号。关键词与摘要相距12磅(即设置段前12磅)。中文摘要用罗马数字编制页码，位于页面下方居中。

第三页是Abstract(至少500印刷字符)，“Abstract” (用Times New Roman 粗体小二号)，内容用Times New Roman 五号。Keywords用Times New Roman 粗体小五号，后面的内容用Times New Roman五号，与英文摘要内容同样相距12磅。英文摘要顺延“中文摘要”页用罗马数字编制页码，位于页面下方居中。

第四页为目录。“目录” 居中，用黑体小二号，段前设置为0磅，段后设置为12磅。目录页顺延“Abstract”页用罗马数字编制页码，位于页面下方居中。

目录依次为：摘要、Abstract、正文(要求列出一、二级标题，一级标题用黑体四号，二级标题用黑体小四号)、参考文献、致谢、附件1：开题报告、附件2：文献翻译(中、英文)。页码数字用小四号。

说明：中英文摘要和目录并非正文，不要设置页眉!

8.参考文献位于正文后另起一页，与正文连续编页码。“参考文献”居中，用黑体小二号，段前设置为0磅，段后设置为12磅。参考文献主要格式如下：

书籍：[序号]作者名(用逗号分隔).书名.版本号(初版不写).出版社名，出版年，引用页码

提示：结束处不要加句号!

例：〔1〕胡玉明，高级管理会计，厦门大学出版社，2005年，第51页

期刊：[序号]作者名(用逗号分隔).题名.刊名，出版年，卷号：(期号)，起始页码～终止页码。

特别提示：凡论文中引用过的参考文献须按照顺序依次在正文引用处进行标注，标注 方法 ：位于引用处最后一句话的句号内，具 体操 作：在工具栏打开格式-字体-上标。(例：如〔1〕)。

9.致谢页位于参考文献之后，与正文连续编页码，“致谢”居中，用黑体小二号，段前设置为0磅，段后设置为12磅。内容为宋体小四号字。

10.附件1：开题报告(包括研究背景、文献综述、技术路线、进度安排和参考文献五部分，各部分之间不需另起一页)

开题报告的标题居中，用黑体小二号粗体，段前距和段后距均为0磅。标题下为：专业、(准考证号)、姓名，均为黑体四号并居中。

论文开题报告的字体格式要求说明 ：开题报告的标题应为论文题目，而不是开题报告四个字!

论文开题报告的字体格式要求： 开题报告中紧接着是摘要(只需中文)和关键词。“摘要”和“关键词”用黑体小四号，“摘要”内容用宋体小四号，“关键词”包含3至5个词组，中间用逗号分隔，结束时不用标点符号。这里摘要和关键词均不需要开头缩进。然后是正文，正文与关键词之间的距离为12磅。

论文开题报告的字体格式要求： 开题报告和文献翻译中，一级标题不需要另起页，一级标题设置段前、段后均为12磅，其余格式与正文同。

论文开题报告的字体格式应该注意 ：开题报告和文献翻译的页码要根据正文的页码进行连续编码。

11.附件2：文献翻译(中、英文)25000个字符左右，先中文(可比照论文格式)，标题应为所翻译 文章 的标题，用黑体小二号粗体，居中。这里文献翻译标题下面是原文作者的(英文)姓名，用小三号Times New Roman体加粗，居中。中文译稿结束后空两行注明外文资料来源，文字内容为“外文资料来源：书籍/期刊(按参考文献格式)”，资料来源结束处不要点句号!空2格写：某某译。字体用宋体小四号加粗(非汉字均用Times New Roman体加粗)右对齐。

摘要：音乐是舞蹈的灵魂，同时舞蹈和音乐又很好地统一在一起。优美的音乐可以激发舞蹈者的灵感和想象，同时跳动的音乐节奏又可以提示舞蹈者的动作。而在舞蹈中，舞蹈者的形象也是通过和谐一致的听觉和视觉才引起人们的欣赏美感的。如果没音乐，舞蹈也就失去了生命力。由古至今，音乐是舞蹈的声音，而舞蹈是音乐的表现形式，音乐和舞蹈是紧密相连的不同的艺术，都具有一定的美学价值，而音乐和舞蹈的完美配合，又可以带给人们一场盛大的听觉和视觉盛宴。

关键词：音乐 舞蹈 跳跃 和谐

音乐与舞蹈是紧密联系在一起的，舞蹈者优美的动作和音乐是分不开的。在不同音乐的刺激下，人的听觉通过中枢神经会做出相应的心理反应，从而引起联想。在编排舞蹈时是从音乐开始的，音乐和舞蹈结合在一起，是把舞蹈者的感情突破空间的穿透力而表现出来，让舞者身心交融进而会产生共鸣。因此，在二者的关系中，音乐是舞蹈里不可分割的一个重要部分，音乐以其多样的风格、鲜明轻快的节奏以及优美的旋律而赋予舞蹈更加丰富的艺术表现。舞蹈者在优美的音乐中展开优美的舞蹈动作，不仅可以享受美丽，而且还能够陶冶精神。同时，舞蹈者对伴奏音乐的理解也影响着舞蹈的艺术表现，所以在实际中就需要把舞蹈和音乐和谐的结合在一起，促进二者的共同发展。

一、音乐在舞蹈中的重要地位

(一)音乐可以帮助舞蹈者表达情绪，烘托气氛

音乐的加入可以很好的激发强化舞蹈的表达，如果离开了音乐，舞蹈就不能够充分的表达出感情。由于音乐的一个直接的特点就是渗入人心，因而人们在欣赏时就会经常把音乐中表现出来的感情作为自己的内心感情来体验，而舞蹈在跳舞之前就会先对音乐进行深刻的体验，所以当这种对音乐的理解与感受激发起舞蹈者内心的感情时，这种感情就会通过丰富的舞蹈动作表现出来。这样，音乐的介入，就会首先打动大众观众的感情，也让观众对舞蹈有了更深的理解。另外，音乐的丰富情感也给了舞蹈更加丰富的艺术表现，也拉近了观众和舞蹈的距离。

(二)音乐可以帮助舞蹈者组织动作

音乐和舞蹈具有相同的韵律、节奏以及情感内容，并且在展示时也是同步进行的，因此就要求二者必须做到高度的协调统一。在设计舞蹈动作之前是就必须有音乐的，而不是先有了舞蹈动作之后再配备的音乐。在舞蹈中运用的音乐主要有两种形式，首先可以是为既定的舞蹈情节与主题来创作相关的音乐，其次是可以利用现成的音乐。其中普遍采用的方法是按照音乐来编排舞蹈。例如古典芭蕾就是根据音乐的旋律灵魂来展开的动作技巧，这也称作是舞蹈音乐，主要是利用和谐匀称的音乐来展示舞蹈的动作，但是也要注意，舞蹈并不是仅仅服从于音乐的。这主要表现在，首先如果是为了专门构思的舞蹈来创作音乐，就需要根据舞蹈编导的要求来进行创作。其次舞蹈的配乐也要有选择，因为不是所有的音乐都适合于舞蹈。第三，舞蹈编导在具体编制可以根据舞蹈内容要求对音乐进行相应的修改。

(三)音乐有利于舞蹈的构思创作

由于音乐的丰富性作用，一听到音乐就很容易想起舞蹈，所以舞蹈构想也就产生了。在实际中却还面临着听到的音乐是否可以立即成为伴奏音乐。如果听见音乐就想跳舞，这是对听到的音乐触发的灵感，而这种灵感就推动去创作舞蹈动作。音乐是由时间、感情以及节奏组成的，所以就可以把音乐直接变成舞蹈来应用，所以音乐其实具有伴奏与创作的双重性特征。例如在实际中听到了贝多芬的《命运交响曲》，有人就想创作出和命运有关的舞蹈，于是就产生了《命运》舞蹈。在一定程度上，舞蹈是对音乐的形象化表现，二者是相互依存的，如果没有了音乐，舞蹈就是半成品。同时，所有的曲子都可以自由的跳，这就是根据现成的音乐对舞蹈进行的创作。

二、舞蹈对音乐的升华作用

(一)舞蹈需要音乐的节奏和旋律

音乐是一门单独的艺术形式，但是在舞蹈中的音乐，是舞蹈者对音乐的再创作，舞蹈者在听到音乐之后，根据自己的理解而进行的和音乐一致的肢体动作，就是舞蹈的音乐的诠释、表现。但是这种肢体展示并不是根据音乐中的每个音符用人体来表现出来，而是对音乐精神和情感的展现。另外，音乐与舞蹈的一个共同点就是相同的节奏，而节奏也是舞蹈与音乐相结合的重要基础。在实际中，舞蹈是需要通过音乐来加强动作的展示与情感的渲染的，在表演舞蹈时，也需要有一定的节奏伴奏。在舞蹈中肢体舞动的位移因素就是因为节奏的存在，而任何形式的肢体动作都是在经过节奏加工后才会形成比较优美的肢体动作，而这些是形成舞蹈动作的一个重要前提。音乐的变化比较快，音乐是一门时间艺术，而舞蹈却是空间与时间的艺术，舞蹈不是对音乐中每一个细微的变化做出的机械反映。舞蹈与音乐的另外一个共同点就是抒情。舞蹈与音乐都是对感情的直接表达，但是音乐的表达一般具有抽象性，因而不会对舞蹈具体的感情表达产生干扰或者是矛盾，而是可以和舞蹈有完美结合。由于人具有丰富的情感，任何一种对感情的表现都一个产生到逐渐变化的过程，尤其是把生活中的喜怒哀乐搬到舞台上，就更需要借助一定的表现形式才能把这些情感表达出来。舞蹈中产生的一切肢体动作，都需要围绕人的主体来进行，并根据自然界的规律，对肢体动作进行升华。舞蹈中的任何情绪都是编导者通过对舞蹈作品进行构思之后形成的，然后在进行一定的创编，由舞蹈演员来把握其中的感情，把要表达的情感在舞蹈中呈现、抒发出来。并在此基础上把舞蹈与音乐结合在一起，也把其中的情感结合在一起，因而在选择相应的舞蹈音乐时创作者也需要具备一定的审美能力。

(二)舞蹈中需要音乐的辅助作用

舞蹈艺术是利用肢体的运动形式来表现语言的方式，而对事物事件的发展过程也是通过肢体的移动来实现的，因而运用舞蹈语言也可以把整件事情来表达清楚，但是舞蹈艺术的表现形式却不能够把事件所处的时代背景与发生的环境表现出来。而这一点，却可以通过音乐来弥补。由于音乐具有一定的听觉特征，音乐的表现和创作形式也会留下鲜明的时代情感表现与音乐特征，同时这种时代感也会给欣赏者带来一定的时代感受，比如我们在听到《红星闪闪》、《黄河协奏曲》时就很容易联想到那一代的事情，因此音乐就很好的把舞蹈中表现的事件就做出了交代。在实际中舞蹈艺术是以音乐的节奏和比较夸张的气口来作为肢体动作切入点的。而舞蹈的韵味和感觉都是通过肢体语言来表现的，所以在舞蹈时舞蹈者就会完全释放自己的肢体，另外，舞蹈者还根据音乐的节奏来表现蕴含的情感，而根据明快的节奏舞蹈者在实际舞蹈时也会不停的变换肢体动作，利用强烈的情感张丽给观众一种舞台是空的、舞台上只存在一种情绪的感觉。同时，舞蹈又很好的结合了写意与写实，利用肢体的动态变换过程来传递信息，也通过一定的个性化肢体动作来体现情绪。

(三)舞蹈形象与音乐形象的统一

音乐形象主要是由情绪音乐的形象体育主体音乐的形象相互结合而形成的。在舞蹈的艺术中音乐其实与舞蹈的文学形象具有同样重要的地位，益音乐形象也是舞蹈的一项主心骨，如果舞蹈没有了音乐，舞蹈就会失去色彩和灵魂，所以在舞蹈中离不开音乐的衬托。舞蹈中的舞蹈形象，首先则是舞蹈的主体音乐形象。在一部舞蹈作品里主体音乐形象一般是贯穿始终的一个主要线索，而舞蹈表现的现象也是在以这个线索为中心根据相应的文学形象支配来进行拓展创作的，舞蹈中主体音乐形象是对文学形象的一个很好的诠释，因此舞蹈形象与音乐形象的统一集合就可以让观众通过看和听来欣赏舞蹈艺术，进而陶冶情操，形成美好的精神感受。另外，主体音乐形象与舞蹈音乐形象结合在一起，又可以使舞蹈的形象更加具有个性化与典型化，形成完美统一的舞蹈艺术效果。

三、结语

综上所述，舞蹈动作和音乐是紧密联系在一起的，音乐不仅可以对舞蹈的动作做出提示，还可以给舞蹈者一定的灵感启发。舞蹈中利用听觉与视觉的结合来引起艺术美感的，如果没有了音乐的配合，舞蹈表现也就失去了生命力。因而成功的舞蹈是需要音乐的配合的，有了音乐优美和谐的伴奏，就很容易点燃跳舞者的激情，把舞蹈的内涵完美的呈现出来。

参考文献：

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[2]宋小璐.音乐是舞蹈的灵魂——试论音乐在舞蹈中的重要性[J]. 文化 月刊，2009，(07).

[3]慕羽.当代舞蹈编导类群的价值定位——兼谈舞蹈编导的社会责任问题[J].北京蹈学院学报，2005，(04).

[4]陈佩玲.视觉艺术与听觉艺术-论舞蹈钢琴伴奏教学的特点[J].舞蹈，2009，(04).

[5]张娟.乐者舞之魂一舞蹈钢琴伴奏艺术探微[J].西安音乐学院学报，2010，(04).

1. 论文开题报告字体格式要求

2. 毕业论文开题报告格式字体的要求

3. 毕业论文开题报告格式字体

4. 毕业论文开题报告格式要求格式

5. 论文开题报告的打印格式要求

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本科毕业设计（论文）文献综述院 （系）：专 业：班 级：学生姓名： 学 号:年 月 日本科生毕业设计（论文）文献综述评价表毕业设计（论文）题目综述名称 注意综述名称（综述内容中不要出现本课题怎么样等等）评阅教师姓名 职称评 价 项 目 优 良 合格 不合格综述结构 01 文献综述结构完整、符合格式规范综述内容 02 能准确如实地阐述参考文献作者的论点和实验结果03 文字通顺、精练、可读性和实用性强04 反映题目所在知识领域内的新动态、新趋势、新水平、新原理、新技术等参考文献 05 中、英文参考文献的类型和数量符合规定要求，格式符合规范06 围绕所选毕业设计（论文）题目搜集文献成绩综合评语：评阅教师（签字）：年 月 日文献综述： 小四号宋空一行标题 二号黑居中空一行1 XXX 三号黑XXX 小四号宋，行距20磅1.1 XXXX 小三号黑XXX 小四号宋，行距20磅1.1.1 XXX 四号黑XXX 小四号宋，行距20磅空一行2 XXXX 三号黑(空1行)参 考 文 献(空1行)[要求按国标GB 7714—87《文后参考文献著录规则》书写，例如：][1] 袁庆龙，候文义．Ni-P合金镀层组织形貌及显微硬度研究［J］．太原理工大学学报，2001，32(1)：51-53 ．（宋体五号，行距固定值20磅）[2] 刘国钧，王连成．图书馆史研究［M］．北京：高等教育出版社，1979：15-18，31．下面的是我的文献综述文献综述:FTO透明导电薄膜的溅射法制备1 前言为了更好的开展毕业论文及毕业实验工作，在查找和阅读与《DSSC用FTO透明导电玻璃的溅射法制备》相关的文献和资料，完成撰写了本文献综述。随着科技的日趋成熟，导电玻璃的制备方法也越来越成熟，种类也衍生得越来越多。本文章将对国内外的制备方法，种类，发展现状及趋势，工艺性能，退火处理对性能的影响等方面做一简要介绍。2透明导电玻璃的种类及制备方法简介2.1透明导电玻璃的种类2.1 .1 TCO导电玻璃TCO（Transparent Conductive Oxide）玻璃，即透明导电氧化物镀膜玻璃，是指在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜而形成的组件.主要包括铟、锡、锌、铬的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。2.1.2 ITO透明导电玻璃ITO透明导电玻璃全称为氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃,多通过ITO导电膜玻璃生产线,在高度净化的厂房环境中,利用平面磁控技术,在超薄玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。 ITO玻璃产品广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域。2.1.3FTO透明导电玻璃FTO透明导电玻璃为掺杂氟的SnO2导电玻璃(SnO2:F)，简称为FTO。FTO玻璃可以做为ITO导电玻璃的替换用品，广泛用于液晶显示屏，光催化，薄膜太阳能电池基底等方面，市场需求极大. FTO玻璃因其特殊性，在染料敏化太阳能电池，电致变色和光催化方面对其透光率和导电率都有很高的要求，其综合性能常用直属FTC来评价：FTC＝T10／RS。T是薄膜的透光率，RS是薄膜的方阻值；在光学应用方面，则要求其对可见光有好的透射性和对红外有良好的反射性。对其基本要求是：①表面方阻低，②透光率高，③面积大、重量轻，④易加工、耐冲击。2.2FTO透明导电玻璃制备方法FTO透明导电玻璃的制备方法有，物理方法：溅射法、真空蒸发镀膜法、离子辅助沉积镀膜法等；化学方法：喷雾热解法、溶胶-凝胶法和化学气相沉积法等。目前适合批量生产且研发较多的有真空蒸发镀膜法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解等方法！［1］化学气相沉积法和真空镀膜法制备的薄膜和玻璃基板的结合强度不够，溶胶-凝胶法制备的导电薄膜电阻较高。适合于批量生产且已经形成产业的工艺，只有磁控溅射法和溶胶－凝胶法。特别是，溅射法由于具有良好的可控性和易于获得大面积均匀的薄膜。2.2.1磁控溅射法镀膜：溅射镀膜(sputtering deposition)是指用离子轰击靶材表面，使靶材的原子被轰击出来，溅射产生的原子沉积在基体表面形成薄膜。溅射镀膜有二级、三级或四级溅射、磁控溅射、射频溅射、偏压溅射、反应溅射、离子束溅射等装置。目前最常用的制备CoPt 磁性薄膜的方法是磁控溅射法。磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使氩气发生电离。氩离子被阴极加速并轰击阴极靶表面，将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。通过更换不同材质的靶和控制不同的溅射时间，便可以获得不同材质和不同厚度的薄膜。磁控溅射法具有镀膜层与基材的结合力强、镀膜层致密、均匀等优点。2.2.2真空蒸发镀膜：真空蒸发镀膜(vacuum vapor deposition)是在工作压强低于10-2 Pa，用蒸发器加热物质使之汽化蒸发到基片，并在基片上沉积形成固态薄膜的一种工艺方法。真空蒸发的加热方式主要有电阻加热蒸发、电子束加热蒸发、高频加热蒸发和激光加热蒸发等。对于镀制透明导电氧化物薄膜而言，其真空蒸发镀膜工艺一般有三种途径：(1)直接蒸发氧化物；(2)采用反应蒸发镀，即在蒸发金属的同时通入氧气进行化学反应生成金属氧化物；(3)对蒸发金属镀膜进行氧化处理。2.2.3溶胶-凝胶法：溶胶-凝胶法(so1-gel)是近年来发展起来的能代替高温固相合成反应制备陶瓷、玻璃和许多固体薄膜材料的一种新方法。它将金属醇盐或无机盐经溶液、溶胶、凝胶而周化，再将凝胶低温处理变为氧化物的方法，是应用胶体化学原理制各无机材料的一种湿化学方法。溶胶-凝胶工艺是一种制备多元氧化物薄膜的常用方法。按工艺可分为浸涂法和旋涂法。浸涂法是将衬底浸人含有金属离子的前驱体溶液中，以均匀速度将其提拉出来，在含有水分的空气中发生水解和聚合反应，最后通过热处理形成所需薄膜；而旋涂法则是通过将前体溶液滴在衬底后旋转衬底获得湿膜。2.2.4化学气相沉积法：化学气相沉积(chemical vapor deposition，CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态薄膜沉积在加热的固态衬底表面，是一种重要的薄膜制各方法。CVD法所选的反应体系必须满足：(1)在沉积温度下，反应物必须有足够的蒸汽压；(2)化学反应产物除了所需的沉积物为固态外，其余必须为气态；(3)沉积物的蒸汽压应足够低，以保证能较好地吸附在具有一定温度的基体上，但此法因必须制各具有高蒸发速率的铟锡前驱物而使生产成本较高。影响化学气相沉积薄膜的工艺参数很多，包括基体温度、气压、工作气体流量和反应物及其浓度等。化学气相沉积技术的主要特点包括：设备及工艺简单、操作维护方便、灵活性强；适合在各种形状复杂的部件上沉积薄膜：由于设备简单，薄膜制备的成本也比较低。但是，薄膜的表面形貌很大程度上受到化学反应特性以及能量撒活方式的影响。2.2.5喷雾热分解法：喷雾热分解法是化学法成膜的一种，其过程与APCVD法比较相似。它是将前驱体溶液在高压载气的作用下雾化，然后输送到基片表面，在高温作用下，前驱体溶液发生一系列复杂的化学反应，在基片表面上得到需要的薄膜材料。而反应副产物一般是通过气相形式排出反应腔。常用的高压载气主要有：压缩空气、氮气、氩气等等。但是由于压缩空气中常含有大量的水蒸气，所以用氮气作为载气的情形比较多。如果需要在基片表面上发生分解反应，基片温度一般在300℃以上，在玻璃上制备FTO薄膜的基片温度一般为500℃。影响最终薄膜性能的喷涂参数有：载气压力、前驱体溶液流量、基片温度、喷口与基片的距离、喷枪移动速度等等［2］。在成膜过程中基材的温度、液体的流速、压缩气体的压力以及喷嘴到基材的距离等参数均可实现精确控制［3］。3 FTO透明导电玻璃的研究现状、应用及发展趋势3.1FTO透明导电玻璃的研究现状自1907年Badeker首次报道了热氧化溅射的Cd薄膜生成半透明导电的CdO薄膜，引发了对透明导电氧化物(TCO)薄膜的研究。1950年前后出现了硬度高，化学稳定性好的SnO2基薄膜及综合光电性能优良的In2O3基薄膜，ZnO基薄膜的研究始于2O世纪80年代 。目前研究和应用较多的TCO薄膜主要有SnO2、In2O3。和ZnO基三大体系，其中以In203：Sn(ITO)，SnO2 ：F(FTO)和ZnO：Al(ZAO)最具代表性，这些薄膜具有高载流子浓度(1018～1021cm-3)和低电阻率(10-3～1O-4Ω•cm)，且可见光透射率8O％～90％，使这些薄膜已被广泛应用于平面显示、建筑和太阳光伏能源系统中。［4］ 已经商业化应用的TCO薄膜主要是In2O3Sn(ITO)和SnO2：F(FTO)2类，ITO由于其透明性好，电阻率低，易刻蚀和易低温制备等优点，一直是显示器领域中的首选TCO薄膜。FTO薄膜由于其化学稳定性好，生产设备简单，生产成本低等优点在节能视窗等建筑用大面积TCO薄膜中，具有很大的优势［5］。Sn02：F（FTO）掺杂体系是一种n型半导体材料，表现出优良的电学和光学性能，并且耐腐蚀，耐高温，成本低，化学稳定性好，是现在研究较多，应用范围较广的一类TCO薄膜。苗莉等［6］采用喷雾热解法，以NH4F、SnCl2•2H20为原料，在普通玻璃衬底上制备出了方块电阻最低达到6.2Ω/口，可见光透光率为86.95％的FTO薄膜，且薄膜晶粒均匀，表面形貌平整致密。Yadav等［7］采用喷雾热解法，制备了不同厚度的FTO薄膜，最低电阻率达到3.91 X 10-4 Ω•cm。Moholkar等［8］采用喷雾热解法，制备了不同掺F浓度的FTO薄膜，研究了氟的掺杂浓度对Sn02薄膜的光学，结构和电学性能的影响。中国科学院等离子体物理研究所的戴松元小组［9、10］将FTO用于染料敏化太阳电池的透明电极，并获得较高的光电转换效率。射频溅射：射频溅射的基本原理是射频辉光放电。国内外射频溅射普遍选用的射频电源频率为13．56MHz,以防止射频信号与无线电信号的相互干扰。通常直流溅射的基本过程是，从阴极发出的电子，经过电场的加速后获得足够的能量，可以使气氛气体发生电离。正离子在电场作用下撞击阴极表面，溅射出阴极表面的原子、分子到衬底表面发生吸附、凝聚，最终成膜。直流溅射不能用于绝缘体材料的薄膜制备，因为绝缘材料在受到正离子轰击时，靶材表面的正离子无法中和，使靶表面的电位逐渐升高，导致阴极靶与阳极问的电场减小，当靶表面电位上升到一定程度时，可以使气体无法电离，溅射无法进行。而射频溅射适合于任何一种类型的阻抗耦合，电极和靶材并不需要是导体，射频溅射非常适合于制备半导体、绝缘体等高熔点材料的薄膜。在靶材表面施加射频电压，当溅射处于上半周时，由于电子的质量比离子的质量小很多，故其迁移率很高，用很短时间就可以飞向靶面，中和其表面积累的正电荷，从而实现对绝缘材料的溅射，并且在靶表面又迅速积累起了大量的电子，使其表面因空间电荷而呈现负电位，导致在射频溅射正半周期，也可吸引离子轰击靶材。从而实现了在电压正、负半周期，均可溅射。磁场的作用是将电子与高密度等离子体束缚在靶材表面，可以提高溅射速度。［11］用JPGF一450型射频磁控溅射系统在玻璃衬底上制备SnO2：F薄膜，系统的本底真空度为10-3Pa．溅射所用陶瓷靶是由纯度为99.99％SnO2和NH4F，粉末经混合、球磨后压制成坯，再经1300℃烧结而成，靶中NH4F的重量比是1.78％，用纯度为99．99％ 的氩气和氧气作为工作气体，由可控阀门分别控制气体的流量。溅射过程中，控制真空室内氩气压强为1Pa，氧分压为0.5—1.5 Pa，靶与衬底间的距离为5cm．溅射功率为150W，溅射时间为25 min，衬底温度为100℃。用RIGAKU D／MAX—yA型x射线衍射(XRD)仪(CuKa辐射波长，0.154178 nm)测试样品的结构，用APHM一0190型原子力显微镜(AFM)观测样品的表面形貌，使用 rv一1900型紫外可见光分光光度计测量样品的吸收谱，使用激发源为325 nm的He—Cd激光器的光谱仪测量样品的室温光致发光谱，使用普通的万电表测试它的导电性（前提是尽量保持测量条件的一致性）。3.2FTO透明导电玻璃的应用FTO透明导电玻璃具有优良的光电性能，被广泛用于太阳能电池的窗口材料、低损耗光波导电材料及各种显示器和非晶硅太阳能电池中作为透明玻璃电极等，与生活息息相关。3.2.1在薄膜太阳电池上的应用太阳能电池是利用光伏效应，在半导体p-n结直接将太阳光的辐射能转化成电能的一种光电器件。TCO薄膜是太阳电池关键材料之一，可作为染料敏化太阳电池(dye-sensitized solar cells，DSCS)［12］等的透明电极，对它的要求是：具有低电阻率(方块电阻Rsh约为15Ω/□)；高阳光辐射透过率，即吸收率与反射率要尽可能低；化学和力学稳定性好的特点。在薄膜太阳电池中，透明导电膜充当电极，具有太阳能直接透射到作用区域几乎不衰减、形成p-n结温度较低、低接触电阻、可同时作为防反射薄膜等优点。3.2.2在显示器上的应用显示器件能将外界事物的光、声、电等信息，经过变换处理，以图像、图形、数码、字符等适当形式加以显示。显示技术的发展方向是平板化。在众多平板显示器中，薄膜电致发光显示由于其主动发光、全固体化、耐冲击、视角大、适用温度宽、工序简单等优点，引起广泛关注，并发展迅速。FTO薄膜具有可见光透过率高、电阻率低、较好的耐蚀性和化学稳定性，因此被广泛用作平板显示器的透明电极。3.2.3在气敏元件上的应用气体传感器是把气体的物理、化学性质变换成易处理的光、电、磁等信号的转换元件。半导体气体传感器是采用金属氧化物或金属半导体氧化物材料做成的元件，与气体相互作用时产生表面吸附或反应，引起以载流子运动为特征的电导率或伏安特性或表面电位变化。二氧化锡薄膜气敏器件具有灵敏度高、响应速度和恢复速度快、功耗低等特点，更重要的是容易集成。随着微电子技术的发展，传感器不断向智能化、微型化方向发展。［13］3.2.4在建筑幕墙玻璃及透明视窗上的应用喷雾热解法制各的FTO薄膜能用于阳光节能玻璃，对可见光高透射，但对红外光高反射，其反射率大于70％。让阳光中可见光部分透过，而红外部分和远红外反射。阳光中的可见光部分对室内采光是必需的，但可将红外部分的热能辐射反射回去，能有效调节太阳光的入射和反射。利用FTO薄膜在可见光区的高透射性和对红外光的高反射性，可作为玻璃的防雾和防冰霜薄膜。3.3 FTO透明导电玻璃的发展趋势随着LCD的商品化、彩色化、大型化和TFT的驱动或太阳能电池的能量转变效率的提高，人们对透明导电氧化物（TCO）薄膜的要求越来越严格，至少需要满足如下条件：(1)导电性能好，电阻率较低；(2)可见光内透光率较高：(3)镀膜温度更接近室温，能大面积均匀地镀膜；(4)膜层加工性能好，可以进行高精度低损伤腐蚀；(5)热稳定性及耐酸、碱性优良，硬度高；(6)表面形状良好，没有针孔；(7)价格较低，可实现大规模工业化生产。目前，TCO薄膜已普遍达到下列水平：膜厚为500 nm的情况下电阻率在10-4 Ω•cm数量级，在可见光区透光率达80％，载流子迁移率一般达到40cm2／(v•s)。虽然TCO薄膜的性能指标可以满足当前应用需要，但随着器件性能的不断提升，对TCO薄膜提出了更高的性能要求。一些学者提出了TCO薄膜发展的一个量化的前景指标：禁带宽度>3 eV，直流电阻率～5×10-5 Ω•cm，可见光段在自由电子作用下的吸收系数<2x103 cm-1，载流子迁移率>100 cm2／(v•s)。几十年来，人们一直在努力提高透明导电薄膜的透明性和导电性。SnO2：F（TFO）透明导电薄膜由于其兼备低电阻，高的可见光透过率，近红外高的反射率，优良的膜强度和化学稳定性等优点，越来越受到人们的青睐，必将在平板显示器件、建筑物玻璃和气敏传感器等众多领域中得到更广泛的应用。利用溅射法制备FTO透明导电玻璃它的生产工艺简单，操作方便，利于控制。成本较低，原料易得，但在制备过程中NH4F加热分解放出有污染的氮氧化物和氨烟，这对以后商业化生产造成了很大的制约。所以对原料的改进和污染的控制方面还有待开发。4 制备条件对膜结构及光电性能的影响长安大学材料科学与工程学院段理等做了磁控溅射制备银掺杂ZnO薄膜结构及光电性质研究实验，发表了文献［14］，并在文献14中得出了4.1——4.3的结论。4.1制备条件对膜厚的影响文献中采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了银掺杂ZnO薄膜，当薄膜淀积时间从30rain延长到90min时，薄膜的厚度几乎按照线性关系从约270nm增加到820nm，即薄膜的淀积速率大致稳定在9nm／min左右，为匀速生长。溅射功率与膜厚呈线性增长，及沉淀速率与溅射功率大致呈线性关系。4.2制备条件对膜结构的影响晶体质量随溅射功率的增大而降低，随溅射气压的增大而降低。4.3制备条件对膜光电性质的影响在固定溅射总气压的条件下，增大氧分压可以增强薄膜的紫外发光强度，增大薄膜的载流子浓度。4.4 退火对薄膜的影响退火能显著提高薄膜晶体质量，并增强薄膜的PL发光强度和导电能力，其原因是退火能使银离子完成对锌离子的替代从而形成受主。［15］5 退火后处理对膜结构与成分的影响光敏薄膜的光电、形貌性能与退火处理密切相关，退火处理优化了薄膜表面形貌、减小了光学能隙、增大了薄膜的导电率和载流子迁移率。光敏薄膜性能的优化，有利于增大聚合物太阳电池的填充因子、开路电压和短路电流，对于提高其能量转换效率、改善器件光伏性能具有非常重要的意义。［16］分别对较低氧分压反应磁控溅射制备的 薄膜进行氧化性气氛和惰性气氛退火。通过XRD和SEM 分析，发现氧化性气氛退火薄膜为表面多孔的金红石结构 ，而惰性气氛退火薄膜表面较为致密，结构分析不仅观察到金红石结构的 ，还发现了四方结构的 。XPS表面分析进一步表明，氧化性气氛退火后，薄膜成分单一，未氧化的 完全氧化成稳定的 ，而且具有稳定结构的 薄膜表面吸附水很少。相对而言，惰性气氛退火后，薄膜表面 、 和 共存，表面化学吸附氧和吸附水较明显，薄膜的稳定性降低。［17］6 FTO导电玻璃制备相关参数根据范志新等所提出的理论表达式： 带入相关数据可得到，SnO2:F（FTO）的最佳掺杂含量为2.54%［18］通过对比总结，参考大量数据，选择溅射功率：100W，溅射压力：5Pa，溅射时间：1.5h，溅射靶距：38mm［13、19］做产品。进行相关参数的选择与优化。7 参考文献1、张志海， 热解法制备氟掺杂二氧化锡导电薄膜及其性能研究 合肥工业大学2、汪振东， 玻璃基TiO<,2>-SiO<,2>/SnO<,2>：F薄膜的喷雾热分解法制备和表征 武汉理工大学3、郝喜红， 喷雾热解法制备掺杂二氧化锡导电薄膜 西安建筑科技大学4、张明福等， 透明导电氧化物薄膜研究的新进展 压电与声光5、方俊 杨万莉， n型透明导电氧化物薄膜的研究新进展 陶瓷6、苗莉等， SnO2:F导电薄膜的制备方法和性能表征 材料导报7、Yadav A A，Masumdar E U，Moholkar A V，et a1．Effect of quantity of spraying solution on the properties of spray deposited fluorine doped tin oxide thin films[J]．Physiea B：Condensed Matter，2009，404(12—13)：1874 - 1877．8、Moholkar A V，Pawar S M，Rajpure K 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